研磨耗材分為以下幾大類(lèi):研磨液(Slurry)、研磨墊(Pad)、金剛石盤(pán)(Disk)、研磨頭(Head)、清洗刷(Brush)和化學(xué)清洗劑與保護(hù)劑(Chemical)等。
研磨制程根據(jù)研磨對(duì)象不同主要分為:硅研磨(Poly CMP)、硅氧化物研磨(Silicon oxide CMP)、碳化硅研磨(Silicon carbide CMP)、鎢研磨(W CMP)和銅研磨(Cu CMP)。
化學(xué)機(jī)械研磨技術(shù)綜合了化學(xué)研磨和機(jī)械研磨的優(yōu)勢(shì)。單純的化學(xué)研磨,表面精度較高,損傷低,完整性好,不容易出現(xiàn)表面/亞表面損傷,但是研磨速率較慢,材料去除效率較低,不能修正表面型面精度,研磨一致性比較差;單純的機(jī)械研磨,研磨一致性好,表面平整度高,研磨效率高,但是容易出現(xiàn)表面層/亞表面層損傷,表面粗糙度值比較低。化學(xué)機(jī)械研磨吸收了兩者各自的優(yōu)點(diǎn),可以在保證材料去除效率的同時(shí),獲得較完美的表面,得到的平整度比單純使用這兩種研磨要高出1-2個(gè)數(shù)量級(jí),并且可以實(shí)現(xiàn)納米級(jí)到原子級(jí)的表面粗糙度。
用研磨工具和研磨劑將工件表面上磨去一層微量金屬,使工件表面達(dá)到精確的尺寸、準(zhǔn)確的幾何形狀和極細(xì)的表面粗糙度,這種精密加工方法稱(chēng)為研磨。研具的表面硬度應(yīng)稍低于被研零件,這樣,在研磨中可使研磨劑中的微小磨...
豆?jié){機(jī)有網(wǎng)研磨和無(wú)網(wǎng)研磨哪個(gè)好
我買(mǎi)的時(shí)候,九陽(yáng)的人說(shuō)那個(gè)網(wǎng)叫五谷精磨器,有比沒(méi)有好,每次磨的時(shí)候,會(huì)先將水中的豆子吸進(jìn)網(wǎng)中(網(wǎng)上的孔滿(mǎn)大的),然后會(huì)磨得比較細(xì)一點(diǎn),但是因?yàn)槲屹I(mǎi)的是不銹鋼外殼的,所以看不到里面。
豆?jié){機(jī)無(wú)網(wǎng)研磨好還是有網(wǎng)研磨好
有網(wǎng)有網(wǎng)的好處,無(wú)網(wǎng)有無(wú)網(wǎng)的好處。有網(wǎng)的確實(shí)打出來(lái)味道不一樣。但是無(wú)網(wǎng)好清洗些。至于難喝我到不覺(jué)得,看個(gè)人習(xí)慣了,覺(jué)得無(wú)網(wǎng)打出來(lái)味道也不錯(cuò)的,有的時(shí)候是炒作出來(lái)的。不過(guò)有點(diǎn)可以確認(rèn),就是無(wú)網(wǎng)的刀片的磨...
格式:pdf
大?。?span id="aher9hy" class="single-tag-height">1.3MB
頁(yè)數(shù): 3頁(yè)
評(píng)分: 4.6
研磨拋光機(jī)的機(jī)械部分主要是由傳動(dòng)系統(tǒng)、磨盤(pán)、磨盤(pán)連接接頭、主體支架、工件夾緊盤(pán)和供液系統(tǒng)組成.在LZM-6B研磨拋光機(jī)工作過(guò)程中,主體結(jié)構(gòu)影響擺動(dòng),傳動(dòng)機(jī)構(gòu)影響加載均勻性.研磨拋光液的均勻性對(duì)拋光的質(zhì)量也有很大的影響.本文從拋光機(jī)的主體結(jié)構(gòu)、傳動(dòng)機(jī)構(gòu)、夾具和供應(yīng)系統(tǒng)等方面,介紹改造行星式研磨拋光機(jī)的機(jī)械部分的設(shè)計(jì)經(jīng)驗(yàn).
格式:pdf
大小:1.3MB
頁(yè)數(shù): 8頁(yè)
評(píng)分: 4.4
為了提高光纖連接器端面的加工效率和加工質(zhì)量,改善連接器光傳輸性能,探討了在機(jī)械研磨的界面上引入超聲能的復(fù)合研磨方式,設(shè)計(jì)了相應(yīng)的超聲機(jī)械研磨裝置.實(shí)驗(yàn)結(jié)果顯示,超聲機(jī)械研磨效率是機(jī)械研磨的4- 8倍,光纖表面粗糙度達(dá)到2-5nm,插入損耗小于0.1 dB、回波損耗小于-60 dB.研究表明,超聲機(jī)械研磨技術(shù)可以提高光纖連接器的研磨效率和質(zhì)量,使傳輸性能獲得顯著改善.
作品目錄
第1章 晶體成長(zhǎng)和晶圓制作
第2章 磊晶沉積設(shè)備
第3章 微影照相設(shè)備
第4章 化學(xué)氣相沉積爐
第5章 氧化擴(kuò)散高溫爐
第6章 離子植入機(jī)
第7章 乾蝕刻機(jī)
第8章 蒸鍍機(jī)
第9章 濺鍍機(jī)
第10章 化學(xué)機(jī)械研磨