高壓液封直拉法是用高壓?jiǎn)尉t拉制GaAs單晶,拉晶時(shí)爐內(nèi)惰性氣體壓力為3-6兆帕,B2O3覆蓋層的厚度為10-20毫米。由于其合成溫度低,時(shí)間短,則可有效地控制硅及其他雜質(zhì)的污染,使半絕緣GaAs堆晶的遷移率大幅度提高。而且,這一方法還可制取較大直徑的圓形<100>晶片。工藝中控制砷/鎵比是獲得半絕緣不摻雜質(zhì)單晶的關(guān)鍵。
高壓液封直拉法,可提高單晶純度,擴(kuò)大<100>單晶圓片直徑,簡(jiǎn)化生產(chǎn)工藝,降低成本。比水平法和常壓直拉法的單晶,更能符合微波場(chǎng)效應(yīng)器件和超高速大容量集成電路的需要。
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目前用于制備磷化鎵的高壓?jiǎn)尉t可充100-200大氣壓的惰性氣體。這種工藝的拉晶技術(shù)大體上和液封直拉法相同,只是因?yàn)闋t內(nèi)惰性氣體壓力很大,因此引起強(qiáng)烈的對(duì)流,從而給單晶生長(zhǎng)帶來(lái)更多的困難。但它目前仍然是從熔體中生長(zhǎng)大直徑磷化物單晶的最好方法之一。
由于Ⅲ一V族化合物半導(dǎo)體中的磷化銦、磷化鎵等在熔點(diǎn)時(shí)具有很高的離解壓,因此從熔體中生長(zhǎng)單晶的工藝變得十分困難。自從出現(xiàn)液封直拉法后,又進(jìn)一步改進(jìn)爐子的機(jī)械結(jié)構(gòu)強(qiáng)度,解決了由于爐內(nèi)充高壓惰性氣氛帶來(lái)的高壓氣體密封問(wèn)題。采用氧化硼為密封劑,進(jìn)行磷化鎵等直拉單晶生長(zhǎng),這種技術(shù)稱(chēng)為高壓液封直拉法。
化工生產(chǎn)中,把管子彎下來(lái)放進(jìn)一個(gè)液體槽中,以達(dá)到密封關(guān)內(nèi)氣體、防止漏氣的作用,所用到的承裝液體的槽就叫液封槽。
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請(qǐng)問(wèn)襯底對(duì)砷化鎵電池的影響是什么?
太陽(yáng)能光伏發(fā)電在全球取得長(zhǎng)足發(fā)展。常用光伏電池一般為多晶硅和單晶硅電池,然而由于原材料多晶硅的供應(yīng)能力有限,加上國(guó)際炒家的炒作,導(dǎo)致國(guó)際市場(chǎng)上多晶硅價(jià)格一路攀升,最近一年來(lái),由于受經(jīng)濟(jì)危機(jī)影響,價(jià)格有...
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半導(dǎo)體激光器是光纖通信系統(tǒng)最有希望的光源.但是由于橫模不穩(wěn)定引起的L-I(光功率—電源)特性的扭曲,嚴(yán)重地影響了它的應(yīng)用范圍.因此,努力改進(jìn)其性能,特別是控制其橫模得到了廣泛的重視.本文所報(bào)導(dǎo)的溝槽襯底條形激光器工藝簡(jiǎn)單,而且在沿結(jié)平面方向因第一外延層n-Al_(0.3)Ga_(0.7) As厚度變化引起了有效折射率的變化,產(chǎn)生了一定的波導(dǎo)作用,從而穩(wěn)定了橫模.同時(shí)這種激光器的作用區(qū)是圓弧形的,有利于跟光纖的耦合.溝槽襯底條形激光器的橫向電流限制是用溝槽區(qū)外的p-n-p-n結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)的.它的制造工藝主要是采用普通的化學(xué)腐蝕和液相外延.首先在(100)取向的n-GaAs襯底上擴(kuò)散Zn形成一層厚約 2微米的P-GaAs,
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用脈沖噴射電沉積法制備納米晶鎳鍍層 作者: 江山, 潘勇, 唐甜, 周益春, JIANG Shan, PAN Yong, TANG Tian, ZHOU Yi-chun 作者單位: 江山,JIANG Shan(河南工業(yè)大學(xué)理學(xué)院,河南,鄭州,450007;湘潭大學(xué)先進(jìn)材料及其流變特性 教育部重點(diǎn)試驗(yàn)室,湖南,湘潭,411105) , 潘勇,唐甜,周益春,PAN Yong,TANG Tian,ZHOU Yi-chun(湘潭大學(xué)先進(jìn)材料及其流變特性教育部重點(diǎn)試驗(yàn)室,湖南,湘潭,411105;湘潭大學(xué)材 料與光電物理學(xué)院,湖南,湘潭,411105) 刊名: 材料保護(hù) 英文刊名: MATERIALS PROTECTION 年,卷(期): 2007,40(3) 被引用次數(shù): 5次 參考文獻(xiàn)(15條) 1.盧柯;周飛 納米晶體材料的研究現(xiàn)狀 1997(01) 2.徐承坤;楊中東 電沉積制備納
《電子學(xué)名詞》第一版。 2100433B
1993年,經(jīng)全國(guó)科學(xué)技術(shù)名詞審定委員會(huì)審定發(fā)布。