平面度

1)無(wú)需人工用肉眼去讀數(shù)，可以減少由于人工讀數(shù)產(chǎn)生的誤差;

2)無(wú)需人工去處理數(shù)據(jù)，數(shù)據(jù)采集儀會(huì)自動(dòng)計(jì)算出平面度誤差值;

3)測(cè)量結(jié)果報(bào)警，一旦測(cè)量結(jié)果不在平面度公差帶時(shí)，數(shù)據(jù)采集儀就會(huì)自動(dòng)報(bào)警。

平面度測(cè)量是指被測(cè)實(shí)際表面對(duì)其理想平面的變動(dòng)量。

平面度誤差是將被測(cè)實(shí)際表面與理想平面進(jìn)行比較，兩者之間的線值距離即為平面 度誤差值;或通過(guò)測(cè)量實(shí)際表面上若干點(diǎn)的相對(duì)高度差，再換算以線值表示的平面度誤差值。

平面度誤差測(cè)量的常用方法有如下幾種:

1、平晶干涉法:用光學(xué)平晶的工作面體現(xiàn)理想平面，直接以干涉條紋的彎曲程度確定被測(cè)表面的平面度誤差值。主要用于測(cè)量小平面，如量規(guī)的工作面和千分尺測(cè)頭測(cè)量面的平面度誤差。

平面是由直線組成的，因此直線度測(cè)量中直尺法、光學(xué)準(zhǔn)直法、光學(xué)自準(zhǔn)直法、重力法等也適用于測(cè)量平面度誤差。測(cè)量平面度時(shí)，先測(cè)出若干截面的直線度，再把各測(cè)點(diǎn)的量值按平面度公差帶定義(見形位公差)利用圖解法或計(jì)算法進(jìn)行數(shù)據(jù)處理即可得出平面度誤差。也有利用光波干涉法和平板涂色法測(cè)量平面誤差的。

光波干涉法常利用平晶進(jìn)行，圖為測(cè)量所得的不同干涉條紋。圖中a的干涉條紋是直的,而且間距相等,只在周邊上稍有彎曲。這說(shuō)明被檢驗(yàn)表面是平的，但與光學(xué)平晶不平行,而且在圓周部分有微小的偏差。圖中b的干涉條紋彎曲而且間隔不相等，表明被檢驗(yàn)表面是球形的,平晶有微小傾斜。條紋彎曲度約為條紋間距的1.5倍,表示平面度誤差為1.5×0.3μm=0.45μm。圖中c的干涉條紋呈圓形，同樣表明被檢驗(yàn)表面是球形表面。將條紋數(shù)目乘以所用光束波長(zhǎng)的一半，即得所求的平面誤差為1.5×0.3μm=0.45μm。圖中d的干涉條紋成橢圓形排列，說(shuō)明被檢驗(yàn)表面是桶形的。可以把干涉圖案作為被檢驗(yàn)表面的等高線,因此可以畫出該表面的形狀。這種方法僅適宜測(cè)量高光潔表面，測(cè)量面積也較小，但測(cè)量精確度很高。平面是由直線組成的，因此直線度測(cè)量中直尺法、光學(xué)準(zhǔn)直法、光學(xué)自準(zhǔn)直法、重力法等也適用于測(cè)量平面度誤差。測(cè)量平面度時(shí)，先測(cè)出若干截面的直線度，再把各測(cè)點(diǎn)的量值按平面度公差帶定義(見形位公差)利用圖解法或計(jì)算法進(jìn)行數(shù)據(jù)處理即可得出平面度誤差。也有利用光波干涉法和平板涂色法測(cè)量平面誤差的。

光波干涉法常利用平晶進(jìn)行，圖為測(cè)量所得的不同干涉條紋。圖中a的干涉條紋是直的,而且間距相等,只在周邊上稍有彎曲。這說(shuō)明被檢驗(yàn)表面是平的，但與光學(xué)平晶不平行,而且在圓周部分有微小的偏差。圖中b的干涉條紋彎曲而且間隔不相等，表明被檢驗(yàn)表面是球形的,平晶有微小傾斜。條紋彎曲度約為條紋間距的1.5倍,表示平面度誤差為1.5×0.3μm=0.45μm。圖中c的干涉條紋呈圓形，同樣表明被檢驗(yàn)表面是球形表面。將條紋數(shù)目乘以所用光束波長(zhǎng)的一半，即得所求的平面誤差為1.5×0.3μm=0.45μm。圖中d的干涉條紋成橢圓形排列，說(shuō)明被檢驗(yàn)表面是桶形的?？梢园迅缮鎴D案作為被檢驗(yàn)表面的等高線,因此可以畫出該表面的形狀。這種方法僅適宜測(cè)量高光潔表面，測(cè)量面積也較小，但測(cè)量精確度很高。

2、打表測(cè)量法:打表測(cè)量法是將被測(cè)零件和測(cè)微計(jì)放在標(biāo)準(zhǔn)平板上，以標(biāo)準(zhǔn)平板作為測(cè)量基準(zhǔn)面，用測(cè)微計(jì)沿實(shí)際表面逐點(diǎn)或沿幾條直線方向進(jìn)行測(cè)量。打表測(cè)量法按評(píng)定基準(zhǔn)面分為三點(diǎn)法和對(duì)角線法:三點(diǎn)法是用被測(cè)實(shí)際表面上相距最遠(yuǎn)的三點(diǎn)所決定的理想平面作為評(píng)定基準(zhǔn)面，實(shí)測(cè)時(shí)先將被測(cè)實(shí)際表面上相距最遠(yuǎn)的三點(diǎn)調(diào)整到與標(biāo)準(zhǔn)平板等高;對(duì)角線法實(shí)測(cè)時(shí)先將實(shí)際表面上的四個(gè)角點(diǎn)按對(duì)角線調(diào)整到兩兩等高。然后用測(cè)微計(jì)進(jìn)行測(cè)量，測(cè)微計(jì)在整個(gè)實(shí)際表面上測(cè)得的最大變動(dòng)量即為該實(shí)際表面的平面度誤差。

3、液平面法:液平面法是用液平面作為測(cè)量基準(zhǔn)面，液平面由 "連通罐"內(nèi)的液面構(gòu)成，然后用傳感器進(jìn)行測(cè)量。此法主要用于測(cè)量大平面的平面度誤差。

4、光束平面法:光束平面法是采用準(zhǔn)值望遠(yuǎn)鏡和瞄準(zhǔn)靶鏡進(jìn)行測(cè)量，選擇實(shí)際表面上相距最遠(yuǎn)的三個(gè)點(diǎn)形成的光束平面作為平面度誤差的測(cè)量基準(zhǔn)面。

5、激光平面度測(cè)量?jī)x:激光平面度測(cè)量?jī)x用于測(cè)量大型平面的平面度誤差 。

6、利用數(shù)據(jù)采集儀連接百分表測(cè)量平面度誤差的方法 。

測(cè)量?jī)x器:偏擺儀、百分表、數(shù)據(jù)采集儀。

測(cè)量原理:數(shù)據(jù)采集儀可從百分表中實(shí)時(shí)讀取數(shù)據(jù)，并進(jìn)行平面度誤差的計(jì)算與分析，平面度誤差計(jì)算工式已嵌入我們的數(shù)據(jù)采集儀軟件中，完全不需要人工去計(jì)算繁瑣的數(shù)據(jù)，可以大大提高測(cè)量的準(zhǔn)確率。

規(guī)格mm ? 測(cè)量面對(duì)基面的垂直 ? ? ? ? 測(cè)量面平面度或直線度 ? ? ? ? 基準(zhǔn)平面度或直線度 ? ? ? ? ? ? ? ? ?

精度等級(jí)um ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ?

1 ? 2 ? 3 ? 1 ? 2 ? 3 ? 1 ? 2 ? 3 ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ?

200×200 ? 8 ? 16 ? 30 ? 4 ? 8 ? 16 ? 6 ? 12 ? 24 ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ?

300×200 ? 10 ? 20 ? 40 ? 5 ? 10 ? 20 ? 8 ? 16 ? 30 ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ?

300×300 ? 10 ? 20 ? 40 ? 5 ? 10 ? 20 ? 8 ? 16 ? 30 ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ?

400×300 ? 12 ? 24 ? 45 ? 6 ? 12 ? 24 ? 10 ? 20 ? 40 ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ?

400×400 ? 12 ? 24 ? 45 ? 6 ? 12 ? 24 ? 10 ? 20 ? 40 ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ?

500×400 ? 14 ? 28 ? 50 ? 7 ? 14 ? 28 ? 12 ? 24 ? 48 ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ?

500×500 ? 14 ? 28 ? 50 ? 7 ? 14 ? 28 ? 12 ? 24 ? 48 ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ?

800×600 ? 18 ? 35 ? 60 ? 9 ? 18 ? 35 ? 14 ? 28 ? 55 ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ?

常用的有:三點(diǎn)法、對(duì)角線法、最小區(qū)域法。評(píng)定平板平面度誤差的基本原則

平板平面度誤差是指平板加工后的實(shí)際表面和理論上的理想平面之間的差值。平板平面度誤差的檢定，是通過(guò)被測(cè)實(shí)際表面與理想表面相比較來(lái)進(jìn)行的。而理想平面相對(duì)于實(shí)際表面的位置，將影響平板平面度誤差的檢定結(jié)果。為此規(guī)定在評(píng)定平面度誤差時(shí)，理想平面的位置按最小條件來(lái)確定。

最小條件是指:在確定理想平面位置時(shí)，應(yīng)使該理想平面與實(shí)際表面相接觸，并使兩者之間的最大距離為最小。

對(duì)于被測(cè)實(shí)際表面平面度的評(píng)定，可做很多個(gè)理想平面。比如三個(gè)理想平面I-I、I-II、III-III,放在實(shí)際表面的不同位置上。每個(gè)理想平面到實(shí)際表面的最大距離分別為1、2和3，選其距離最小值者，因1小于2小于3，所以位置I-I是符合最小條件的理想平面，獲得的平面 度誤差值是唯一的，即最大距離為最小的只有一個(gè)，這樣規(guī)定就不會(huì)因評(píng)定基準(zhǔn)的位置不統(tǒng)一而帶來(lái)測(cè)量誤差。

按最小條件評(píng)定，排除了評(píng)定基準(zhǔn)帶來(lái)的誤差，更如實(shí)地反映了被測(cè)平板的平面度誤差，所評(píng)定的誤差值為最小，有利于最大限度地保證平板平面度的合格性。評(píng)定結(jié)果的唯一性，避免了發(fā)生爭(zhēng)執(zhí)，所以說(shuō)最小條件是評(píng)定平板平面度誤差的基本原則。