幾何量測量器具使用手冊

隨著20世紀(jì)60年代初激光的出現(xiàn)，幾何量測量技術(shù)的發(fā)展步入了嶄新的時期，激光干涉儀在此時脫穎而出，并且在幾何量測量領(lǐng)域發(fā)揮著越來越重要的作用。激光干涉儀為何如此廣受歡迎呢？今天我們就來認(rèn)識幾何量測量擔(dān)當(dāng)——激光干涉儀。

原理

一個角錐反射鏡緊緊固定在分光鏡上，形成固定長度參考光束。另一個角錐反射鏡相對于分光鏡移動，形成變化長度測量光束。

從激光頭射出的激光光束①具有單一頻率，標(biāo)稱波長為633nm，長期波長穩(wěn)定性（真空中）優(yōu)于0.05ppm。當(dāng)此光束到達(dá)偏振分光鏡時，被分成兩束光——反射光束②和透射光束③。這兩束光被傳送到各自的角錐反射鏡中，然后反射回分光鏡中，在嵌于激光頭中的探測器中形成干涉光束④。

如果兩光程差不變化，探測器將在相長干涉和相消干涉的兩端之間的某個位置觀察到一個穩(wěn)定的信號。

如果兩光程差發(fā)生變化，每次光路變化時探測器都能觀察到相長干涉和相消干涉兩端之間的信號變化。這些變化（條紋）被數(shù)出來，用于計算兩光程差的變化。測量的長度等于條紋數(shù)乘以激光波長的一半。

功能應(yīng)用

激光干涉儀具有實現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、回轉(zhuǎn)軸等幾何量的檢測功能?？梢詸z測數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)測量機(jī)等精密運(yùn)動設(shè)備運(yùn)動導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等；同時也能檢測運(yùn)動導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、直線度和垂直度；并可以校準(zhǔn)機(jī)床的回轉(zhuǎn)軸。

數(shù)控機(jī)床精度檢測及補(bǔ)償

線性模組/電動滑臺/直線電機(jī)等定位精度

自動化設(shè)備調(diào)校

三坐標(biāo)垂直度測量

代表品牌

目前國產(chǎn)唯一大規(guī)模商用的激光干涉儀品牌型號為中圖儀器SJ6000,主要技術(shù)指標(biāo)如下：

測量方式：單頻

穩(wěn)頻精度：±0.05ppm

動態(tài)采集頻率：50 kHz

預(yù)熱時間：約8分鐘

工作溫度范圍：(0～40)℃

存儲溫度范圍：(-20～70)℃

環(huán)境濕度：(0～95)%RH

測量距離：(0～80)m

測量精度：±0.5ppm (0～40)℃

測量分辨力：1nm

測量最大速度：4m/s。

SJ6000激光干涉儀