制備光刻版;微納圖形光刻。 2100433B
最小線寬0.7μm;曝光效率110 mm2/min。
DEH系統(tǒng)主要功能: 汽輪機轉(zhuǎn)速控制;自動同期控制;負荷控制;參與一次調(diào)頻;機、爐協(xié)調(diào)控制;快速減負荷;主汽壓控制;單閥控制、多閥解耦控制;閥門試驗;輪機程控啟動;OPC控制;甩負荷及失磁工況控制;...
1.產(chǎn)品大小規(guī)格、薄厚:常規(guī)標準板1220*2440mm、1220*3050mm;厚度最好不要小于5mm,一般在6-20mm之間,可任意調(diào)制。2.可切割、鉆孔:使用木工鋸、石材鋸、角磨機均可進行切割,...
一、 LED 的結(jié)構(gòu)及發(fā)光原理50 年前人們已經(jīng)了解半導(dǎo)體材料可產(chǎn)生光線的基本知識,第一個商用二極管產(chǎn)生于 1960 年。 LED 是英文 light emitting diode (發(fā)光二極管)的縮...
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道閘 主要功能: 功能一,手動按鈕可作 ‘升’‘降’及‘?!僮?、無線遙控可作 ‘升’‘降’‘?!皩κ謩影粹o的 ‘加鎖’‘解鎖 ’操作 ; 功能二,停電自動解鎖,停電后可手動抬桿 ; 功能三,具有便于維護與調(diào)試的 ‘自檢模式 ’; 道閘 道閘又稱擋車器,最初從國外引進,英文名叫 Barrier Gate ,是專門用于道路上限 制機動車行駛的通道出入口管理設(shè)備 ,現(xiàn)廣泛應(yīng)用于公路收費站、 停車場系統(tǒng) 管理車 輛通道,用于管理車輛的出入。電動道閘可單獨通過無線遙控實現(xiàn)起落桿,也可以通過 停車場管理系統(tǒng) (即 IC 刷卡管理系統(tǒng))實行自動管理狀態(tài),入場取卡放行車輛,出場 時,收取 停車費 后自動放行車輛。
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紫外線曝光機是印制板制造工藝中的重要設(shè)備,燈源是影響印制板曝光質(zhì)量的主要因素。提供一種曝光機燈源系統(tǒng)設(shè)計方案,包括燈源的調(diào)光電路選擇、三菱PLC擴展模塊模的使用、以及控制燈箱抽風(fēng)風(fēng)扇的PLC程序。
小型臺式無掩膜光刻機Microwriter ML3,通過激光直寫在光刻膠上直接曝光制作所需要的圖案,而無需掩膜版,專為實驗室設(shè)計開發(fā),適用于各種實驗室桌面。
Focus Lock自動對焦
Focus Lock技術(shù)是利用自動對焦功能對樣品表面高度進行探測,并通過Z向調(diào)整和補償,以保證曝光分辨率。
直寫前預(yù)檢查
軟件可以實時顯微觀測基體表面,并顯示預(yù)直寫圖形位置。通過調(diào)整位置、角度,直到設(shè)計圖形按要求與已有結(jié)構(gòu)重合,保證直寫準確。
標記物自動識別
點擊“Bulls-Eye”按鈕,系統(tǒng)自動在顯微鏡圖像中識別光刻標記。標記物被識別后,將自動將其移動到顯微鏡中心位置。
光學(xué)輪廓儀
Microwriter ML3 配備光學(xué)輪廓探測工具,用于勻膠后沉積層,蝕刻層,MEMS等前道結(jié)構(gòu)的形貌探測與套刻。Z向最高精度100 nm,方便快捷。
簡單的直寫軟件
MicroWriter ML3由一個簡單直觀的Windows界面軟件控制。工具欄會引導(dǎo)使用者進行簡單的布局設(shè)計、基片對準和曝光的基本操作。該軟件在Windows10系統(tǒng)下運行。
Clewin 掩模圖形設(shè)計軟件
可以讀取多種圖形設(shè)計文件(DXF, CIF, GDSII, 等)
可以直接讀取TIFF, BMP 等圖片格式
書寫范圍只由基片尺寸決定
該設(shè)備由計算機控制高精度激光束掃描,在光刻膠上直接曝光寫出所設(shè)計的任意圖形,從而把設(shè)計圖形直接轉(zhuǎn)移到掩模上。激光直寫系統(tǒng)的基本結(jié)構(gòu)如圖所示,主要由He-Cd激光器、聲光調(diào)制器、投影光刻物鏡、CCD攝像機、顯示器、照明光源、工作臺、調(diào)焦裝置、He-Ne激光干涉儀和控制計算機等部分構(gòu)成。激光直寫的基本工作流程是:用計算機產(chǎn)生設(shè)計的微光學(xué)元件或待制作的VLSI掩摸結(jié)構(gòu)數(shù)據(jù);將數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換成直寫系統(tǒng)控制數(shù)據(jù),由計算機控制高精度激光束在光刻膠上直接掃描曝光;經(jīng)顯影和刻蝕將設(shè)計圖形傳遞到基片上。 2100433B