書????名 | JJG624-2005動態(tài)壓力傳感器 | 出版社 | 中國計量出版社 |
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語????種 | 簡體中文 | 品????牌 | 中國計量出版社 |
作????者 | 中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局、中國國家標準化管理委員會 | 出版日期 | 2005年11月22日 |
開????本 | 16 |
本規(guī)程適用于動態(tài)壓力傳器的首次檢定、后續(xù)檢定和使用中檢驗。壓力傳感器及動態(tài)壓力測量系統(tǒng)的校準可參照本規(guī)程。
格式:pdf
大?。?span id="mvheggf" class="single-tag-height">14KB
頁數(shù): 5頁
評分: 4.7
微型、薄型動態(tài)壓力傳感器 一、CYG502型超微型壓力傳感器 (絕壓 ) 標稱尺寸外徑 2mm的超微型壓力傳感器 CYG502是專為流體力學(xué)實驗中要求更小安裝尺 寸的用途而設(shè)計的。是目前我公司推出產(chǎn)品中尺寸最小的壓力傳感器。 CYG502的壓力敏感元件采用當代最先進的 MEMS(Miro Electronic Machinical Systems) 技術(shù)設(shè)計與制造。 三維集成、 雙面加工的硅壓阻壓力敏感元件具有優(yōu)秀的線性精度。 離子注 入、精細光刻技術(shù)制作的惠斯頓應(yīng)變電橋的高度一致性使其具有很小的溫度漂移。 采用硅硅 直接鍵合技術(shù)、 倒 V型槽設(shè)計、 從而實現(xiàn)了可利用芯片薄膜尺寸的最佳化, 為超微型傳感器 的實現(xiàn)取得關(guān)鍵突破。 使用了硅–硅鍵合技術(shù),改善了熱匹配效果,減少了應(yīng)力帶來的零位不穩(wěn)定性。 目前已面市品種有絕壓型測量模式產(chǎn)品,表壓型正在研制中。 二、CYG503型微型壓力傳感器(
2011年7月29日,《硅壓阻式動態(tài)壓力傳感器》發(fā)布。
2011年12月1日,《硅壓阻式動態(tài)壓力傳感器》實施。
高頻動態(tài)壓力傳感器介紹
該系列壓力傳感器、變送器是為滿足用戶在響應(yīng)頻率、外形結(jié)構(gòu)、工作溫度等方面特殊要求而設(shè)計的產(chǎn)品。以響應(yīng)頻率特點將其定義為微型探針型壓力傳感器、薄餅型壓力傳感器等,以耐溫度特性將其定義為中高溫壓力傳感器等。這種產(chǎn)品由于要滿足用戶的多重要求,變送器在結(jié)構(gòu)上常常多采用分體式結(jié)構(gòu)。
這個系列的傳感器利用半導(dǎo)體硅極高的楊氏彈性模量和優(yōu)良的力學(xué)特性制成,使傳感器具有很高的固有頻率,結(jié)合本公司先進的內(nèi)部,外部結(jié)構(gòu)設(shè)計,減小了頻率損耗。從而獲得很高的響應(yīng)頻率和上升時間,是測量高頻動態(tài)壓力的理想產(chǎn)品。
高的頻率響應(yīng)個動態(tài)測量;寬的通頻帶;寬的工作溫區(qū);量程覆蓋廣;產(chǎn)品性能長期穩(wěn)定性好。
石油、化工、航空航天、材料力學(xué)、土木工程、醫(yī)療器械、爆破試驗、液壓試驗等流體壓力的測量。
性能參數(shù) 分檔 A B C D
非線性/±%FS 1.00 0.50 0.20 0.10
不重復(fù)性、遲滯/±%FS 0.20 0.15 0.10 0.04
零位溫度系數(shù)/X10-4/℃.FS 5.00 3.00 2.00 1.00
靈敏度溫度系數(shù)/X10-4/℃.FS 5.00 3.00 2.00 1.00
零位時漂/%FS/8h 0.20 0.15 0.10 0.10
壓力范圍 傳感器固有頻率/Hz 變送器響應(yīng)頻率/Hz 典型應(yīng)用
0-250,1000KPa 100,200K 0-20KHz,200K(max) 空氣動力學(xué)
0-10,60MPa 300-750 0-100K 創(chuàng)傷醫(yī)學(xué)
0-10,60MPa 180-600 0-100K 采油和發(fā)動機
0-40KPa,4MPa 50-300KHz 水輪機葉片沖擊力
0-200KPa,10MPa 0-100KHz 高頻土應(yīng)力
該系列壓力傳感器、變送器是為滿足用戶在響應(yīng)頻率、外形結(jié)構(gòu)、工作溫度等方面特殊要求而設(shè)計的產(chǎn)品。以響應(yīng)頻率特點將其定義為微型探針型壓力傳感器、薄餅型壓力傳感器等,以耐溫度特性將其定義為中高溫壓力傳感器等。這種產(chǎn)品由于要滿足用戶的多重要求,變送器在結(jié)構(gòu)上常常多采用分體式結(jié)構(gòu)。
1.1概述
這個系列的傳感器利用半導(dǎo)體硅極高的楊氏彈性模量和優(yōu)良的力學(xué)特性制成,使傳感器具有很高的固有頻率,結(jié)合本公司先進的內(nèi)部,外部結(jié)構(gòu)設(shè)計,減小了頻率損耗。從而獲得很高的響應(yīng)頻率和上升時間,是測量高頻動態(tài)壓力的理想產(chǎn)品。
1.2 特點
高的頻率響應(yīng)個動態(tài)測量;寬的通頻帶;寬的工作溫區(qū);量程覆蓋廣;產(chǎn)品性能長期穩(wěn)定性好。
1.3 使用場合
石油、化工、航空航天、材料力學(xué)、土木工程、醫(yī)療器械、爆破試驗、液壓試驗等流體壓力的測量。
1.4 傳感器產(chǎn)品按性能參數(shù)分檔表
性能參數(shù) 分檔 A B C D
非線性/±%FS 1.00 0.50 0.20 0.10
不重復(fù)性、遲滯/±%FS 0.20 0.15 0.10 0.04
零位溫度系數(shù)/X10-4/℃.FS 5.00 3.00 2.00 1.00
靈敏度溫度系數(shù)/X10-4/℃.FS 5.00 3.00 2.00 1.00
零位時漂/%FS/8h 0.20 0.15 0.10 0.10
1.5 傳感器變送器的頻率響應(yīng)特性表
壓力范圍 傳感器固有頻率/Hz 變送器響應(yīng)頻率/Hz 典型應(yīng)用
0-250,1000KPa 100,200K 0-20KHz,200K(max) 空氣動力學(xué)
0-10,60MPa 300-750 0-100K 創(chuàng)傷醫(yī)學(xué)
0-10,60MPa 180-600 0-100K 采油和發(fā)動機
0-40KPa,4MPa 50-300KHz 水輪機葉片沖擊力
0-200KPa,10MPa 0-100KHz 高頻土應(yīng)力