下面簡(jiǎn)單介紹一下常見(jiàn)的幾種sensor 的原理和作用以及一些簡(jiǎn)單的例子。
1、 touch sensor 意是是接觸性sensor,當(dāng)兩個(gè)物體接觸時(shí)產(chǎn)生的一種信號(hào),將這個(gè)信號(hào)收集傳經(jīng)計(jì)算機(jī),可執(zhí)行下一步的動(dòng)作。這種sensor 主要用來(lái)感應(yīng)兩個(gè)物體的關(guān)系。
2、感光sensor ,通過(guò)兩個(gè)簡(jiǎn)單的電路來(lái)完成,一個(gè)電路有發(fā)光二極管或LED等發(fā)光元件,另一個(gè)電路則接有一個(gè)感光元件來(lái)感就發(fā)光體,當(dāng)裝有sensor 的兩物體具有對(duì)就的關(guān)系時(shí),感光元件就會(huì)接收到信號(hào),將這個(gè)信號(hào)傳給計(jì)算機(jī),通過(guò)計(jì)算機(jī)來(lái)完成其它的動(dòng)作。這種sensor 主要用來(lái)感應(yīng)是否到達(dá)預(yù)定的位置,或者用來(lái)確定兩物體的相對(duì)位置關(guān)系。
3、磁感sensor , 通過(guò)磁性感應(yīng)物體,當(dāng)兩運(yùn)動(dòng)部件運(yùn)動(dòng)到一定的區(qū)域內(nèi)時(shí),可以通過(guò)磁感來(lái)感就到物體的存在及位置。
在一些電子產(chǎn)品的機(jī)器中,sensor 可說(shuō)是無(wú)處不在,每個(gè)sensor 有具體作用也不同,在遇到sensor時(shí),先看看它到底有什么作用,為什么要一個(gè)sensor, 原理是什么,然后再分析該如何處理。
物理傳感器的應(yīng)用范圍是非常廣泛的,我們僅僅就生物醫(yī)學(xué)的角度來(lái)看看物理傳感器的應(yīng)用情況,之后不難推測(cè)物理傳感器在其他的方面也有重要的應(yīng)用。
比如血壓測(cè)量是醫(yī)學(xué)測(cè)量中的最為常規(guī)的一種。我們通常的血壓測(cè)量都是間接測(cè)量,通過(guò)體表檢測(cè)出來(lái)的血流和壓力之間的關(guān)系,從而測(cè)出脈管里的血壓值。測(cè)量血壓所需要的傳感器通常都包括一個(gè)彈性膜片,它將壓力信號(hào)轉(zhuǎn)變成為膜片的變形,然后再根據(jù)膜片的應(yīng)變或位移轉(zhuǎn)換成為相應(yīng)的電信號(hào)。在電信號(hào)的峰值處我們可以檢測(cè)出來(lái)收縮壓,在通過(guò)反相器和峰值檢測(cè)器后,我們可以得到舒張壓,通過(guò)積分器就可以得到平均壓。
讓我們?cè)倏纯春粑鼫y(cè)量技術(shù)。呼吸測(cè)量是臨床診斷肺功能的重要依據(jù),在外科手術(shù)和病人監(jiān)護(hù)中都是必不可少的。比如在使用用于測(cè)量呼吸頻率的熱敏電阻式傳感器時(shí),把傳感器的電阻安裝在一個(gè)夾子前端的外側(cè),把夾子夾在鼻翼上,當(dāng)呼吸氣流從熱敏電阻表面流過(guò)時(shí),就可以通過(guò)熱敏電阻來(lái)測(cè)量呼吸的頻率以及熱氣的狀態(tài)。
再比如最常見(jiàn)的體表溫度測(cè)量過(guò)程,雖然看起來(lái)很容易,但是卻有著復(fù)雜的測(cè)量機(jī)理。體表溫度是由局部的血流量、下層組織的導(dǎo)熱情況和表皮的散熱情況等多種因素決定的,因此測(cè)量皮膚溫度要考慮到多方面的影響。熱電偶式傳感器被較多的應(yīng)用到溫度的測(cè)量中,通常有桿狀熱電偶傳感器和薄膜熱電偶傳感器。由于熱電偶的尺寸非常小,精度比較高的可做到微米的級(jí)別,所以能夠比較精確地測(cè)量出某一點(diǎn)處的溫度,加上后期的分析統(tǒng)計(jì),能夠得出比較全面的分析結(jié)果。這是傳統(tǒng)的水銀溫度計(jì)所不能比擬的,也展示了應(yīng)用新的技術(shù)給科學(xué)發(fā)展帶來(lái)的廣闊前景。
從以上的介紹可以看出,僅僅在生物醫(yī)學(xué)方面,物理傳感器就有著多種多樣的應(yīng)用。傳感器的發(fā)展方向是多功能、有圖像的、有智能的傳感器。傳感器測(cè)量作為數(shù)據(jù)獲得的重要手段,是工業(yè)生產(chǎn)乃至家庭生活所必不可少的器件,而物理傳感器又是最普通的傳感器家族,靈活運(yùn)用物理傳感器必然能夠創(chuàng)造出更多的產(chǎn)品,更好的效益。
物理傳感器是檢測(cè)物理量的傳感器。它是利用某些物理效應(yīng),把被測(cè)量的物理量轉(zhuǎn)化成為便于處理的能量形式的信號(hào)的裝置。其輸出的信號(hào)和輸入的信號(hào)有確定的關(guān)系。主要的物理傳感器有光電式傳感器、壓電傳感器、壓阻式傳感器、電磁式傳感器、熱電式傳感器、光導(dǎo)纖維傳感器等。作為例子,讓我們看看比較常用的光電式傳感器。這種傳感器把光信號(hào)轉(zhuǎn)換成為電信號(hào),它直接檢測(cè)來(lái)自物體的輻射信息,也可以轉(zhuǎn)換其他物理量成為光信號(hào)。其主要的原理是光電效應(yīng):當(dāng)光照射到物質(zhì)上的時(shí)候,物質(zhì)上的電效應(yīng)發(fā)生改變,這里的電效應(yīng)包括電子發(fā)射、電導(dǎo)率和電位電流等。顯然,能夠容易產(chǎn)生這樣效應(yīng)的器件成為光電式傳感器的主要部件,比如說(shuō)光敏電阻。這樣,我們知道了光電傳感器的主要工作流程就是接受相應(yīng)的光的照射,通過(guò)類似光敏電阻這樣的器件把光能轉(zhuǎn)化成為電能,然后通過(guò)放大和去噪聲的處理,就得到了所需要的輸出的電信號(hào)。這里的輸出電信號(hào)和原始的光信號(hào)有一定的關(guān)系,通常是接近線性的關(guān)系,這樣計(jì)算原始的光信號(hào)就不是很復(fù)雜了。其他的物理傳感器的原理都可以類比于光電式傳感器。
可以用不同的觀點(diǎn)對(duì)傳感器進(jìn)行分類:
它們的轉(zhuǎn)換原理(傳感器工作的基本物理或化學(xué)效應(yīng));它們的用途;它們的輸出信號(hào)類型以及制作它們的材料和工藝等。根據(jù)傳感器工作原理,可分為物理傳感器和化學(xué)傳感器二大類:傳感器工作原理的分類物理傳感器應(yīng)用的是物理效應(yīng),諸如壓電效應(yīng),磁致伸縮現(xiàn)象,離化、極化、熱電、光電、磁電等效應(yīng)。被測(cè)信號(hào)量的微小變化都將轉(zhuǎn)換成電信號(hào)?;瘜W(xué)傳感器包括那些以化學(xué)吸附、電化學(xué)反應(yīng)等現(xiàn)象為因果關(guān)系的傳感器,被測(cè)信號(hào)量的微小變化也將轉(zhuǎn)換成電信號(hào)。有些傳感器既不能劃分到物理類,也不能劃分為化學(xué)類。大多數(shù)傳感器是以物理原理為基礎(chǔ)運(yùn)作的?;瘜W(xué)傳感器技術(shù)問(wèn)題較多,例如可靠性問(wèn)題,規(guī)模生產(chǎn)的可能性,價(jià)格問(wèn)題等,解決了這類難題,化學(xué)傳感器的應(yīng)用將會(huì)有巨大增長(zhǎng)。常見(jiàn)傳感器的應(yīng)用領(lǐng)域和工作原理列于下表。
壓力敏和力敏傳感器 位置傳感器 液面?zhèn)鞲衅?能耗傳感器 速度傳感器
加速度傳感器 射線輻射傳感器 熱敏傳感器 24GHz雷達(dá)傳感器
振動(dòng)傳感器 濕敏傳感器 磁敏傳感器 氣敏傳感器 真空度傳感器 生物傳感器等。
模擬傳感器--將被測(cè)量的非電學(xué)量轉(zhuǎn)換成模擬電信號(hào)。 數(shù)字傳感器--將被測(cè)量的非電學(xué)量轉(zhuǎn)換成數(shù)字輸出信號(hào)(包括直接和間接轉(zhuǎn)換)。膺數(shù)字傳感器--將被測(cè)量的信號(hào)量轉(zhuǎn)換成頻率信號(hào)或短周期信號(hào)的輸出(包括直接或間接轉(zhuǎn)換)。開(kāi)關(guān)傳感器--當(dāng)一個(gè)被測(cè)量的信號(hào)達(dá)到某個(gè)特定的閾值時(shí),傳感器相應(yīng)地輸出一個(gè)設(shè)定的低電平或高電平信號(hào)。
在外界因素的作用下,所有材料都會(huì)作出相應(yīng)的、具有特征性的反應(yīng)。它們中的那些對(duì)外界作用最敏感的材料,即那些具有功能特性的材料,被用來(lái)制作傳感器的敏感元件。從所應(yīng)用的材料觀點(diǎn)出發(fā)可將傳感器分成下列幾類:
(1)按照其所用材料的類別分: 金屬聚合物 陶瓷混合物
(2)按材料的物理性質(zhì)分: 導(dǎo)體絕緣體 半導(dǎo)體磁性材料
(3)按材料的晶體結(jié)構(gòu)分: 單晶 多晶非晶材料
與采用新材料緊密相關(guān)的傳感器開(kāi)發(fā)工作,可以歸納為下述三個(gè)方向:
(1)在已知的材料中探索新的現(xiàn)象、效應(yīng)和反應(yīng),然后使它們能在傳感器技術(shù)中得到實(shí)際使用。
(2)探索新的材料,應(yīng)用那些已知的現(xiàn)象、效應(yīng)和反應(yīng)來(lái)改進(jìn)傳感器技術(shù)。
(3)在研究新型材料的基礎(chǔ)上探索新現(xiàn)象、新效應(yīng)和反應(yīng),并在傳感器技術(shù)中加以具體實(shí)施。 現(xiàn)代傳感器制造業(yè)的進(jìn)展取決于用于傳感器技術(shù)的新材料和敏感元件的開(kāi)發(fā)強(qiáng)度。傳感器開(kāi)發(fā)的基本趨勢(shì)是和半導(dǎo)體以及介質(zhì)材料的應(yīng)用密切關(guān)聯(lián)的。
集成傳感器,薄膜傳感器,厚膜傳感器,陶瓷傳感器。集成傳感器是用標(biāo)準(zhǔn)的生產(chǎn)硅基半導(dǎo)體集成電路的工藝技術(shù)制造的。通常還將用于初步處理被測(cè)信號(hào)的部分電路也集成在同一芯片上。 薄膜傳感器則是通過(guò)沉積在介質(zhì)襯底(基板)上的,相應(yīng)敏感材料的薄膜形成的。使用混合工藝時(shí),同樣可將部分電路制造在此基板上。 厚膜傳感器是利用相應(yīng)材料的漿料,涂覆在陶瓷基片上制成的,基片通常是Al2O3制成的,然后進(jìn)行熱處理,使厚膜成形。 陶瓷傳感器采用標(biāo)準(zhǔn)的陶瓷工藝或其某種變種工藝(溶膠-凝膠等)生產(chǎn)。 完成適當(dāng)?shù)念A(yù)備性操作之后,已成形的元件在高溫中進(jìn)行燒結(jié)。厚膜和陶瓷傳感器這二種工藝之間有許多共同特性,在某些方面,可以認(rèn)為厚膜工藝是陶瓷工藝的一種變型。 每種工藝技術(shù)都有自己的優(yōu)點(diǎn)和不足。由于研究、開(kāi)發(fā)和生產(chǎn)所需的資本投入較低,以及傳感器參數(shù)的高穩(wěn)定性等原因,采用陶瓷和厚膜傳感器比較合理。 (空侶網(wǎng)暖通專家提供)
物理型傳感器是利用被測(cè)量物質(zhì)的某些物理性質(zhì)發(fā)生明顯變化的特性制成的。 化學(xué)型傳感器是利用能把化學(xué)物質(zhì)的成分、濃度等化學(xué)量轉(zhuǎn)化成電學(xué)量的敏感元件制成的。 生物型傳感器是利用各種生物或生物物質(zhì)的特性做成的,用以檢測(cè)與識(shí)別生物體內(nèi)化學(xué)成分的傳感器
傳感器應(yīng)用技術(shù)的傳感器應(yīng)用綜述
傳感器在新技術(shù)領(lǐng)域中的應(yīng)用:傳感器是新技術(shù)革命和信息社會(huì)的重要技術(shù)基礎(chǔ),是當(dāng)今世界極其重要的高科技,一切現(xiàn)代化儀器、設(shè)備幾乎都離不開(kāi)傳感器。1.光纖傳感器:近幾年,光纖傳感器的發(fā)展異常迅速,顯現(xiàn)出巨大...
數(shù)字式溫濕度傳感器SHT1x是一款可回流焊?jìng)鞲衅?。SHT1x系列包含低成本版本SHT10、標(biāo)準(zhǔn)版本SHT11和高端版本SHT15。所有SHTxx系列的Sensirion傳感器型號(hào)均經(jīng)過(guò)完全校準(zhǔn),并提供...
SHT1x溫濕度傳感器具有精度高、穩(wěn)定度好、一致性好、體積小、數(shù)字輸出等特點(diǎn),非常適合于對(duì)溫度和濕度進(jìn)行監(jiān)控??刹捎肧HT1X集成溫濕度傳感器作為溫度與濕度檢測(cè),并應(yīng)用于凝血因子的生物醫(yī)學(xué)檢測(cè)。也適合...
傳感器的靜態(tài)特性是指對(duì)靜態(tài)的輸入信號(hào),傳感器的輸出量與輸入量之間所具有相互關(guān)系。因?yàn)檫@時(shí)輸入量和輸出量都和時(shí)間無(wú)關(guān),所以它們之間的關(guān)系,即傳感器的靜態(tài)特性可用一個(gè)不含時(shí)間變量的代數(shù)方程,或以輸入量作橫坐標(biāo),把與其對(duì)應(yīng)的輸出量作縱坐標(biāo)而畫(huà)出的特性曲線來(lái)描述。表征傳感器靜態(tài)特性的主要參數(shù)有:線性度、靈敏度、遲滯、重復(fù)性、漂移等。
(1)線性度:指?jìng)鞲衅鬏敵隽颗c輸入量之間的實(shí)際關(guān)系曲線偏離擬合直線的程度。定義為在全量程范圍內(nèi)實(shí)際特性曲線與擬合直線之間的最大偏差值與滿量程輸出值之比。
(2)靈敏度:靈敏度是傳感器靜態(tài)特性的一個(gè)重要指標(biāo)。其定義為輸出量的增量與引起該增量的相應(yīng)輸入量增量之比。用S表示靈敏度。
(3)遲滯:傳感器在輸入量由小到大(正行程)及輸入量由大到小(反行程)變化期間其輸入輸出特性曲線不重合的現(xiàn)象成為遲滯。對(duì)于同一大小的輸入信號(hào),傳感器的正反行程輸出信號(hào)大小不相等,這個(gè)差值稱為遲滯差值。
(4)重復(fù)性:重復(fù)性是指?jìng)鞲衅髟谳斎肓堪赐环较蜃魅砍踢B續(xù)多次變化時(shí),所得特性曲線不一致的程度。
(5)漂移:傳感器的漂移是指在輸入量不變的情況下,傳感器輸出量隨著時(shí)間變化,此現(xiàn)象稱為漂移。產(chǎn)生漂移的原因有兩個(gè)方面:一是傳感器自身結(jié)構(gòu)參數(shù);二是周?chē)h(huán)境(如溫度、濕度等)。
所謂動(dòng)態(tài)特性,是指?jìng)鞲衅髟谳斎胱兓瘯r(shí),它的輸出的特性。在實(shí)際工作中,傳感器的動(dòng)態(tài)特性常用它對(duì)某些標(biāo)準(zhǔn)輸入信號(hào)的響應(yīng)來(lái)表示。這是因?yàn)閭鞲衅鲗?duì)標(biāo)準(zhǔn)輸入信號(hào)的響應(yīng)容易用實(shí)驗(yàn)方法求得,并且它對(duì)標(biāo)準(zhǔn)輸入信號(hào)的響應(yīng)與它對(duì)任意輸入信號(hào)的響應(yīng)之間存在一定的關(guān)系,往往知道了前者就能推定后者。最常用的標(biāo)準(zhǔn)輸入信號(hào)有階躍信號(hào)和正弦信號(hào)兩種,所以傳感器的動(dòng)態(tài)特性也常用階躍響應(yīng)和頻率響應(yīng)來(lái)表示。
通常情況下,傳感器的實(shí)際靜態(tài)特性輸出是條曲線而非直線。在實(shí)際工作中,為使儀表具有均勻刻度的讀數(shù),常用一條擬合直線近似地代表實(shí)際的特性曲線、線性度(非線性誤差)就是這個(gè)近似程度的一個(gè)性能指標(biāo)。 擬合直線的選取有多種方法。如將零輸入和滿量程輸出點(diǎn)相連的理論直線作為擬合直線;或?qū)⑴c特性曲線上各點(diǎn)偏差的平方和為最小的理論直線作為擬合直線,此擬合直線稱為最小二乘法擬合直線。
傳感器的分類有很多,同樣傳感器可以通過(guò)不同方式進(jìn)行分類。有一類是從測(cè)量目的進(jìn)行區(qū)分傳感器。這樣傳感器可分為物理型傳感器,化學(xué)型傳感器等。下面就物理型傳感器做一個(gè)簡(jiǎn)單的分析介紹,物理型傳感器又可以分為結(jié)構(gòu)型傳感器和物性型傳感器。
結(jié)構(gòu)型傳感器是以結(jié)構(gòu)(如形狀、尺寸等)為基礎(chǔ),利用某些物理規(guī)律來(lái)感受(敏感)被測(cè)量,井將其轉(zhuǎn)換為電信號(hào)實(shí)現(xiàn)測(cè)量的。例如電容式壓力傳感器,必須有按規(guī)定參數(shù)設(shè)計(jì)制成的電容式敏感元件,當(dāng)被測(cè)壓力作用在電容式敏感元件的動(dòng)極板上時(shí),引起電容間隙的變化導(dǎo)致電容值的變化,從而實(shí)現(xiàn)對(duì)壓力的測(cè)量。又比如諧振式壓力傳感器,必須設(shè)計(jì)制作一個(gè)合適的感受被測(cè)壓力的諧振敏感元件,當(dāng)被測(cè)壓力變化時(shí),改變諧振敏感結(jié)構(gòu)的等效剛度,導(dǎo)致諧振敏感元件的固有頻率發(fā)生變化,從而實(shí)現(xiàn)對(duì)壓力的測(cè)量。
物性型傳感器就是利用某些功能材料本身所具有的內(nèi)在特性及效應(yīng)感受(敏感)被測(cè)量,并轉(zhuǎn)換成可用電信號(hào)的傳感器。例如利用具有壓電特性的石英晶體材料制成的壓電式傳感器,就是利用石英晶體材料本身具有的正壓電效應(yīng)而實(shí)現(xiàn)對(duì)壓力測(cè)量的;利用半導(dǎo)體材料在被測(cè)壓力作用下引起其內(nèi)部應(yīng)力變化導(dǎo)致其電阻值變化制成的壓阻式傳感器,就是利用半導(dǎo)體材料的壓阻效應(yīng)而實(shí)現(xiàn)對(duì)壓力測(cè)量的。
一般而言,物理型傳感器對(duì)物理效應(yīng)和敏感結(jié)構(gòu)都有一定要求,但側(cè)重點(diǎn)不同。結(jié)構(gòu)型傳感器強(qiáng)調(diào)要依靠精密設(shè)計(jì)制作的結(jié)構(gòu)才能保證其正常工作;而物性型傳感器則主要依據(jù)材料本身的物理特性、物理效應(yīng)來(lái)實(shí)現(xiàn)對(duì)被測(cè)量的感應(yīng)。近年來(lái),由于材料科學(xué)技術(shù)的飛速發(fā)展與進(jìn)步,物理型傳感器應(yīng)用越來(lái)越廣泛。這與該類傳感器便于批量生產(chǎn)、成本較低及易于小型化等持點(diǎn)密切相關(guān)。
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物信學(xué)院開(kāi)放性實(shí)驗(yàn)結(jié)題報(bào)告 總課題 直流漏電流監(jiān)測(cè)裝置 設(shè)計(jì)題目 MSP430單片機(jī)測(cè)流量 專業(yè)班級(jí) 測(cè)控 班號(hào) B08072021 項(xiàng)目成員姓名 張文焱,胡聰 起止日期 2011 年 3月 1日~2011年 6月 20日 指導(dǎo)教師 徐天奇﹑譚翠蘭﹑何立言﹑羅會(huì)容 2011-6-10 MSP430單片機(jī)測(cè)流量 摘要:本文討論用單片機(jī)測(cè)量壓力完成流量測(cè)量。 這種流量傳感 器主要由特制的導(dǎo)流管和現(xiàn)有壓力傳感器組成, 其基本原理是輸入 口與輸出口這間的壓力差與通過(guò)導(dǎo)液管的流速直接相關(guān), 用壓力傳感 器測(cè)量導(dǎo)液管入口與出口之間的壓力差,并將其轉(zhuǎn)換成電壓量輸出。 通過(guò)檢測(cè)導(dǎo)液管兩端的壓力差,即可計(jì)算出通過(guò)導(dǎo)游管的流速和流 量。這種流量傳感器主要有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、靈敏度高、精確度高、量程范 圍寬、成本低等優(yōu)點(diǎn)。 關(guān)鍵詞:差壓流量計(jì),差壓傳感器,液體流量檢測(cè) 1. 引言 流量的測(cè)量與控制在各個(gè)領(lǐng)
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熱釋電傳感器應(yīng)用實(shí)例資料
本書(shū)系統(tǒng)闡述了磁敏感元器件和磁傳感器、壓電式傳感器、壓阻式傳感器等物理傳感器結(jié)構(gòu)、工作原理和特性,介紹了硅各向異性腐蝕技術(shù)、傳感器集成化及傳感器CAD等傳感器技術(shù)。
可以用不同的觀點(diǎn)對(duì)傳感器進(jìn)行分類:它們的轉(zhuǎn)換原理(傳感器工作的基本物理或化學(xué)效應(yīng));它們的用途;它們的輸出信號(hào)類型以及制作它們的材料和工藝等。
根據(jù)傳感器工作原理,可分為物理傳感器和化學(xué)傳感器二大類 :
傳感器工作原理的分類物理傳感器應(yīng)用的是物理效應(yīng),諸如壓電效應(yīng),磁致伸縮現(xiàn)象,離化、極化、熱電、光電、磁電等效應(yīng)。被測(cè)信號(hào)量的微小變化都將轉(zhuǎn)換成電信號(hào)。
化學(xué)傳感器包括那些以化學(xué)吸附、電化學(xué)反應(yīng)等現(xiàn)象為因果關(guān)系的傳感器,被測(cè)信號(hào)量的微小變化也將轉(zhuǎn)換成電信號(hào)。
有些傳感器既不能劃分到物理類,也不能劃分為化學(xué)類。大多數(shù)傳感器是以物理原理為基礎(chǔ)運(yùn)作的?;瘜W(xué)傳感器技術(shù)問(wèn)題較多,例如可靠性問(wèn)題,規(guī)模生產(chǎn)的可能性,價(jià)格問(wèn)題等,解決了這類難題,化學(xué)傳感器的應(yīng)用將會(huì)有巨大增長(zhǎng)。
常見(jiàn)傳感器的應(yīng)用領(lǐng)域和工作原理列于下表。
1.按照其用途,傳感器可分類為:
壓力敏和力敏傳感器 位置傳感器
液面?zhèn)鞲衅?能耗傳感器
速度傳感器 加速度傳感器
射線輻射傳感器 熱敏傳感器
24GHz雷達(dá)傳感器
2.按照其原理,傳感器可分類為:
振動(dòng)傳感器 濕敏傳感器
磁敏傳感器 氣敏傳感器
真空度傳感器 生物傳感器等。
以其輸出信號(hào)為標(biāo)準(zhǔn)可將傳感器分為:
模擬傳感器——將被測(cè)量的非電學(xué)量轉(zhuǎn)換成模擬電信號(hào)。
數(shù)字傳感器——將被測(cè)量的非電學(xué)量轉(zhuǎn)換成數(shù)字輸出信號(hào)(包括直接和間接轉(zhuǎn)換)。
膺數(shù)字傳感器——將被測(cè)量的信號(hào)量轉(zhuǎn)換成頻率信號(hào)或短周期信號(hào)的輸出(包括直接或間接轉(zhuǎn)換)。
開(kāi)關(guān)傳感器——當(dāng)一個(gè)被測(cè)量的信號(hào)達(dá)到某個(gè)特定的閾值時(shí),傳感器相應(yīng)地輸出一個(gè)設(shè)定的低電平或高電平信號(hào)。
在外界因素的作用下,所有材料都會(huì)作出相應(yīng)的、具有特征性的反應(yīng)。它們中的那些對(duì)外界作用最敏感的材料,即那些具有功能特性的材料,被用來(lái)制作傳感器的敏感元件。從所應(yīng)用的材料觀點(diǎn)出發(fā)可將傳感器分成下列幾類:
(1)按照其所用材料的類別分"para" label-module="para">
金屬"para" label-module="para">
(2)按材料的物理性質(zhì)分"_blank" href="/item/磁性材料/1116212" data-lemmaid="1116212">磁性材料"para" label-module="para">
(3)按材料的晶體結(jié)構(gòu)分"para" label-module="para">
單晶"para" label-module="para">
與采用新材料緊密相關(guān)的傳感器開(kāi)發(fā)工作,可以歸納為下述三個(gè)方向:"para" label-module="para">
(1)在已知的材料中探索新的現(xiàn)象、效應(yīng)和反應(yīng),然后使它們能在傳感器技術(shù)中得到實(shí)際使用。"para" label-module="para">
(2)探索新的材料,應(yīng)用那些已知的現(xiàn)象、效應(yīng)和反應(yīng)來(lái)改進(jìn)傳感器技術(shù)。"para" label-module="para">
(3)在研究新型材料的基礎(chǔ)上探索新現(xiàn)象、新效應(yīng)和反應(yīng),并在傳感器技術(shù)中加以具體實(shí)施。"para" label-module="para">
現(xiàn)代傳感器制造業(yè)的進(jìn)展取決于用于傳感器技術(shù)的新材料和敏感元件的開(kāi)發(fā)強(qiáng)度。傳感器開(kāi)發(fā)的基本趨勢(shì)是和半導(dǎo)體以及介質(zhì)材料的應(yīng)用密切關(guān)聯(lián)的。表1.2中給出了一些可用于傳感器技術(shù)的、能夠轉(zhuǎn)換能量形式的材料。"para" label-module="para">
按照其制造工藝,可以將傳感器區(qū)分為:
集成傳感器"_blank" href="/item/陶瓷傳感器/7520900" data-lemmaid="7520900">陶瓷傳感器
集成傳感器是用標(biāo)準(zhǔn)的生產(chǎn)硅基半導(dǎo)體集成電路的工藝技術(shù)制造的。通常還將用于初步處理被測(cè)信號(hào)的部分電路也集成在同一芯片上。"para" label-module="para">
薄膜傳感器則是通過(guò)沉積在介質(zhì)襯底(基板)上的,相應(yīng)敏感材料的薄膜形成的。使用混合工藝時(shí),同樣可將部分電路制造在此基板上。"para" label-module="para">
厚膜傳感器是利用相應(yīng)材料的漿料,涂覆在陶瓷基片上制成的,基片通常是Al2O3制成的,然后進(jìn)行熱處理,使厚膜成形。
陶瓷傳感器采用標(biāo)準(zhǔn)的陶瓷工藝或其某種變種工藝(溶膠-凝膠等)生產(chǎn)。"para" label-module="para">
完成適當(dāng)?shù)念A(yù)備性操作之后,已成形的元件在高溫中進(jìn)行燒結(jié)。厚膜和陶瓷傳感器這二種工藝之間有許多共同特性,在某些方面,可以認(rèn)為厚膜工藝是陶瓷工藝的一種變型。"para" label-module="para">
每種工藝技術(shù)都有自己的優(yōu)點(diǎn)和不足。由于研究、開(kāi)發(fā)和生產(chǎn)所需的資本投入較低,以及傳感器參數(shù)的高穩(wěn)定性等原因,采用陶瓷和厚膜傳感器比較合理。
半導(dǎo)體傳感器
semiconductor sensor
利用半導(dǎo)體性質(zhì)易受外界條件影響這一特性制成的傳感器。
根據(jù)檢出對(duì)象,半導(dǎo)體傳感器可分為物理傳感器(檢出對(duì)象為光、溫度、磁、壓力、濕度等)、化學(xué)傳感器(檢出對(duì)象為氣體分子、離子、有機(jī)分子等)、生物傳感器(檢出對(duì)象為生物化學(xué)物質(zhì))。
光傳感器 根據(jù)光和半導(dǎo)體的相互作用原理制成的傳感器。通過(guò)在半導(dǎo)體中摻進(jìn)雜質(zhì)可以在禁帶中造成新的能級(jí),可以人為地將光的吸收移至長(zhǎng)波范圍。
半導(dǎo)體光傳感器種類很多,可以通過(guò)光導(dǎo)效應(yīng)、光電效應(yīng)、光電流等實(shí)現(xiàn)光的檢出,如光敏電阻、光電二極管、光電三極管、光電池等。改變結(jié)構(gòu),還可以制成具有新功能的光傳感器,例如靈敏度高和響應(yīng)速度快的近紅外檢出器件、僅在特定波長(zhǎng)范圍靈敏的器件、發(fā)光與受光器件處于同一襯底的器件、可進(jìn)行光檢出和電流放大的器件、光導(dǎo)膜與液晶元件相結(jié)合的器件、電荷耦合器件等 。
一般隨溫度的上升,半導(dǎo)體中載流子濃度增加、電阻降低。利用這種效應(yīng)可以制成熱敏電阻。由于半導(dǎo)體載流子濃度與溫度有關(guān),還會(huì)產(chǎn)生顯著的塞貝克效應(yīng)。當(dāng)P 型半導(dǎo)體兩端存在溫度差墹T,熱端的空穴濃度大,因此空穴向冷端擴(kuò)散,并在此端產(chǎn)生正的空間電荷場(chǎng)。這個(gè)電壓(塞貝克電壓uS)約為150μV/K。對(duì)N型半導(dǎo)體,圖2 中載流子為電子,冷端連接點(diǎn)為負(fù)。因此,同時(shí)使用P型與N型半導(dǎo)體電偶的uS可達(dá)300μV/K,比金屬的uS(40μV/K)大一個(gè)數(shù)量級(jí)。
半導(dǎo)體溫度傳感器分為兩類:接觸型和非接觸型。接觸型又分為熱敏電阻與PN結(jié)型兩種。
隨著溫度的變化,半導(dǎo)體感溫器件電阻會(huì)發(fā)生較大的變化,這種器件稱為熱敏電阻。常用的熱敏電阻為陶瓷熱敏電阻,分為負(fù)溫度系數(shù)(NTC)熱敏電阻、正溫度系數(shù)(PTC)熱敏電阻和臨界溫度電阻(CTR)。熱敏電阻一般指NTC熱敏電阻。
PN結(jié)溫度傳感器是一種利用半導(dǎo)體二極管、三極管的特性與溫度的依賴關(guān)系制成的溫度傳感器。非接觸型溫度傳感器可檢出被測(cè)物體發(fā)射電磁波的能量。傳感器可以是將放射能直接轉(zhuǎn)換為電能的半導(dǎo)體物質(zhì),也可以先將放射能轉(zhuǎn)換為熱能,使溫度升高,然后將溫度變化轉(zhuǎn)換成電信號(hào)而檢出。這可用來(lái)測(cè)量一點(diǎn)的溫度,如測(cè)溫度分布,則需進(jìn)行掃描。當(dāng)對(duì)象溫度低、只能發(fā)射紅外線時(shí),則須檢出其紅外線。
半導(dǎo)體磁傳感器體積小、重量輕、靈敏度高、可靠性高、壽命長(zhǎng),在電子學(xué)領(lǐng)域得到應(yīng)用。此外,還可利用磁效應(yīng)制作長(zhǎng)度與重量傳感器、高分辨(0.01度)的傾斜傳感器,以及測(cè)定液體流量等 。
半導(dǎo)體在承受壓力時(shí)禁帶寬度發(fā)生變化,導(dǎo)致載流子濃度和遷移率變化。這樣引起的電阻變化比金屬絲受壓時(shí)截面積減小引起的電阻變化要大兩個(gè)數(shù)量級(jí)。因此半導(dǎo)體壓力傳感器具有高靈敏度。將 P型半導(dǎo)體與 N型半導(dǎo)體組合使用還可制成靈敏度更高的壓力傳感器。擴(kuò)散型半導(dǎo)體壓力傳感器采用集成電路工藝制成,可以提高性能,改進(jìn)測(cè)量的精度。如加工硅單晶制成受壓膜片,在其表面用平面工藝擴(kuò)散再制成壓力規(guī),由于二者處在同一硅片上,可以減少滯后、提高精度。
使用半導(dǎo)體壓力傳感器測(cè)量生物體各部分的壓力比使用古老的脈壓、血壓測(cè)量方法,具有精度高、體積小、可在生物體自然狀態(tài)下測(cè)量和安全(微小電流)的優(yōu)點(diǎn)。
當(dāng)半導(dǎo)體表面或界面吸附氣體分子或水分子時(shí),半導(dǎo)體表面或界面的能帶發(fā)生變化。利用這種半導(dǎo)體電阻的變化可檢測(cè)氣體或濕度。半導(dǎo)體濕度傳感器具有體積小、重量輕的特點(diǎn),實(shí)用的有ZnO-Cr2O3系、TiO2-V2O5系陶瓷濕度傳感器。ZnO-Cr2O3系陶瓷濕度傳感器用于室內(nèi)空調(diào),可精密控制濕度,與微機(jī)結(jié)合能自動(dòng)去濕,節(jié)省電能。TiO2-V2O5系陶瓷濕度傳感器耐熱性好,可測(cè)量60℃以上的環(huán)境濕度,還可用于醫(yī)藥、合成纖維工廠中存在有機(jī)物蒸氣時(shí)的濕度測(cè)量。
利用半導(dǎo)體與氣體接觸時(shí)電阻或功函數(shù)發(fā)生變化這一特性檢測(cè)氣體。氣體傳感器分為電阻式與非電阻式兩種。
電阻式采用SnO2、ZnO等金屬氧化物材料制備,有多孔燒結(jié)件、 厚膜、 薄膜等形式。根據(jù)半導(dǎo)體與氣體的相互作用是發(fā)生在表面還是體內(nèi),又分為表面控制型與體控制型。表面控制型電阻式傳感器包括SnO2系傳感器、ZnO系傳感器、其他金屬氧化物(WO3、V2O5、CdO、Cr2O3等) 材料的傳感器和采用有機(jī)半導(dǎo)體材料的傳感器。體控制型電阻式傳感器包括Fe2O3系傳感器、ABO3型傳感器和燃燒控制用傳感器。這類傳感器可檢測(cè)甲烷、丙烷、氫、一氧化碳等還原性氣體,氧、二氧化氮等氧化性氣體,具有強(qiáng)吸附力的胺類和水蒸汽等。
非電阻式氣體傳感器利用氣體吸附和反應(yīng)時(shí)引起的功函數(shù)變化來(lái)檢測(cè)氣體。它可分為金屬-半導(dǎo)體結(jié)二極管型傳感器(利用金屬與半導(dǎo)體界面上吸附氣體時(shí),二極管整流特性的變化)、MOS二極管型傳感器(采用MOS結(jié)構(gòu),通過(guò)C-V特性的漂移檢測(cè)氣體)和MOS FET型傳感器(通過(guò)MOS FET的閾值電壓變化檢測(cè)氣體)。
半導(dǎo)體氣體傳感器靈敏度高,可用于可燃?xì)怏w防爆報(bào)警器,CO、H2S等有毒氣體的監(jiān)測(cè)器。通過(guò)穩(wěn)定性研究,一些傳感器可用于氣體濃度的定量監(jiān)測(cè)。半導(dǎo)體氣體傳感器在防災(zāi)、環(huán)境保護(hù)、節(jié)能、工程管理、自動(dòng)控制等方面有廣泛的應(yīng)用。
半導(dǎo)體離子傳感器體積很小,能直接插入生物體內(nèi)進(jìn)行連續(xù)測(cè)量,隨時(shí)監(jiān)視患者的病情。
半導(dǎo)體表面的電阻隨垂直于表面的電場(chǎng)變化。利用這種場(chǎng)效應(yīng)制成的絕緣柵場(chǎng)效應(yīng)晶體管 (IGFET)可作為化學(xué)傳感器。而在測(cè)量離子時(shí),即稱為離子靈敏場(chǎng)效應(yīng)晶體管(ISFET)。ISFET的柵絕緣層表面只對(duì)特定的離子產(chǎn)生響應(yīng)并形成離子感應(yīng)層。這種界面電位的變化通過(guò)FET的漏極電流變化檢出。ISFET的小型化不存在離子選擇電極電阻過(guò)大的問(wèn)題,它的輸出阻抗很小。由于界面雙電層的穩(wěn)定性,即使在濃度很低的情況下也能檢出界面電位的變化,因此具有很高的靈敏度。ISFET可用來(lái)測(cè)量H 、Na 、K 、Ca 、Ag 、NH嬃等陽(yáng)離子和F-、Cl-、Br-、I-、CN-等陰離子,還可制成復(fù)合ISFET(即同一 ISFET可測(cè)幾種不同的離子)和FET型的參考電極(REFFET)等 。
改變 ISFET敏感膜或采用其他結(jié)構(gòu)可以檢出復(fù)雜的生物化學(xué)物質(zhì)。這種傳感器用于醫(yī)療、食品、醫(yī)藥、環(huán)境保護(hù)等方面。例如,在臨床化學(xué)檢查中,用固定酵素作電極的方法對(duì)血液中葡萄糖、淀粉酶、甲胍乙丙脂、尿素、尿酸進(jìn)行分析,迅速而又簡(jiǎn)便。生物傳感器正向檢測(cè)更復(fù)雜的生物關(guān)聯(lián)物質(zhì)、免疫物質(zhì)、細(xì)胞和微生物的方向發(fā)展。
采用集成化技術(shù),將半導(dǎo)體傳感器與信息處理電路集成于同一芯片,可以增加傳感器的功能。此外,還可以在同一襯底上制作能檢出不同對(duì)象的具有復(fù)合功能的半導(dǎo)體傳感器器件。已出現(xiàn)單片集成傳感器和混合集成傳感器,將傳感器與微處理機(jī)相結(jié)合可以制成具有自動(dòng)補(bǔ)償功能和預(yù)知判斷功能的智能化器件。
半導(dǎo)體傳感器優(yōu)點(diǎn)是靈敏度高、可靠性好、可實(shí)現(xiàn)多功能、 小型化、 智能化,缺點(diǎn)是多感性、選擇性差、在極限狀態(tài)下(例如高溫)不能使用。針對(duì)結(jié)晶型半導(dǎo)體傳感器的不足,人們正在研究無(wú)定形半導(dǎo)體傳感器。