微流量傳感器

·氣壓浸水法

·顏色浸染法

·質(zhì)量流量法

·壓力衰減法（絕對壓力法）

·差動壓力法

·氦氣質(zhì)譜法

·氦氣聚集流法

·氦氣吸入法

·電壓擊穿法– 主要用于醫(yī)藥行業(yè)

氣壓浸水法: 應(yīng)用缺陷

·極度依賴于人為 判斷，缺乏嚴(yán)謹(jǐn)性!!

·對被測產(chǎn)品造成物理或者化學(xué)損傷，零件必須重新干燥處理。

·慢，難于確定具體的泄漏值。

·內(nèi)部腔體間泄漏無法確定。

·適用于大或中型泄漏(小于低壓20 cc/min).

·在很多情況下,極小的氣泡不容易被肉眼察覺.

·如下原因，有泄漏- 但是不產(chǎn)生氣泡:–水的表面張力–水分子可能堵住泄漏–在極小的泄漏情況下氣體分子能融入水中-沒有氣泡產(chǎn)生

傳統(tǒng)的質(zhì)量流量傳感器vs.ATC 微流量科技

·傳統(tǒng)的質(zhì)量流傳感器 (熱線式傳感器) 基于溫度變化影響電橋電阻變化的原理 - 完全不同于ATC的智能微流量傳感器IGLS.

·盡管測量流量的概念是一樣但是工作原理完全不同·傳統(tǒng)的質(zhì)量流傳感器 (熱線式傳感器)主要基于開路式流- 在閉路式流的環(huán)境下不穩(wěn)定.

·傳統(tǒng)的質(zhì)量流傳感器 (熱線式傳感器)不適用真空環(huán)境.(因為真空是溫度絕緣環(huán)境而熱線式傳感器是基于溫度的變化）

·傳統(tǒng)的質(zhì)量流傳感器 (熱線式傳感器)需要等待溫度穩(wěn)定，需要很長的測試周期

或者:

·直接增加測量閥值.·能應(yīng)用于較大泄漏的零件，不適用于微小的泄漏.·環(huán)境溫度對傳統(tǒng)的質(zhì)量流傳感器 (熱線式傳感器)的影響大.

·傳統(tǒng)的質(zhì)量流傳感器需要過載保護，而ATC的智能微流量傳感器IGLS不需要。

絕對壓力法存在的問題

·間接測試方法- 計算泄漏–同批次零件細(xì)微容積的差別能影響測試結(jié)果（容積和壓力變化速率是直接的關(guān)系）–若改變被測零件，操作員必須重新“標(biāo)定” 檢漏儀.

·壓力傳感器的分辨率不能檢測到細(xì)微的壓力衰減.

·環(huán)境溫度波動影響測試結(jié)果!–需要頻繁的標(biāo)定來校準(zhǔn)（溫度對壓力傳感器大，同時溫度與氣體的體積是直接關(guān)系）

·真空填充: 因檢查壓力降低，泄漏量被限定，同時受水蒸氣的影響大（不同壓力下水的沸點不同）

差動壓力法存在的問題

·極易受溫度波動影響-必須保證標(biāo)準(zhǔn)工件和被測工件具有相同的溫度

·需要標(biāo)準(zhǔn)工件 -需要同時填充被測工件和標(biāo)準(zhǔn)工件, 也就需要兩倍填充時間

-標(biāo)準(zhǔn)工件:-必須保證標(biāo)準(zhǔn)工件為‘零’泄漏，重復(fù)充氣能改變標(biāo)準(zhǔn)工件的容積（膨脹），并且很有可能標(biāo)準(zhǔn)工件已經(jīng)非‘零’泄漏.標(biāo)準(zhǔn)工件并非真正意義上的‘零’泄漏，可能由于水蒸氣或者蛋白質(zhì)堵塞，經(jīng)過物理、化學(xué)和生物反應(yīng)后而成為不合格品

·需要差壓傳感器–如果被測工件有大泄漏的話將極易損壞差壓傳感器

Advanced Test Concepts (ATC), Inc. 成功將獨具創(chuàng)新的微流量技術(shù)應(yīng)用于泄漏/密封性測試。ATC擁有微流量傳感器的發(fā)明專利，它的氣密性檢測儀為泄漏/密封性的測試領(lǐng)域開啟了新的一頁。

ATC的密封性檢測儀采用“質(zhì)量抽取”技術(shù)通過加壓或者抽真空方式 測試您產(chǎn)品的密封性。ATC提供整套泄漏/密封性解決方案產(chǎn)品和可選配件，比如用于檢定的標(biāo)準(zhǔn)泄漏孔、等效通道以及標(biāo)定樣。

智能泄漏測試傳感器 (IGLS) 基于一種革新的理念，采用微流量傳感器和用空氣來檢測泄漏, IGLS測試方法不同于傳統(tǒng)的測試方法,它基于質(zhì)量守恒定律, 將補償?shù)奖粶y試樣的氣流也考慮到整個流量的計算中, 在恒定的環(huán)境下， 流入流量等于泄漏流出的質(zhì)量。

智能泄漏測試傳感器 (IGLS) 是一個基于加速層流(ALF)ATC專利設(shè)計且集流量、壓力和溫度測量于一體的微流量傳感器. IGLS 是市面上存在的唯一傳感器, 其輸出的流量與在滑移流區(qū) (從真空至高壓的壓力變化) 的體積流量成比例關(guān)系，同時也與在平移和分子流動區(qū)的質(zhì)量流量成比例.* IGLS 內(nèi)置微處理器使其能直接測試泄漏的流量。

ATC的微流量技術(shù)開創(chuàng)了泄漏測試的新時代.它具有測試周期短，抗環(huán)境溫度干擾強、以及高靈敏度等過去只有使用氦氣的密封性檢測儀才有的優(yōu)點。ATC微流量傳感器的泄漏測試儀不需要和其他泄漏測試儀一樣“每天”在使用前需要校準(zhǔn)，而是直接精準(zhǔn)地測試得到試驗結(jié)果，使測試更簡單、更可靠， 用戶更節(jié)約時間、更節(jié)省人力等其他隱形成本。

ATC的“質(zhì)量抽取”技術(shù)充分考慮氣體微流現(xiàn)象和氣體在真空環(huán)境下的膨脹特性。ATC的“質(zhì)量抽取”技術(shù)智能泄漏測試傳感器的測試靈敏度與采用昂貴的氦質(zhì)譜（HMS)的靈敏度相當(dāng)，最典型是大約5x10-7 sccs。

ATC專利的"自適應(yīng)測試"功能使從試驗統(tǒng)計數(shù)據(jù)中"學(xué)習(xí)"測試經(jīng)驗,動態(tài)驗測被測試樣，這個功能能有效降低單個試樣測試周期，使ATC微流量技術(shù)測試儀器成為市場上試驗周期最短的測試方式。

智能泄漏測試傳感器 IGLS 是ATC泄漏試驗系統(tǒng)的組成部分, ATC泄漏試驗儀不僅能單獨在試驗平臺運行,也能拓展成整套自動化的泄漏測試系統(tǒng)。

ATC能幫助您確定產(chǎn)品的密封性要求，同時能幫助您在我們專業(yè)實驗室測量您產(chǎn)品以及標(biāo)定樣的密封性。ATC是ISO 17025認(rèn)證的公司擁有美國實驗室認(rèn)可協(xié)會認(rèn)證的實驗室，證書號為2197-01和2197-02。 ATC分公司分布于全世界各地為客戶提供更便捷的服務(wù)。

*滑移流區(qū)、平移和分子流動區(qū)是微尺度流體力學(xué)專業(yè)術(shù)語

第1章

傳感器的一般特性1·1 傳感器的靜態(tài)特性1·2 傳感器的動態(tài)特性1·3 傳感器動態(tài)特性分析1·4 傳感器無失真測試條件1·5 機電模擬和變量分類思考題與習(xí)題

第2章 電阻應(yīng)變式傳感器

2·1 金屬電阻應(yīng)變式傳感器

2·2 半導(dǎo)體應(yīng)變片及壓阻式傳感器

2·3 電位計式傳感器

思考題與習(xí)題

第3章 電感式傳感器

3·1 電感式傳感器

3·2 差動變壓器

3·3 電渦流式傳感器

思考題與習(xí)題

第4章 電容式傳感器

4·1 電容式傳感器的工作原理及結(jié)構(gòu)類型

4·2 電容式傳感器的靜態(tài)特性

4·3 電容式傳感器的等效電路

4·4 電容式傳感器的特點和設(shè)計要點

4·5 電容式傳感器的測量電路

4·6 電容式傳感器的應(yīng)用

附錄a 具有固體介質(zhì)的變間隙電容式傳感器原理特性分析推導(dǎo)

附錄b 變介電常數(shù)電容式傳感器原理特性分析推導(dǎo)

附錄c 電容測厚原理推導(dǎo)

思考題與習(xí)題

第5章 壓電式傳感器

5·1 壓電式傳感器的工作原理

5·2 壓電材料的主要特性

5·3 壓電元件常用的結(jié)構(gòu)形式

5·4 壓電式傳感器的信號調(diào)理電路

5·5 壓電式傳感器的應(yīng)用

思考題與習(xí)題

第6章 磁電式傳感器

6·1 磁電式傳感器的原理和結(jié)構(gòu)

6·2 磁電式傳感器的設(shè)計要點

6·3 磁電式傳感器的應(yīng)用

思考題與習(xí)題

第7章 熱電式傳感器

7·1 熱電阻

7·2 pn結(jié)型溫度傳感器

7·3 熱電偶

思考題與習(xí)題

第8章 光電式傳感器

8·1 光電效應(yīng)

8·2 光電器件

8·3 光源及光學(xué)元件

8·4 光電式傳感器的應(yīng)用

8·5 光纖傳感器

8·6 紅外傳感器

8·7 圖像傳感器簡介

思考題與習(xí)題

第9章 磁敏傳感器

9·1 霍爾傳感器

9·2 磁敏電阻

9·3 結(jié)型磁敏管

思考題與習(xí)題

第10章 數(shù)字式傳感器

10·1 光柵傳感器

10·2 磁柵傳感器

10·3 感應(yīng)同步器

10·4 角數(shù)字編碼器

10·5 頻率式數(shù)字傳感器

思考題與習(xí)題

第11章 氣體傳感器

11·1 熱導(dǎo)式氣體傳感器

11·2 接觸燃燒式氣敏傳感器

11·3 半導(dǎo)體氣體傳感器

11·4 紅外氣體傳感器

11·5 濕式氣體傳感器

思考題與習(xí)題

第12章 濕度傳感器

12.1 濕度及濕度傳感器的特性和分類

12.2 電解質(zhì)系濕度傳感器

12.3 半導(dǎo)體及陶瓷濕度傳感器

12.4 有機物及高分子聚合物濕度傳感器

12.5 非水分子親合力型濕度傳感器

12.6 濕度傳感器的應(yīng)用

思考題與習(xí)題

第13章 其他傳感器簡介

13.1 超聲波傳感器

13.2 微波傳感器

13.3 超導(dǎo)傳感器

13.4 智能傳感器

思考題與習(xí)題

第14章 傳感器的標(biāo)定與校準(zhǔn)

14.1 傳感器的靜態(tài)特性標(biāo)定

14.2 傳感器的動態(tài)特性標(biāo)定

14.3 壓力傳感器的標(biāo)定和校準(zhǔn)

14.4 振動傳感器的標(biāo)定和校準(zhǔn)

14.5 溫度傳感器的標(biāo)定和校準(zhǔn)

思考題與習(xí)題2100433B

空調(diào)傳感器大致分為兩種，溫度傳感器和其他傳感器。

傳感器一般由敏感元件、轉(zhuǎn)換元件、變換電路和輔助電源四部分組成，如圖1 所示。

圖1 傳感器的組成

敏感元件直接感受被測量，并輸出與被測量有確定關(guān)系的物理量信號；轉(zhuǎn)換元件將敏感元件輸出的物理量信號轉(zhuǎn)換為電信號；變換電路負(fù)責(zé)對轉(zhuǎn)換元件輸出的電信號進(jìn)行放大調(diào)制；轉(zhuǎn)換元件和變換電路一般還需要輔助電源供電。