透明導(dǎo)電膜玻璃

2017年TCO 薄膜主要應(yīng)用于平板顯示器和建筑兩大領(lǐng)域。與其他類型的導(dǎo)電薄膜相比，氧化物透明導(dǎo)電膜不僅導(dǎo)電性好，而且還像玻璃一樣具有高的透明性，所以，可以把它看作一種用途十分廣泛的特征功能薄膜。主要用途為：

1)、顯示器件中的電極材料。如制作場(chǎng)致發(fā)光（EL）器件的電極，液晶顯示器件（LCD）中的透明電極以及電致變色顯示器件（ECD）中的電極等。

2)、防靜電，防電磁屏蔽層。為了防止靜電，必須使方阻小于109Ω。

3)、面發(fā)熱體。SnO2薄膜的電熱轉(zhuǎn)換效率在90%以上，通電后立即產(chǎn)生熱效應(yīng)。

4)、熱反射膜。SnO2和ITO薄膜在紅外部分的反射率可達(dá)到80%以上。

5)、太陽(yáng)能電池。（1）SIS異質(zhì)結(jié)太陽(yáng)能電池，（2）太陽(yáng)能電池的減反射膜。

6)、薄膜電阻器。

7)、氣敏傳感器?，F(xiàn)已能探測(cè)甲烷，CO、CO2、H2、H2S、乙醇等多種氣體和煙塵。

8)、終端設(shè)備。用透明導(dǎo)電薄膜制作薄膜開關(guān)。

9)、汽車玻璃。

總之，氧化物透明導(dǎo)電薄膜用途十分廣泛，除上面列舉的一些用途外，還有一些其他的用途，如電阻照相，靜電復(fù)印，光記錄，磁記錄，保護(hù)層等。這類材料的研制和開發(fā)日益受到人們的重視。

隨著平板顯示器的需求量越來(lái)越大以及對(duì)太陽(yáng)能利用的需求不斷增大，透明導(dǎo)電膜玻璃的需求將會(huì)越來(lái)越大。預(yù)計(jì)其市場(chǎng)在今后幾年將達(dá)到近100億元。

主要技術(shù)指標(biāo)及產(chǎn)品規(guī)格

光譜透過(guò)率：為了能夠充分地利用太陽(yáng)光，TCO鍍膜玻璃一定要保持相對(duì)較高的透過(guò)率。為了提高轉(zhuǎn)換效率，要求對(duì)可見光的高透過(guò)率Tavg>80%。

導(dǎo)電性能：TCO導(dǎo)電薄膜的導(dǎo)電原理是在原本導(dǎo)電能力很弱的本征半導(dǎo)體中摻入微量的其他元素，使半導(dǎo)體的導(dǎo)電性能發(fā)生顯著變化。這些微量元素被稱為雜質(zhì)，摻雜后的半導(dǎo)體稱為雜質(zhì)半導(dǎo)體。氧化銦錫（ITO）透明導(dǎo)電玻璃就是將錫元素?fù)饺氲窖趸熤?，提高?dǎo)電率，它的導(dǎo)電性能是最好的，最低電阻率達(dá)10-5Ωcm量級(jí)。

霧度：為了增加薄膜電池半導(dǎo)體層吸收光的能力，光伏用TCO玻璃需要提高對(duì)透射光的散射能力，這一能力用霧度（Haze）來(lái)表示。霧度即為透明或半透明材料的內(nèi)部或表面由于光漫射造成的云霧狀或混濁的外觀。以漫射的光通量與透過(guò)材料的光通量之比的百分率表示。一般情況下，普通鍍膜玻璃要求膜層表面越光滑越好，霧度越小越好，但光伏用TCO玻璃則要求有一定的光散射能力。

激光刻蝕性能：薄膜電池在制作過(guò)程中，需要將表面劃分成多個(gè)長(zhǎng)條狀的電池組，這些電池組被串聯(lián)起來(lái)用以提高輸出能效。因此，TCO玻璃在鍍半導(dǎo)體膜之前，必須要對(duì)表面的導(dǎo)電膜進(jìn)行刻劃，被刻蝕掉的部分必須完全除去氧化物導(dǎo)電膜層，以保持絕緣。刻蝕方有化學(xué)刻蝕和激光刻蝕兩種，但由于刻蝕的線條要求很細(xì)，一般為幾十微米的寬度，而激光刻蝕具有溝槽均勻，剔除干凈，生產(chǎn)效率快的特點(diǎn)。

透明導(dǎo)電膜玻璃（概述），根據(jù)用戶的不同需求，主要分為以下三種類型：

1)、ZnO基TCO薄膜：ZnO的光學(xué)禁帶寬度約為3.2 eV，對(duì)可見光的透明性很好，Zn的蘊(yùn)藏豐富，無(wú)毒，價(jià)格便宜，比ITO更容易蝕刻。因此，近十幾年來(lái)，ZnO已成為TCO薄膜的熱門研究材料，被期待成為平板顯示器中ITO薄膜的替代材料。本項(xiàng)目的摻雜ZnO薄膜的性能已可以與ITO薄膜相比，并解決了大面積高速均勻成膜工藝等問(wèn)題。

2)、多元TCO薄膜: 開發(fā)適合特殊用途的TCO薄膜，將各種TCO材料進(jìn)行組合，制備出一些具有新特點(diǎn)的TCO薄膜。由TCO材料組合構(gòu)成的多元TCO薄膜，可以通過(guò)改變組分而調(diào)整薄膜的電學(xué)、光學(xué)、化學(xué)和物理性質(zhì)，從而獲得單一TCO材料所不具備的性能，滿足某些特殊場(chǎng)合的需要。

3)、高遷移率TCO薄膜：在吸收不是非常嚴(yán)重的情況下，TCO薄膜對(duì)可見光的吸收是隨著自由載流子濃度的增大而增大，但隨著載流子遷移率的增大而減小，TCO薄膜的透明區(qū)域波長(zhǎng)上限主要由載流子濃度確定，隨著它的增大而減小，故采用提高載流子遷移率的方法來(lái)降低TCO薄膜的電阻率不必犧牲其光學(xué)性能。對(duì)于電子器件或?qū)Ь€，載流子遷移率是確定其響應(yīng)速度和功耗的主要因素之一。本項(xiàng)目也可提供一種IMO薄膜的透明導(dǎo)電膜技術(shù)，其可見光平均透射率(含1.2 mm厚玻璃基底)超過(guò)80%，電阻率低至1.7×10Ω.cm。

浮法玻璃

本公司浮法玻璃以其完美的產(chǎn)品質(zhì)量,可靠的質(zhì)量保證和我們完善的售后服務(wù)廣受國(guó)內(nèi)外用戶的青睞。有白玻、藍(lán)玻、綠玻等多個(gè)顏色品種,厚度 3-12mm, 最大尺寸2134x3050mm,年產(chǎn)量200萬(wàn)重量箱,產(chǎn)品平整光潔,透光性能好,易加工,易切裁,是建筑和玻璃深加工行業(yè)最理想基片。

透明導(dǎo)電膜玻璃

我公司生產(chǎn)的氧化銦錫(Indium-Tin Oxide)透明導(dǎo)電膜玻璃,是從美國(guó)引進(jìn)的GCS-16型垂直連續(xù)式ITO導(dǎo)電膜玻璃生產(chǎn)線,在高度凈化的廠房環(huán)境中,利用平面磁控技術(shù),在超薄玻璃上濺射氧化銦錫導(dǎo)電薄膜鍍層并經(jīng)高溫退火處理得到的高技術(shù)產(chǎn)品.年產(chǎn)量10萬(wàn)平方米,集目前國(guó)際上最新真空磁控高速濺射,計(jì)算機(jī)控制,精密測(cè)量及檢測(cè)技術(shù)于一體,在國(guó)內(nèi)外均屬先進(jìn)水平。產(chǎn)品廣泛地用于液晶顯示器(LCD)、太陽(yáng)能電池、微電子、光電子和各種光學(xué)領(lǐng)域。

導(dǎo)電膜產(chǎn)品描述

氧化銦錫(Indium-Tin Oxide)透明導(dǎo)電膜玻璃,多通過(guò)ITO導(dǎo)電膜玻璃生產(chǎn)線,在高度凈化的廠房環(huán)境中,利用平面磁控技術(shù),在超薄玻璃上濺射氧化銦錫導(dǎo)電薄膜鍍層并經(jīng)高溫退火處理得到的高技術(shù)產(chǎn)品。

導(dǎo)電膜制作方法

ITO導(dǎo)電膜是指采用磁控濺射的方法（ITO 薄膜的制備方法有蒸發(fā)、濺射、反應(yīng)離子鍍、化學(xué)氣相沉積、熱解噴涂等, 但使用最多的是反應(yīng)磁控濺射法），在透明有機(jī)薄膜材料上濺射透明氧化銦錫(ITO)導(dǎo)電薄膜鍍層并經(jīng)高溫退火處理得到的高技術(shù)產(chǎn)品。

導(dǎo)電膜應(yīng)用領(lǐng)域

產(chǎn)品廣泛地用于液晶顯示器(LCD)、太陽(yáng)能電池、微電子ITO導(dǎo)電膜玻璃、光電子和各種光學(xué)領(lǐng)域。

導(dǎo)電膜產(chǎn)品參數(shù)

線性度（MD）：≤1.5%

全光線透過(guò)率：≥86%

表面硬度（鉛筆硬度）：≥3H

熱穩(wěn)定性：(R-R0)/R: ±20%

熱收縮率：MD≤1.0%，TD≤0.8%

加熱卷曲：≤10mm

低阻抗柔性ITO導(dǎo)電膜（PET-ITO）

適用于柔性電致變色器件、柔性薄膜太陽(yáng)能電池、柔性EL發(fā)光器件的制備和生產(chǎn)。

薄膜厚度：0.175±10 mm

霧度：<2%

寬度：406/360±2 mm

粘附：100/100

卷曲：≤10 mm

透過(guò)率：≥ 80%

表面電阻：90±15 Ω/□

面電阻均勻性：<7%

熱收縮：MD≤1.3，TD≤1.0

熱穩(wěn)定性：

高溫：80oC,120hr ≤1.3

低溫：-40oC,120hr ≤1.3

熱循環(huán)：-30oC—80oC ≤1.3

熱/濕度： 60oC, 90% RH,120hr ≤1.3

導(dǎo)電膜參數(shù)關(guān)系

ITO導(dǎo)電膜的主要參數(shù)有：表面電阻、表面電阻的均勻性、透光率、熱穩(wěn)定性、加熱收縮率、加熱卷曲等。其中光透過(guò)率主要與ITO膜所用的基底材料和ITO膜的表面電阻有關(guān)。在基底材料相同的情況下，ITO膜的表面電阻越小，ITO膜層的厚度越大，光透過(guò)率相應(yīng)的會(huì)有一定程度的減小。