靜電釋放

半導(dǎo)體制造中特別容易產(chǎn)生靜電釋放，因?yàn)楣杵庸け３衷谳^低的溫度中，經(jīng)典條件為40%±10%相對(duì)濕度（RH）。這種條件容易使較高級(jí)別的靜電荷生成。雖然增加相對(duì)濕度可以減少靜電生成，但是也會(huì)增加侵蝕帶來(lái)的玷污，因而這種方法并不實(shí)用。

靜電釋放帶來(lái)的問(wèn)題

盡管ESD發(fā)生時(shí)轉(zhuǎn)移的靜電總量通常很小（納庫(kù)倫級(jí)別），然而放電的能量積累在硅片上很小的一個(gè)區(qū)域內(nèi)。發(fā)生在幾個(gè)納秒內(nèi)的靜電釋放能產(chǎn)生超過(guò)1A的峰值電流，簡(jiǎn)直可以蒸發(fā)金屬連線和穿透氧化層。放電也可能成為柵氧化層擊穿的誘因。ESD帶來(lái)的另一個(gè)重大問(wèn)題在于，一旦硅片表面有了電荷積累，它產(chǎn)生的電場(chǎng)就能吸引帶電顆粒或極化并吸引中性顆粒到硅片表面（如圖1 所示）。電視屏幕能吸引灰塵就是一個(gè)例子。此外，顆粒越小，靜電對(duì)它的吸引作用越明顯。隨著器件關(guān)鍵尺寸的縮小 ，ESD對(duì)更小顆粒的吸引變得重要起來(lái)，能產(chǎn)生致命缺陷。為減少小顆粒玷污，硅片放電必須得到控制。

ESD的標(biāo)準(zhǔn)以及測(cè)試方法

根據(jù)靜電的產(chǎn)生方式以及對(duì)電路的損傷模式不同通常分為四種測(cè)試方式：人體放電模式(HBM:Human-Body Model) 、 機(jī) 器 放 電 模 式 (MachineModel) 、 元 件 充 電 模 式 (CDM:Charge-Device Model)、電場(chǎng)感應(yīng)模式(FIM:Field-InducedModel)，但是業(yè)界通常使用前兩種模式來(lái)測(cè)試(HBM,MM) 。2100433B

ESD靜電釋放是指在不同電勢(shì)差的情況下導(dǎo)致靜電荷轉(zhuǎn)移的現(xiàn)象。

3.1ESD-Electro Static Discharge, the transfer of electrostatic charge between bodies at different electrostatic potentials by direct contact or induced by electrostatic field.

ESD-靜電釋放，是指通過(guò)直接接觸或靜電場(chǎng)感應(yīng)的方式，在不同電勢(shì)差的情況下導(dǎo)致靜電荷轉(zhuǎn)移的現(xiàn)象。

型號(hào)含義：HK3095

HK3095 產(chǎn)品名稱（人體靜電釋放儀）

▲ 標(biāo)準(zhǔn)型，智能型采用超低功耗設(shè)計(jì)，正常使用期間無(wú)需更換電池；

▲ 標(biāo)準(zhǔn)型，智能型電路部分整體環(huán)氧樹(shù)脂密封，防腐、防水、防潮；

▲ 安全釋放靜電，安全可靠；

▲ 防爆靜電觸摸球，對(duì)人體不會(huì)造成電擊感；

▲ 智能型配聲光報(bào)警提示人體與靜電觸摸球接觸可靠和靜電釋放安全；

▲ 標(biāo)準(zhǔn)型，智能型標(biāo)實(shí)時(shí)檢測(cè)電阻，確保接地可靠。（基本型與標(biāo)準(zhǔn)型不具有檢測(cè)功能）

▲ 標(biāo)牌、立柱采用304不銹鋼材質(zhì)，防腐防銹；標(biāo)牌圓角人性化設(shè)計(jì)，有黃色、藍(lán)色可選。