光強均勻性(150mm圓片)≤±1.7%(405nm) ≤±1.2%(365nm);對準精度0.281μm,曝光分辨率0.505μm(真空接觸)。
光刻。 2100433B
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紫外線曝光機是印制板制造工藝中的重要設備,燈源是影響印制板曝光質(zhì)量的主要因素。提供一種曝光機燈源系統(tǒng)設計方案,包括燈源的調(diào)光電路選擇、三菱PLC擴展模塊模的使用、以及控制燈箱抽風風扇的PLC程序。
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紫外線曝光機是印制板制造工藝中的重要設備,燈源是影響印制板曝光質(zhì)量的主要因素。本文提供一種曝光機燈源系統(tǒng)設計方案,包括燈源的調(diào)光電路選擇、三菱PLC擴展模塊模的使用、以及控制燈箱抽風風扇的PLC程序。
UVLED曝光機用途
UVLED曝光機主要應用于PCB線路板制造、半導體生產(chǎn)及高精密細線路曝光。
新一代LED平行光曝光機選用進口核心光源系統(tǒng),從2007年初次研發(fā)UVLED光源曝光機,最新款的UVLED曝光機選用220V電源,即插即用,無需配置空調(diào)水塔,配置了精密的雙非球面石英透鏡,使光的平行半角小于2°(普通水冷機大于45°),線路解晰度可達50UM/UM(普通機為100UM/UM)以下;沒有紅外線熱輻射,避免了菲林脹縮,保證影像轉(zhuǎn)移的品質(zhì)。由于幾乎沒有光能衰減,所以增強了制程的穩(wěn)定性,提升產(chǎn)品的合格率,且不產(chǎn)生污性臭氧,綠色環(huán)保。是目前PCB生產(chǎn)中所用普通汞燈曝光機理想的升級換代產(chǎn)品。應用LED光源,曝光成本將大幅下降。
UVLED曝光機?簡介
新一代LED平行光曝光機配置了精密的雙非球面石英透鏡,使光的平行半角小于2°(普通水冷機大于45°),線路 解晰度可達50UM/UM(普通機為100UM/UM)以下;沒有紅外線熱輻射,避免了菲林脹縮,保證影像轉(zhuǎn)移的品質(zhì)。由于幾乎沒有光能衰減,所以增強了制程的穩(wěn)定性,提升產(chǎn)品的合格率,且不產(chǎn)生污性臭氧,綠色環(huán)保。是目前PCB生產(chǎn)中所用普通汞燈曝光機理想的升級換代產(chǎn)品。