模塊化微納器件真空原位制備系統(tǒng)主要功能

模塊化態(tài)分析。 2100433B

8模塊組成。

本書是關(guān)于光子集成理論以及制備技術(shù)的專著。全書共10章，第1章主要介紹光波導(dǎo)基礎(chǔ)理論；第2、3章主要介紹光波導(dǎo)器件數(shù)值模擬技術(shù)；第4章主要介紹各類光波導(dǎo)（包括最新發(fā)展的硅納米光波導(dǎo)等）基本特性以及相關(guān)制作工藝；第5章重點(diǎn)介紹針對(duì)光纖到戶系統(tǒng)需求的新型集成光子器件；第6、7章重點(diǎn)介紹光通信系統(tǒng)中最具代表性的集成光子器件，包括波分復(fù)用器、微環(huán)濾波器等，并在第7章對(duì)微環(huán)傳感器的最新進(jìn)展作了相關(guān)介紹；第8章詳細(xì)介紹最新發(fā)展的表面等離子金屬光波導(dǎo)的原理、結(jié)構(gòu)以及發(fā)展前景；第9章主要介紹和總結(jié)另一種新型光波導(dǎo)——光子晶體波導(dǎo)；第10章著重介紹硅光子學(xué)的最新研究進(jìn)展。

本書可作為大專院校相關(guān)專業(yè)本科生、研究生的課程教材，也可作為從事光通信器件專業(yè)的科學(xué)技術(shù)人員的參考用書。

在LED照明技術(shù)日益發(fā)展的今天，偏振光源作為普通光源一種功能上的擴(kuò)展，在CCD偏振成像、光學(xué)存儲(chǔ)、光通信、光電探測(cè)、平板顯示背光等方面具有廣闊的應(yīng)用前景?；贕aN基LED的微納光子學(xué)和光電子學(xué)是一個(gè)及其重要的研究方向。本項(xiàng)目開展了表面微納結(jié)構(gòu)對(duì)LED出光特性的調(diào)控研究工作，設(shè)計(jì)并制備了基于納米結(jié)構(gòu)偏振轉(zhuǎn)換的高效偏振出光GaN基LED。主要工作包括：1) 利用時(shí)域有限差分進(jìn)行數(shù)值模擬，設(shè)計(jì)并制備了基于可見光波段的偏振納米光柵，以及基于納米結(jié)構(gòu)偏振轉(zhuǎn)換的高效偏振出光GaN基LED。采用深紫外曝光技術(shù)制作了最小周期190nm的納米偏振光柵，偏振度達(dá)到25 dB。2) 提出、設(shè)計(jì)并制備了二維橢圓柱納米陣列結(jié)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)了半波片偏振轉(zhuǎn)換的功能，并將該結(jié)構(gòu)集成到振度LED上，進(jìn)一步提高了偏振光出光的效率，在寬角度內(nèi)（±60o內(nèi)）平均提高20%。3)提出了一種基于熒光陶瓷和納米光柵集成的GaN基白光LED復(fù)合結(jié)構(gòu)，能在450nm~650nm光譜范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)高偏振度白光出射。利用納米壓印及反應(yīng)離子束刻蝕工藝，實(shí)驗(yàn)制備了熒光陶瓷基底上周期150nm，有效面積達(dá)20mm×20mm的介質(zhì)/金屬復(fù)合納米光柵結(jié)構(gòu)。測(cè)試結(jié)果表明偏振白光LED在450nm~650nm可見光范圍內(nèi)的消光比大于20dB，TM波透過率高于60%。本項(xiàng)目的研究對(duì)拓展LED應(yīng)用領(lǐng)域、創(chuàng)新平板顯示的解決方案、探索氮化鎵基材料的微納光電子學(xué)應(yīng)用均具有重要的意義。