中文名 | 光譜橢偏儀 | 產(chǎn)????地 | 法國(guó) |
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學(xué)科領(lǐng)域 | 物理學(xué)、材料科學(xué) | 啟用日期 | 2011年12月26日 |
所屬類別 | 物理性能測(cè)試儀器 > 光電測(cè)量?jī)x器 > 光偏振態(tài)分析儀 |
半導(dǎo)體、金屬材料等的光學(xué)參量檢測(cè)等。 2100433B
波長(zhǎng)范圍190-2000nm,建模自動(dòng)擬合,測(cè)量膜厚\折射率\帶隙\消光系數(shù)等。
光纖探頭就比較簡(jiǎn)單了,直接接到光譜儀上,一般的光纖探頭一端接激發(fā)光,一端接光譜儀,然后將光纖探頭對(duì)準(zhǔn)被測(cè)物就可以了,被測(cè)物一般放在光纖探針輸出端的焦點(diǎn)位置上,這樣光譜儀就可以需要的光譜了
光譜儀 光譜儀spectrometer將復(fù)色光分離成光譜的光學(xué)儀器。光譜儀有多種類型,除在可見光波段使用的光譜儀外,還有紅外光譜儀和紫外光譜儀。按色散元件的不同可分為棱鏡光譜儀、光柵光譜儀和干涉光譜儀...
光譜儀有很多種的 ,比如高利通的便攜式拉曼光譜儀,可見光譜儀,紫外光譜儀,微型光譜儀等等`
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從測(cè)量得到的火焰光譜數(shù)據(jù)出發(fā),對(duì)火焰探測(cè)器的光譜匹配因數(shù)進(jìn)行研究,導(dǎo)出了光譜匹配因數(shù)的表達(dá)式,并在1~14μm波段范圍內(nèi),計(jì)算了InSb紅外探測(cè)器對(duì)不同溫度黑體輻射的光譜匹配因數(shù),為新型火焰探測(cè)器的研制提供一些必要的理論依據(jù)。
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采用不同位置探測(cè)部分相干光光譜的方法,研究寬頻帶部分相干光在楊氏雙縫實(shí)驗(yàn)中的光譜位移和光譜開關(guān)現(xiàn)象.實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,在干涉光場(chǎng)中,歸一化光譜在某些觀測(cè)點(diǎn)處發(fā)生紅移,而在另一些觀測(cè)點(diǎn)處發(fā)生藍(lán)移,并且在臨界點(diǎn)位置,光譜位移由紅移迅速轉(zhuǎn)變?yōu)樗{(lán)移,即發(fā)生了光譜開關(guān)現(xiàn)象.此外,研究發(fā)現(xiàn)雙縫參數(shù)和探測(cè)距離對(duì)楊氏雙縫實(shí)驗(yàn)中的光譜位移和光譜開關(guān)都有影響.
最初,橢偏儀的工作波長(zhǎng)多為單一波長(zhǎng)或少數(shù)獨(dú)立的波長(zhǎng),最典型的是采用激光或?qū)﹄娀〉葟?qiáng)光譜光進(jìn)行濾光產(chǎn)生的單色光源。大多數(shù)的橢偏儀在很寬的波長(zhǎng)范圍內(nèi)以多波長(zhǎng)工作(通常有幾百個(gè)波長(zhǎng),接近連續(xù))。和單波長(zhǎng)的橢偏儀相比,光譜型橢偏儀有下面的優(yōu)點(diǎn):可以提升多層探測(cè)能力,可以測(cè)試物質(zhì)對(duì)不同波長(zhǎng)光波的折射率等。
橢偏儀的光譜范圍在深紫外的142nm到紅外33um可選。光譜范圍的選擇取決于被測(cè)材料的屬性、薄膜厚度及關(guān)心的光譜段等因素。例如,摻雜濃度對(duì)材料紅外光學(xué)屬性有很大的影響,因此需要能測(cè)量紅外波段的橢偏儀;薄膜的厚度測(cè)量需要光能穿透這薄膜,到達(dá)基底,然后并被探測(cè)器檢測(cè)到,因此需要選用該待測(cè)材料透明或部分透明的光譜段;對(duì)于厚的薄膜選取長(zhǎng)波長(zhǎng)更有利于測(cè)量。
橢偏儀 全自動(dòng)光譜橢偏儀 成像橢偏儀(成像橢圓偏振技術(shù))激光單波長(zhǎng)橢偏儀……
■ 優(yōu)點(diǎn):相對(duì)于光譜型橢偏儀,激光單波長(zhǎng)橢偏儀比較簡(jiǎn)單,由于不需要單色儀,四分之一玻片也可以根據(jù)波長(zhǎng)固定,光學(xué)元件也可以針對(duì)特定波長(zhǎng)進(jìn)行設(shè)計(jì),所以價(jià)格相對(duì)便宜,同時(shí)測(cè)量精度較高。
■缺點(diǎn):對(duì)多層膜分析能力不足,不如光譜型橢偏儀。