化學(xué)機(jī)械研磨技術(shù)綜合了化學(xué)研磨和機(jī)械研磨的優(yōu)勢。單純的化學(xué)研磨,表面精度較高,損傷低,完整性好,不容易出現(xiàn)表面/亞表面損傷,但是研磨速率較慢,材料去除效率較低,不能修正表面型面精度,研磨一致性比較差;單純的機(jī)械研磨,研磨一致性好,表面平整度高,研磨效率高,但是容易出現(xiàn)表面層/亞表面層損傷,表面粗糙度值比較低?;瘜W(xué)機(jī)械研磨吸收了兩者各自的優(yōu)點(diǎn),可以在保證材料去除效率的同時,獲得較完美的表面,得到的平整度比單純使用這兩種研磨要高出1-2個數(shù)量級,并且可以實(shí)現(xiàn)納米級到原子級的表面粗糙度。
研磨耗材分為以下幾大類:研磨液(Slurry)、研磨墊(Pad)、金剛石盤(Disk)、研磨頭(Head)、清洗刷(Brush)和化學(xué)清洗劑與保護(hù)劑(Chemical)等。
研磨制程根據(jù)研磨對象不同主要分為:硅研磨(Poly CMP)、硅氧化物研磨(Silicon oxide CMP)、碳化硅研磨(Silicon carbide CMP)、鎢研磨(W CMP)和銅研磨(Cu CMP)。
擴(kuò)孔型錨栓是利用機(jī)械原理固定的化學(xué)錨栓是利用類似于膠水原理來固定的。
1.超聲波花邊機(jī)花輪焊頭采用特殊合金鋼材料制成,并經(jīng)特種熱處理工藝,具有耐磨損、使用壽命長等特點(diǎn)。2.花邊機(jī)操作時不需預(yù)熱可連續(xù)性加工、速度快、大量生產(chǎn)、可轉(zhuǎn)角,加工時不冒煙、火花,不傷害布類邊緣。3...
常用機(jī)械傳動機(jī)構(gòu)的特點(diǎn)及應(yīng)用
鏈傳動:傳遞距離遠(yuǎn)、準(zhǔn)確比如自行車。皮帶傳動:傳遞距離遠(yuǎn)但是功率損耗大易打滑比如輸送帶、水泵。齒輪傳動:傳遞距離短,但是動力大、精確,比如各種汽車變速箱 ,
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研磨拋光機(jī)的機(jī)械部分主要是由傳動系統(tǒng)、磨盤、磨盤連接接頭、主體支架、工件夾緊盤和供液系統(tǒng)組成.在LZM-6B研磨拋光機(jī)工作過程中,主體結(jié)構(gòu)影響擺動,傳動機(jī)構(gòu)影響加載均勻性.研磨拋光液的均勻性對拋光的質(zhì)量也有很大的影響.本文從拋光機(jī)的主體結(jié)構(gòu)、傳動機(jī)構(gòu)、夾具和供應(yīng)系統(tǒng)等方面,介紹改造行星式研磨拋光機(jī)的機(jī)械部分的設(shè)計(jì)經(jīng)驗(yàn).
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評分: 4.4
結(jié)合現(xiàn)代信息化戰(zhàn)爭的特點(diǎn),總結(jié)了外軍工程機(jī)械的幾大特點(diǎn),包括通用化、集成化、系列化程度高,技術(shù)先進(jìn),可靠度高,機(jī)動性能好,快速部署能力強(qiáng)以及偽裝防護(hù)性能好等。
作品目錄
第1章 晶體成長和晶圓制作
第2章 磊晶沉積設(shè)備
第3章 微影照相設(shè)備
第4章 化學(xué)氣相沉積爐
第5章 氧化擴(kuò)散高溫爐
第6章 離子植入機(jī)
第7章 乾蝕刻機(jī)
第8章 蒸鍍機(jī)
第9章 濺鍍機(jī)
第10章 化學(xué)機(jī)械研磨