ICP(Inductively Coupled Plasma),即電感耦合等離子體。
暴露在電子區(qū)域的氣體形成等離子體,由此產(chǎn)生的電離氣體和釋放高能電子組成的氣體,從而形成了等離子或離子,電離氣體原子通過(guò)電場(chǎng)加速時(shí),會(huì)釋放足夠的力量與表面驅(qū)逐力緊緊粘合材料或蝕刻表面。某種程度來(lái)講,等離子清洗實(shí)質(zhì)上是等離子體刻蝕的一種較輕微的情況。進(jìn)行干式蝕刻工藝的設(shè)備包括反應(yīng)室、電源、真空部分。工件送入被真空泵抽空的反應(yīng)室。氣體被導(dǎo)入并與等離子體進(jìn)行交換。等離子體在工件表面發(fā)生反應(yīng),反應(yīng)的揮發(fā)性副產(chǎn)物被真空泵抽走。等離子體刻蝕工藝實(shí)際上便是一種反應(yīng)性等離子工藝。近期的發(fā)展是在反應(yīng)室的內(nèi)部安裝成擱架形式,這種設(shè)計(jì)的是富有彈性的,用戶可以移去架子來(lái)配置合適的等離子體的蝕刻方法:反應(yīng)性等離子體(RIE),順流等離子體(downstream),直接等離子體(direction plasma)。
等離子體聚合物在結(jié)構(gòu)上與普通的聚合物顯著不同,它能形成含有活性基團(tuán)的高度交聯(lián)的網(wǎng)絡(luò)結(jié)構(gòu),從而具有良好的均勻性及對(duì)基質(zhì)的附著性[1,2].有關(guān)采用等離子體聚合膜的TSM傳感器的報(bào)道不多[3,4],本室已...
等離子體又叫做“電漿”,是由部分電子被剝奪后的原子及原子被電離后產(chǎn)生的正負(fù)電子組成的離子化氣體狀物質(zhì) 在人工生成等離子體的方法中,氣體放電法比加熱的辦法更加簡(jiǎn)便高效,如熒光燈、霓虹燈、電弧焊、電暈放電...
低溫等離子體:適合的應(yīng)用材料的表面清洗活化焊接,油漆,打印,密封,起泡,涂覆及硅化前表面活化處理。氣體裂解和高效滅菌加速化學(xué)反應(yīng)產(chǎn)品特點(diǎn):突破低氣壓限制,可在大氣壓下引發(fā)等離子體;可對(duì)材料連續(xù)在線處理...
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食品樣品使用微波消解處理后,選用質(zhì)量數(shù)相近的鈧(Sc)作為內(nèi)標(biāo),使用電感耦合等離子體-質(zhì)譜儀測(cè)定總鉻含量。在0—150μg/L范圍內(nèi),儀器響應(yīng)值與總鉻含量呈線性關(guān)系,線性方程為I=0.0429C,相關(guān)系數(shù)r=0.9998,檢出限為0.022mg/kg,相對(duì)標(biāo)準(zhǔn)偏差(n=6)為4.58%,加標(biāo)回收率在97.6%—104%之間。
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ICP(Inductive Coupled Plasma Emission Spectrometer)電感耦合等離子光譜發(fā)生儀,電感耦合等離子體(ICP)是用于原子發(fā)射光譜的主要光源。ICP具有環(huán)形結(jié)構(gòu)、溫度高、電子密度高、惰性氣氛等特點(diǎn),用它做激發(fā)光源具有檢出限低、線性范圍廣、電離和化學(xué)干擾少、準(zhǔn)確度和精密度高等分析性能。
ICP還可以作為原子化器,如以空心陰極燈為光源,ICP為原子化器的原子熒光光譜儀.這類儀器不采用單色器,以ICP為中心,在周圍安裝多個(gè)檢測(cè)單元(每一元素配一個(gè)檢測(cè)單元),形成了多元素分析系統(tǒng).ICP作為原子化器最大的優(yōu)點(diǎn)在于原子化器具有很高的溫度,多種元素都可得到很好地原子化,散射問(wèn)題也得到克服.由計(jì)算機(jī)控制,燈電源順序地向各檢測(cè)單元的空心陰極燈供電(2,000次/秒),所產(chǎn)生的熒光由相應(yīng)的光電倍增管檢測(cè),光電轉(zhuǎn)換后的電信號(hào)在放大后由計(jì)算機(jī)處理,并報(bào)出各元素的分析結(jié)果.不過(guò),值得提出的是,以ICP為原子化器的原子熒光光譜儀對(duì)難溶元素的測(cè)定靈敏度不高.2100433B
電感耦合等離子體質(zhì)譜法是擁有極高的分析靈敏度和動(dòng)態(tài)范圍。
電感耦合等離子體質(zhì)譜法(英語(yǔ):Inductively coupled plasma mass spectrometry,簡(jiǎn)稱ICP-MS),可以分析同位素組成,從Li到U(Ar除外,一般電感耦合等離子體都用Ar做載氣)。
電感耦合等離子體發(fā)光光譜分析(ICP)