中文名 | 高壓液封直拉法 | 外文名 | high pressure liquid encapsulation pulling method |
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釋????義 | 高壓下的液體復(fù)蓋直拉法 | 性????能 | 高純、高電子遷移率 |
特????點(diǎn) | 簡(jiǎn)化生產(chǎn)工藝,降低成本 | 制????備 | 砷化鎵單晶 |
目前用于制備磷化鎵的高壓?jiǎn)尉t可充100-200大氣壓的惰性氣體。這種工藝的拉晶技術(shù)大體上和液封直拉法相同,只是因?yàn)闋t內(nèi)惰性氣體壓力很大,因此引起強(qiáng)烈的對(duì)流,從而給單晶生長(zhǎng)帶來(lái)更多的困難。但它目前仍然是從熔體中生長(zhǎng)大直徑磷化物單晶的最好方法之一。
高壓液封直拉法是用高壓?jiǎn)尉t拉制GaAs單晶,拉晶時(shí)爐內(nèi)惰性氣體壓力為3-6兆帕,B2O3覆蓋層的厚度為10-20毫米。由于其合成溫度低,時(shí)間短,則可有效地控制硅及其他雜質(zhì)的污染,使半絕緣GaAs堆晶的遷移率大幅度提高。而且,這一方法還可制取較大直徑的圓形<100>晶片。工藝中控制砷/鎵比是獲得半絕緣不摻雜質(zhì)單晶的關(guān)鍵。
高壓液封直拉法,可提高單晶純度,擴(kuò)大<100>單晶圓片直徑,簡(jiǎn)化生產(chǎn)工藝,降低成本。比水平法和常壓直拉法的單晶,更能符合微波場(chǎng)效應(yīng)器件和超高速大容量集成電路的需要。
2100433B
由于Ⅲ一V族化合物半導(dǎo)體中的磷化銦、磷化鎵等在熔點(diǎn)時(shí)具有很高的離解壓,因此從熔體中生長(zhǎng)單晶的工藝變得十分困難。自從出現(xiàn)液封直拉法后,又進(jìn)一步改進(jìn)爐子的機(jī)械結(jié)構(gòu)強(qiáng)度,解決了由于爐內(nèi)充高壓惰性氣氛帶來(lái)的高壓氣體密封問(wèn)題。采用氧化硼為密封劑,進(jìn)行磷化鎵等直拉單晶生長(zhǎng),這種技術(shù)稱為高壓液封直拉法。
化工生產(chǎn)中,把管子彎下來(lái)放進(jìn)一個(gè)液體槽中,以達(dá)到密封關(guān)內(nèi)氣體、防止漏氣的作用,所用到的承裝液體的槽就叫液封槽。
套化工定額制作安裝子目.按重量算,內(nèi)襯等綜合噸位.有子目.
全液封就是表盤(pán)內(nèi)裝有和水的調(diào)和物 比利是4:6 半液封不是整個(gè)表盤(pán)裝有調(diào)和物 只有機(jī)械部分裝 液封水表:用于抄表的計(jì)數(shù)字輪或整個(gè)...
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水表發(fā)展趨勢(shì)與小口徑干濕式水表對(duì)比 水表基本上用于貿(mào)易結(jié)算, 用戶面大量廣, 無(wú)疑是最重要的法制 計(jì)量器具之一。 水表必須符合所使用的國(guó)家法規(guī)的要求。 在我國(guó)水表 列為重點(diǎn)管理計(jì)量器具, 屬?gòu)?qiáng)制性檢定計(jì)量?jī)x表并有具體的實(shí)施方法 按最新的國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)和國(guó)際建議。 水表在各種流量計(jì)中屬于結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、 應(yīng)用最廣泛的流量?jī)x表, 也 是最重要的法制計(jì)量?jī)x表。 水表是按其使用用途來(lái)定義和劃分的, 在 測(cè)量條件下用于連續(xù)測(cè)量、 記憶和顯示流經(jīng)測(cè)量傳感器的水體積的計(jì) 量?jī)x表都為水表, 這當(dāng)中既包括了我們通常概念中的旋翼式水表、 螺 翼式水表、活塞式水表等基于機(jī)械原理工作的流量計(jì), 也有基于電子 或電磁原理工作的流量計(jì),如電磁流量計(jì)、超聲流量計(jì)等。另外帶電 子裝置水表是一種在機(jī)械式水表上添加了各種輔助裝置的水表, 以滿 足管理和控制的需要,如各類預(yù)付費(fèi)水表和電子遠(yuǎn)傳水表。 一、目前國(guó)內(nèi)水表發(fā)展趨勢(shì)。 隨著電子技術(shù)
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水表發(fā)展趨勢(shì)與小口徑干濕式水表對(duì)比 水表基本上用于貿(mào)易結(jié)算, 用戶面大量廣, 無(wú)疑是最重要的法制 計(jì)量器具之一。 水表必須符合所使用的國(guó)家法規(guī)的要求。 在我國(guó)水表 列為重點(diǎn)管理計(jì)量器具, 屬?gòu)?qiáng)制性檢定計(jì)量?jī)x表并有具體的實(shí)施方法 按最新的國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)和國(guó)際建議。 水表在各種流量計(jì)中屬于結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、 應(yīng)用最廣泛的流量?jī)x表, 也 是最重要的法制計(jì)量?jī)x表。 水表是按其使用用途來(lái)定義和劃分的, 在 測(cè)量條件下用于連續(xù)測(cè)量、 記憶和顯示流經(jīng)測(cè)量傳感器的水體積的計(jì) 量?jī)x表都為水表, 這當(dāng)中既包括了我們通常概念中的旋翼式水表、 螺 翼式水表、活塞式水表等基于機(jī)械原理工作的流量計(jì), 也有基于電子 或電磁原理工作的流量計(jì),如電磁流量計(jì)、超聲流量計(jì)等。另外帶電 子裝置水表是一種在機(jī)械式水表上添加了各種輔助裝置的水表, 以滿 足管理和控制的需要,如各類預(yù)付費(fèi)水表和電子遠(yuǎn)傳水表。 一、目前國(guó)內(nèi)水表發(fā)展趨勢(shì)。 隨著電子技術(shù)
《電子學(xué)名詞》第一版。 2100433B
1993年,經(jīng)全國(guó)科學(xué)技術(shù)名詞審定委員會(huì)審定發(fā)布。