靜電釋放簡介

半導體制造中特別容易產生靜電釋放，因為硅片加工保持在較低的溫度中，經典條件為40%±10%相對濕度（RH）。這種條件容易使較高級別的靜電荷生成。雖然增加相對濕度可以減少靜電生成，但是也會增加侵蝕帶來的玷污，因而這種方法并不實用。

靜電釋放帶來的問題

盡管ESD發(fā)生時轉移的靜電總量通常很小（納庫倫級別），然而放電的能量積累在硅片上很小的一個區(qū)域內。發(fā)生在幾個納秒內的靜電釋放能產生超過1A的峰值電流，簡直可以蒸發(fā)金屬連線和穿透氧化層。放電也可能成為柵氧化層擊穿的誘因。ESD帶來的另一個重大問題在于，一旦硅片表面有了電荷積累，它產生的電場就能吸引帶電顆?；驑O化并吸引中性顆粒到硅片表面（如圖1 所示）。電視屏幕能吸引灰塵就是一個例子。此外，顆粒越小，靜電對它的吸引作用越明顯。隨著器件關鍵尺寸的縮小 ，ESD對更小顆粒的吸引變得重要起來，能產生致命缺陷。為減少小顆粒玷污，硅片放電必須得到控制。

ESD的標準以及測試方法

根據靜電的產生方式以及對電路的損傷模式不同通常分為四種測試方式：人體放電模式(HBM:Human-Body Model) 、 機 器 放 電 模 式 (MachineModel) 、 元 件 充 電 模 式 (CDM:Charge-Device Model)、電場感應模式(FIM:Field-InducedModel)，但是業(yè)界通常使用前兩種模式來測試(HBM,MM) 。2100433B

ESD靜電釋放是指在不同電勢差的情況下導致靜電荷轉移的現象。

3.1ESD-Electro Static Discharge, the transfer of electrostatic charge between bodies at different electrostatic potentials by direct contact or induced by electrostatic field.

ESD-靜電釋放，是指通過直接接觸或靜電場感應的方式，在不同電勢差的情況下導致靜電荷轉移的現象。

型號含義：HK3095

HK3095 產品名稱（人體靜電釋放儀）

▲ 標準型，智能型采用超低功耗設計，正常使用期間無需更換電池；

▲ 標準型，智能型電路部分整體環(huán)氧樹脂密封，防腐、防水、防潮；

▲ 安全釋放靜電，安全可靠；

▲ 防爆靜電觸摸球，對人體不會造成電擊感；

▲ 智能型配聲光報警提示人體與靜電觸摸球接觸可靠和靜電釋放安全；

▲ 標準型，智能型標實時檢測電阻，確保接地可靠。（基本型與標準型不具有檢測功能）

▲ 標牌、立柱采用304不銹鋼材質，防腐防銹；標牌圓角人性化設計，有黃色、藍色可選。