中文名 | 光柵角位移測(cè)量系統(tǒng) | 外文名 | Grating angular displacement measuring system |
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原????理 | 利用光柵副產(chǎn)生光信號(hào)的原理 | 外????觀 | 金屬表面不應(yīng)有銹蝕 |
測(cè)量系統(tǒng)在工作環(huán)境溫度范圍0~45℃相對(duì)濕度不大于90%的條件下應(yīng)正常計(jì)數(shù)。
測(cè)量系統(tǒng)在工作電壓誤差為±5%以內(nèi)應(yīng)正常計(jì)數(shù)。
測(cè)量系統(tǒng)金屬表面不應(yīng)有銹蝕、碰傷和鍍層脫落等缺陷,各種標(biāo)志和數(shù)字應(yīng)正確、清晰。
各緊固部分應(yīng)牢固可靠,各運(yùn)動(dòng)部分應(yīng)靈活、平穩(wěn)、無卡滯和松動(dòng)現(xiàn)象。
測(cè)量系統(tǒng)整圓周內(nèi)角度顯示和參考零位的顯示、清零、置數(shù)、辨向等功能均應(yīng)正常。
在室溫條件下測(cè)量系統(tǒng)4h 內(nèi)示值穩(wěn)定度應(yīng)不大于一個(gè)脈沖數(shù)。
電源插座的任一個(gè)接線端與機(jī)殼之間的漏電流應(yīng)不大于3.5mA。
電源插座的任一個(gè)接線端與機(jī)殼之間的直流絕緣電阻應(yīng)不小于5MΩ。
當(dāng)交流電壓為1500V 時(shí),機(jī)殼耐壓1min,不得有擊穿現(xiàn)象。
測(cè)量系統(tǒng)應(yīng)具有電磁兼容能力,受干擾時(shí)示值變化量應(yīng)不大于一個(gè)脈沖數(shù)。
測(cè)量系統(tǒng)的平均無故障工作時(shí)間(MTBF)應(yīng)不少于3000h。2100433B
測(cè)量系統(tǒng)誤差曲線上最高點(diǎn)與最低點(diǎn)之差。
光柵柵距內(nèi)莫爾條紋原始信號(hào)經(jīng)測(cè)量系統(tǒng)分割或倍頻后分割間距之間的最大誤差。
有兩大類:一、直接測(cè)量直接測(cè)量又分為:1、直接比較測(cè)量法2、微差測(cè)量法3、零位測(cè)量法二、間接測(cè)量
光柵尺位移傳感器(簡(jiǎn)稱光柵尺),是利用光柵的光學(xué)原理工作的測(cè)量反饋裝置。光柵位移傳感器的工作原理,是由一對(duì)光柵副中的主光柵(即標(biāo)尺光柵)和副光柵(即指示光柵)進(jìn)行相對(duì)位移時(shí),在光的干涉與衍射共同作用下...
角位移傳感器也就是角度傳感器,用于角度測(cè)量或者角位移定位的電子元器件產(chǎn)品。使用時(shí),先用廠家提供的安裝支架或者螺絲將角位移傳感器安裝固定好,再正確接線,然后傳感器轉(zhuǎn)軸通過聯(lián)軸器等與設(shè)備關(guān)聯(lián)。通電后,角位...
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大?。?span id="zpl5epx" class="single-tag-height">1.2MB
頁數(shù): 3頁
評(píng)分: 4.6
介紹了一種雙光柵衍射位移測(cè)量教學(xué)實(shí)驗(yàn)儀器的工作原理、系統(tǒng)結(jié)構(gòu)、研制內(nèi)容、實(shí)測(cè)結(jié)果以及在實(shí)驗(yàn)教學(xué)中的應(yīng)用。
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本文提出了一種基于光杠桿原理非接觸式的納米級(jí)微位移測(cè)量系統(tǒng)。該系統(tǒng)通過光學(xué)方法對(duì)微位移量進(jìn)行放大,光學(xué)放大倍數(shù)高,該系統(tǒng)的理論分辨率可達(dá)4nm,實(shí)際測(cè)得靜態(tài)分辨率小于10nm。信號(hào)處理采用基于高精度一維PSD的信號(hào)探測(cè)電路,并且通過設(shè)計(jì)有效地抑制了噪聲和干擾。實(shí)驗(yàn)中使用PZT作為被測(cè)物的微小位移驅(qū)動(dòng)器,與電容測(cè)微儀JDC-II所測(cè)數(shù)據(jù)進(jìn)行了驗(yàn)證比較,系統(tǒng)所測(cè)得的數(shù)據(jù)證明了其正確性和可行性。并且該系統(tǒng)受溫度影響小,結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,便于使用MEMS技術(shù)集成和微型化。
中文名稱:光柵線位移測(cè)量系統(tǒng)
英文名稱:Grating linear displacement measuring system
1 光柵線位移測(cè)量系統(tǒng)
利用光柵副產(chǎn)生光信號(hào)的原理由光柵線位移傳感器感受線位移量并用光柵數(shù)顯表顯示其值的長(zhǎng)
度測(cè)量單元。
2 測(cè)量系統(tǒng)分辨率
測(cè)量系統(tǒng)顯示的最小長(zhǎng)度計(jì)數(shù)單位。
3 測(cè)量系統(tǒng)細(xì)分誤差
光柵柵距內(nèi)莫爾條紋原始信號(hào)經(jīng)測(cè)量系統(tǒng)分割或倍頻后分割間距之間的最大誤差。
4 誤差峰–峰值
測(cè)量系統(tǒng)誤差曲線上最高點(diǎn)與最低點(diǎn)之差。
1 工作條件
測(cè)量系統(tǒng)工作環(huán)境溫度范圍應(yīng)為0~45 相對(duì)濕度應(yīng)不大于90%。
測(cè)量系統(tǒng)使用的電源頻率應(yīng)為50Hz 額定電壓為220V 電壓波動(dòng)范圍為額定電壓值的85%~110%。
2 外觀及相互作用
各緊固部分應(yīng)牢固可靠各運(yùn)動(dòng)部分應(yīng)靈活平穩(wěn)無阻滯和松動(dòng)現(xiàn)象。
測(cè)量系統(tǒng)有效量程的顯示應(yīng)符合規(guī)定值參考零位的顯示清零置數(shù)辨向等功能均應(yīng)正常。
3 穩(wěn)定度
在室溫條件下測(cè)量系統(tǒng)4h 內(nèi)示值穩(wěn)定度應(yīng)不大于一個(gè)脈沖當(dāng)量。
4 可靠性
測(cè)量系統(tǒng)可靠性用平均無故障工作時(shí)間MTBF 表示其MTBF 應(yīng)不少于3000h。
5 安全性
電源插座的任一個(gè)接線端與機(jī)殼之間的漏電流應(yīng)不大于3.5mA。
電源插座的任一個(gè)接線端與機(jī)殼之間的直流絕緣電阻應(yīng)不小于5MΩ。
耐壓試驗(yàn)時(shí)交流電壓為1500V 時(shí)機(jī)殼耐壓時(shí)間為1min 不得有擊穿現(xiàn)象。
6 抗干擾性
測(cè)量系統(tǒng)應(yīng)具有電磁兼容能力受干擾時(shí)示值變化量應(yīng)不大于一個(gè)脈沖當(dāng)量。