光位燈光投射方位

按照測量原理,激光位移技術原理分為激光三角測量法和激光回波分析法,激光三角測量法一般適用于高精度、短距離的測量，而激光回波分析法則用于遠距離測量。

激光位移(三角法)是最常見的激光測位移的方法之一，20世紀70年代用于熱軋帶鋼板形測量，由于這種板形測量方法簡單，響應速度快，在線數據處理容易實現，現已廣泛用于板形測量領域。激光測位移系統由激光光源和接收器(PSD和CCD)兩部分組成。激光器LD發(fā)出的光經透鏡L1匯聚照射在被測帶鋼表面的點O，其散射光由透鏡L2接收匯聚到線性光電元件(CCD)上的點O'，O與O'點共軛。當被測帶鋼表面相對激光器LD發(fā)生位移x，而使物光點偏離零點O,像光點X'也將產生位移而偏離光電元件的零點(O')。由幾何關系可推得x=aX'/(bsinβ十X'cosβ)。實際應用中調量系統結構可能略有不同，但測量原理基本相同。同時，光束在接收元件的位置通過模擬和數字電路處理，并通過微處理器分析，計算出相應的輸出值，并在用戶設定的模擬量窗口內，按比例輸出標準數據信號。如果使用開關量輸出，則在設定的窗口內導通，窗口之外截止。另外，模擬量與開關量輸出可獨立設置檢測窗口。

采取三角測量法的激光位移傳感器最高線性度可達1um，分辨率更是可達到0.1um的水平。比如ZLDS100類型的傳感器，它可以達到0.01%高分辨率，0.1%高線性度，9.4KHz高響應，適應惡劣環(huán)境。

激光位移法只是測量帶鋼因浪形而上下擺動的位移量，而要得到對應平直度的參數計算出帶鋼寬度方向不同位置縱向纖維長度差異。因此，通常要沿帶鋼寬度方向設置三臺以上激光位移傳感器。

電渦流位移傳感器

分辨率：電渦流傳感器的分辨率最高也可達到0.1um，與激光位移傳感器基本相當

線性度：電渦流傳感器的線性度一般較低，為量程的1%左右，高端激光位移傳感器則一般為0.1%

測量條件：電渦流傳感器要求被測體為導體而且非導磁，即不導磁的導體，例如鋁、銅等，鐵則不行；激光位移傳感器則對無論被測體是否導磁、是否導電都能測。

電容位移傳感器

電容式位移傳感器精度非常高，遠高于激光位移傳感器，但是電容位移傳感器的量程很小一般小于1mm，激光位移傳感器的量程最大可做到2m。

光纖位移傳感器

光纖位移傳感器的測量原理為通過測量物體因位移導致其表面反射回來的光通量和光強度的變化來測量物體的位移情況，其探頭由發(fā)射光纖和接收光纖兩部分組成。對于尺寸很小的物體的位移和振動情況，常規(guī)的非接觸式位移傳感器收到反射面積的限制導致測量效果不是很理想，而光纖位移傳感器則可以做成很小的探頭（最小0.2mm直徑），此外還可以做成直線發(fā)射和接收的形式，通過測量物體在位移過程中對光纖的遮擋程度來計算位移的數值，精度可達0.01um，量程最大4mm。