由于Ⅲ一V族化合物半導體中的磷化銦、磷化鎵等在熔點時具有很高的離解壓,因此從熔體中生長單晶的工藝變得十分困難。自從出現(xiàn)液封直拉法后,又進一步改進爐子的機械結構強度,解決了由于爐內(nèi)充高壓惰性氣氛帶來的高壓氣體密封問題。采用氧化硼為密封劑,進行磷化鎵等直拉單晶生長,這種技術稱為高壓液封直拉法。
目前用于制備磷化鎵的高壓單晶爐可充100-200大氣壓的惰性氣體。這種工藝的拉晶技術大體上和液封直拉法相同,只是因為爐內(nèi)惰性氣體壓力很大,因此引起強烈的對流,從而給單晶生長帶來更多的困難。但它目前仍然是從熔體中生長大直徑磷化物單晶的最好方法之一。
高壓液封直拉法是用高壓單晶爐拉制GaAs單晶,拉晶時爐內(nèi)惰性氣體壓力為3-6兆帕,B2O3覆蓋層的厚度為10-20毫米。由于其合成溫度低,時間短,則可有效地控制硅及其他雜質(zhì)的污染,使半絕緣GaAs堆晶的遷移率大幅度提高。而且,這一方法還可制取較大直徑的圓形<100>晶片。工藝中控制砷/鎵比是獲得半絕緣不摻雜質(zhì)單晶的關鍵。
高壓液封直拉法,可提高單晶純度,擴大<100>單晶圓片直徑,簡化生產(chǎn)工藝,降低成本。比水平法和常壓直拉法的單晶,更能符合微波場效應器件和超高速大容量集成電路的需要。
2100433B
化工生產(chǎn)中,把管子彎下來放進一個液體槽中,以達到密封關內(nèi)氣體、防止漏氣的作用,所用到的承裝液體的槽就叫液封槽。
套化工定額制作安裝子目.按重量算,內(nèi)襯等綜合噸位.有子目.
全液封就是表盤內(nèi)裝有和水的調(diào)和物 比利是4:6 半液封不是整個表盤裝有調(diào)和物 只有機械部分裝 液封水表:用于抄表的計數(shù)字輪或整個...
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水表發(fā)展趨勢與小口徑干濕式水表對比 水表基本上用于貿(mào)易結算, 用戶面大量廣, 無疑是最重要的法制 計量器具之一。 水表必須符合所使用的國家法規(guī)的要求。 在我國水表 列為重點管理計量器具, 屬強制性檢定計量儀表并有具體的實施方法 按最新的國際標準和國際建議。 水表在各種流量計中屬于結構簡單、 應用最廣泛的流量儀表, 也 是最重要的法制計量儀表。 水表是按其使用用途來定義和劃分的, 在 測量條件下用于連續(xù)測量、 記憶和顯示流經(jīng)測量傳感器的水體積的計 量儀表都為水表, 這當中既包括了我們通常概念中的旋翼式水表、 螺 翼式水表、活塞式水表等基于機械原理工作的流量計, 也有基于電子 或電磁原理工作的流量計,如電磁流量計、超聲流量計等。另外帶電 子裝置水表是一種在機械式水表上添加了各種輔助裝置的水表, 以滿 足管理和控制的需要,如各類預付費水表和電子遠傳水表。 一、目前國內(nèi)水表發(fā)展趨勢。 隨著電子技術
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水表發(fā)展趨勢與小口徑干濕式水表對比 水表基本上用于貿(mào)易結算, 用戶面大量廣, 無疑是最重要的法制 計量器具之一。 水表必須符合所使用的國家法規(guī)的要求。 在我國水表 列為重點管理計量器具, 屬強制性檢定計量儀表并有具體的實施方法 按最新的國際標準和國際建議。 水表在各種流量計中屬于結構簡單、 應用最廣泛的流量儀表, 也 是最重要的法制計量儀表。 水表是按其使用用途來定義和劃分的, 在 測量條件下用于連續(xù)測量、 記憶和顯示流經(jīng)測量傳感器的水體積的計 量儀表都為水表, 這當中既包括了我們通常概念中的旋翼式水表、 螺 翼式水表、活塞式水表等基于機械原理工作的流量計, 也有基于電子 或電磁原理工作的流量計,如電磁流量計、超聲流量計等。另外帶電 子裝置水表是一種在機械式水表上添加了各種輔助裝置的水表, 以滿 足管理和控制的需要,如各類預付費水表和電子遠傳水表。 一、目前國內(nèi)水表發(fā)展趨勢。 隨著電子技術
《電子學名詞》第一版。 2100433B
1993年,經(jīng)全國科學技術名詞審定委員會審定發(fā)布。