OLED蒸鍍?cè)O(shè)備技術(shù)要求

OLED技術(shù)看起來(lái)很神秘，實(shí)際上可以分解成很多普通的技術(shù)，例如蒸鍍?cè)O(shè)備要求真空度高、對(duì)位精度高、蒸發(fā)均勻等，但是對(duì)相關(guān)技術(shù)進(jìn)行分解后，每一項(xiàng)技術(shù)都是很普通的，但每一項(xiàng)技術(shù)及其整合，都需要面板廠家用“工匠精神”去潛心研究。

OLED在生產(chǎn)工藝環(huán)節(jié)需要前、中、后三道工藝，對(duì)應(yīng)的三大核心工藝技術(shù)分別為L(zhǎng)TPS驅(qū)動(dòng)電路、OLED蒸鍍工藝和薄膜封裝工藝，OLED蒸鍍是制約OLED面板良率，進(jìn)而影響產(chǎn)能的關(guān)鍵。

OLED蒸鍍機(jī)是生產(chǎn)OLED面板的核心設(shè)備之一，無(wú)論時(shí)下火熱的華為P40、OPPO find X2、一加8，還是三星GALAXY Quantum，都與它有著脫不開(kāi)的聯(lián)系。智研咨詢發(fā)布《2020-2026年中國(guó)OLED面板行業(yè)市場(chǎng)專項(xiàng)調(diào)研及投資前景分析報(bào)告》顯示，2020年OLED市場(chǎng)規(guī)模達(dá)到343億美元，單位出貨量增速將在2020年到達(dá)頂峰。在OLED技術(shù)借道手機(jī)市場(chǎng)全面爆發(fā)的背后，生產(chǎn)OLED面板的關(guān)鍵設(shè)備——OLED蒸鍍機(jī)長(zhǎng)期被日韓企業(yè)壟斷。如何克服上游核心設(shè)備的缺失，是困擾中國(guó)顯示產(chǎn)業(yè)發(fā)展的痛點(diǎn)。

賽迪智庫(kù)2019年10月整理公開(kāi)數(shù)據(jù)顯示，截止2018年，OLED蒸鍍?cè)O(shè)備的主要生產(chǎn)商為日本佳能Tokki，市場(chǎng)占有率達(dá)到90%。據(jù)悉，佳能Tokki每年產(chǎn)能的90%均被三星包攬，OLED蒸鍍?cè)O(shè)備一機(jī)難求已成為了限制國(guó)內(nèi)面板廠商擴(kuò)大OLED產(chǎn)能的重要原因。

以往，三星和LG Display的產(chǎn)線增建導(dǎo)致OLED蒸鍍?cè)O(shè)備幾乎被買斷。近幾年，隨著韓國(guó)企業(yè)OLED產(chǎn)線的投資滯緩，京東方、維信諾、深天馬、信利等面板廠商才陸續(xù)采購(gòu)到OLED蒸鍍機(jī)，逐步提升良品率。截至2018年底，京東方成都6代線綜合良品率達(dá)到70%；2019年11月，維信諾昆山5.5代線綜合良率達(dá)90%。預(yù)計(jì)到2021年，國(guó)內(nèi)面板廠商生產(chǎn)剛性和柔性O(shè)LED面板才能與三星良品率基本持平?？梢?jiàn)，OLED蒸鍍機(jī)是制約行業(yè)發(fā)展的瓶頸。欣奕華自主研發(fā)的國(guó)產(chǎn)OLED蒸鍍機(jī)正是在這樣的背景下應(yīng)運(yùn)而生。我國(guó)雖然已成為全球OLED面板生產(chǎn)的主產(chǎn)地之一，但是上游設(shè)備企業(yè)在裝備領(lǐng)域依然集中在中低端和非關(guān)鍵設(shè)備的生產(chǎn)制造階段。

事實(shí)上，核心技術(shù)的攻克并不簡(jiǎn)單。如果說(shuō)OLED蒸鍍機(jī)是OLED面板制作工藝的心臟，那么OLED蒸發(fā)源相當(dāng)于心臟的心房。OLED蒸發(fā)源根據(jù)宏觀形狀的不同可以粗略地分為點(diǎn)型蒸發(fā)源和線型蒸發(fā)源。為了滿足厚度均一性，點(diǎn)型蒸發(fā)源材料利用率不高，部分材料蒸鍍時(shí)容易出現(xiàn)clogging或噴濺；線型蒸發(fā)源由于在坩堝加熱及傳遞過(guò)程中不同位置的熱量和溫度存在差異，使得蒸發(fā)源不同位置的有機(jī)氣體分子的熱動(dòng)能不一致，從而使不同位置的噴嘴噴出有機(jī)分子的蒸鍍速率不同，導(dǎo)致鍍膜的厚度均勻性差；更不要提在對(duì)玻璃基板各子像素進(jìn)行鍍膜時(shí)，為了鍍膜位置的精確性，在每道工序開(kāi)始前都要先對(duì)基板進(jìn)行精密對(duì)位，該問(wèn)題也是導(dǎo)致整個(gè)OLED面板良率不足的關(guān)鍵。

經(jīng)過(guò)無(wú)數(shù)個(gè)日日夜夜的研究、探索、實(shí)踐，欣奕華研發(fā)團(tuán)隊(duì)最終形成了完善的OLED技術(shù)研發(fā)體系，突破OLED蒸發(fā)源、OLED對(duì)位系統(tǒng)等多項(xiàng)關(guān)鍵核心技術(shù)。其自主研發(fā)的OLED點(diǎn)型和線型蒸發(fā)源，已經(jīng)交由客戶驗(yàn)證通過(guò)，成功導(dǎo)入面板龍頭企業(yè)的量產(chǎn)線。

據(jù)了解，佳能Tokki OLED蒸鍍機(jī)被人提及最多的就是精度，把OLED有機(jī)發(fā)光材料精準(zhǔn)地蒸鍍到基板上，佳能Tokki 可以把誤差控制在3um之內(nèi)。而欣奕華OLED蒸鍍機(jī)對(duì)位系統(tǒng)(包含G6H、G2.5、G1)的對(duì)位精度可控制在1.5um以內(nèi)。