一種純度為99.99999%三氯氧磷的生產(chǎn)方法發(fā)明內(nèi)容

一種純度為99.99999%三氯氧磷的生產(chǎn)方法專利目的

《一種純度為99.99999%三氯氧磷的生產(chǎn)方法》的目的在于提供的一種工藝簡單、產(chǎn)品回收率高、生產(chǎn)工藝環(huán)保、產(chǎn)品純度高為99.99999％三氯氧磷的生產(chǎn)方法。

一種純度為99.99999%三氯氧磷的生產(chǎn)方法技術方案

《一種純度為99.99999%三氯氧磷的生產(chǎn)方法》包括以下步驟：

1）復合絡合劑A為以質量份計，將50-90份濃度為85-87％的磷酸、10-50份的磷酸二氫銨混合均勻，加熱溶解配制而成；復合絡合劑B為以質 量份計，將40-90份濃度為85-87％的磷酸、1-10份的磷酸二氫銨、3-25份草酸、6-25份檸檬酸混合均勻，加熱溶解配制而成；

（2）在99.5％工業(yè)級三氯氧磷與收集的一次蒸餾產(chǎn)生的100℃以前的和107℃以后的重組分中，其中：三氯氧磷:低沸物:重組分＝1:（0-0.5）:（0-0.5），加入其質量1～4％的復合絡合劑A，控制溫度范圍為20～50℃，充分攪拌，反應40-60分鐘，然后蒸餾取100～107℃餾分得到一次蒸餾品，收集一次蒸餾產(chǎn)生的100℃以前的低沸物和107℃以后的重組分；

（3）將收集的二次蒸餾產(chǎn)生的100℃以前的低沸物和107℃以后的重組分各5.5-11份、與一次蒸餾品78-89份加入搪瓷反應釜中，加入三氯氧磷質量1～5％的復合絡合劑B，控制溫度范圍為25～50℃，充分攪拌，反應40-100分鐘，然后經(jīng)沉積分層，取上層清液過濾，濾液進行蒸餾，取100～107℃餾分得二次蒸餾品，收集二次蒸餾產(chǎn)生的100℃以前的低沸物和107℃以后的重組分；

（4）將二次蒸餾品進行精餾，得到99.99999％的電子級三氯氧磷，在潔凈環(huán)境為局部百級的包裝環(huán)境下，耐蝕潔凈石英源瓶或高純PFA容器包裝得到成品電子級三氯氧磷。

上述的純度為99.99999％三氯氧磷的生產(chǎn)方法，其中：配制復合絡合劑所用磷酸二氫銨、草酸、檸檬酸中的鐵、銅、鉛、砷雜質含量不超過5ppm；使用磷酸符合SEMI C36-0301二級標準要求。

上述的純度為99.99999％三氯氧磷的生產(chǎn)方法，其中：過濾采用0.1微米PVDF過濾器；蒸餾采用石英蒸餾器。

上述的純度為99.99999％三氯氧磷的生產(chǎn)方法，其中：除原料和一次蒸餾品為便于添加復合絡合劑A和B使用搪瓷反應釜進行攪拌外，其余設備容器均為高純石英或高純PFA等潔凈并耐蝕的材質制成。

上述的純度為99.99999％三氯氧磷的生產(chǎn)方法，其中：包裝環(huán)境為局部百級凈化，包裝容器包括石英源瓶或高純PFA材料制作的包裝桶。

一種純度為99.99999%三氯氧磷的生產(chǎn)方法改善效果

《一種純度為99.99999%三氯氧磷的生產(chǎn)方法》與2010年之前的技術相比，具有以下明顯的優(yōu)點和有益的效果，從以上技術方案可知：是在99.5％的工業(yè)三氯氧磷中，加入復合的多種絡合劑，攪拌充分反應，然后進行蒸餾、精餾得到的產(chǎn)品純度高，產(chǎn)品中單項金屬雜質含量不超過8ppb，如Al＜8ppb，As＜6ppb，Ba＜1ppb，Cr＜1ppb，Ca＜5ppb，F(xiàn)e＜8ppb，Mg＜5ppb，Pb＜3ppb，Mn＜1ppb，Ni＜1ppb，Zn＜1ppb，20余項金屬雜質總量不超過80ppb，完全滿足太陽能電池摻雜、大規(guī)模集成電路等的使用要求。其設備內(nèi)剩余重組分可以作為下次生產(chǎn)使用，經(jīng)多次使用實際回收率在90％以上?！兑环N純度為99.99999%三氯氧磷的生產(chǎn)方法》不需經(jīng)過幾級凈化過程，因而工藝簡單，工藝控制中間環(huán)節(jié)少，克服了過程控制中多個環(huán)節(jié)蒸餾產(chǎn)生大量廢氣、低沸物和重組份，產(chǎn)品回收率高，同等環(huán)保設施條件下廢氣廢水排放量小，其工藝技術較為環(huán)保。

高純?nèi)妊趿资羌呻娐?、太陽能電池生產(chǎn)的摻雜劑，是制造光纖預制棒的原材料之一，其純度要求高達99.9999％以上，特別是大規(guī)模集成電路用三氯氧磷，要求單項金屬雜質含量不超過10ppb。

中國專利公開號CN1613752于2005年05月11日公開了一種“99.99999％三氯氧化磷生產(chǎn)工藝”，其采用高純黃磷與高純氯氣反應生產(chǎn)三氯化磷，所得三氯化磷經(jīng)蒸餾制得三氯化磷純品，純品三氯化磷經(jīng)滴水通氯后形成三氯氧磷，再經(jīng)回流、蒸餾、精餾制得高純?nèi)妊趿?，其工藝路線相當長，需經(jīng)過黃磷、三氯化磷、三氯氧磷等三級凈化，尤其是高純黃磷精制中磷損耗大，三氯化磷合成三氯氧磷過程中滴水通氯過程難以控制，且其質量指標不高（單項金屬雜質不超過9ppb）。

中國專利公開號CN101570323于2009年11月04日公開了一種“純度為99.99999％三氯氧磷的生產(chǎn)方法及其裝置”，其方法是在雙層玻璃反應釜內(nèi)用三氯化磷合成三氯氧磷，再將三氯氧磷粗品經(jīng)精餾、兩級石英亞沸蒸餾后得到純度為99.99999％的三氯氧磷。該工藝同樣存在工藝復雜，并由于工藝控制溫度范圍較廣，雙層玻璃中易析出雜質等因素造成產(chǎn)品質量不穩(wěn)定，滴加氯水過程很難控制，產(chǎn)品回收溫度又相當狹窄，造成產(chǎn)品回收率低，很難實現(xiàn)工業(yè)化生產(chǎn)。

US5993609專利公開了一種提純回收包含具有反應性有機物的三氯氧磷的提純工藝，在三氯氧磷內(nèi)添加0.1-5％質量分數(shù)有機物（吡啶類），通過其絡合作用消除金屬離子，然后進行常壓蒸餾，得最終產(chǎn)品的碳含量（TOC）＜200ppm，F(xiàn)e、Cr、Ni的總含量＜5ppm.的高純?nèi)妊趿?，可見其質量等級較差。

《一種純度為99.99999%三氯氧磷的生產(chǎn)方法》涉及化工技術領域，具體來說涉及一種三氯氧磷的生產(chǎn)方法。

1.一種純度為99.99999％三氯氧磷的生產(chǎn)方法，包括以下步驟：

（1）復合絡合劑A為以質量份計，將50-90份濃度為85-87％的磷酸、10-50份的磷酸二氫銨混合均勻，加熱溶解配制而成；復合絡合劑B為以質量份計，將40-90份濃度為85-87％的磷酸、1-10份的磷酸二氫銨、3-25份草酸、6-25份檸檬酸混合均勻，加熱溶解配制而成；

（2）在99.5％工業(yè)級三氯氧磷與收集的一次蒸餾產(chǎn)生的100℃以前的和107℃以后的重組分中，其中：三氯氧磷:低沸物:重組分＝1:0-0.5:0-0.5，加入其質量1～4％的復合絡合劑A，控制溫度范圍為20～50℃，充分攪拌，反應40-60分鐘，然后蒸餾取100～107℃餾分得到一次蒸餾品，收集一次蒸餾產(chǎn)生的100℃以前的低沸物和107℃以后的重組分；

（3）將收集的二次蒸餾產(chǎn)生的100℃以前的低沸物和107℃以后的重組分各5.5-11份、與一次蒸餾品78-89份加入搪瓷反應釜中，加入三氯氧磷質量1～5％的復合絡合劑B，控制溫度范圍為25～50℃，充分攪拌，反應40-100分鐘，然后經(jīng)沉積分層，取上層清液過濾，濾液進行蒸餾，取100～107℃餾分得二次蒸餾品，收集二次蒸餾產(chǎn)生的100℃以前的低沸物和107℃以后的重組分；

（4）將二次蒸餾品進行精餾，得到99.99999％的電子級三氯氧磷，在潔凈環(huán)境為局部百級的包裝環(huán)境下，耐蝕潔凈石英源瓶或高純PFA容器包裝得到成品電子級三氯氧磷。

2.如權利要求1所述的純度為99.99999％三氯氧磷的生產(chǎn)方法，其中：配制復合絡合劑所用磷酸二氫銨、草酸、檸檬酸中的鐵、銅、鉛、砷雜質含量不超過5ppm；使用磷酸符合SEMI C36-0301二級標準要求。

3.如權利要求1或2所述的純度為99.99999％三氯氧磷的生產(chǎn)方法，其中：過濾采用0.1微米PVDF過濾器；蒸餾采用石英蒸餾器。

4.如權利要求3所述的純度為99.99999％三氯氧磷的生產(chǎn)方法，其中：除原料和一次蒸餾品為便于添加復合絡合劑A和B使用搪瓷反應釜進行攪拌外，其余設備容器均為高純石英或高純PFA等潔凈并耐蝕的材質制成。

實施例1

《一種純度為99.99999%三氯氧磷的生產(chǎn)方法》包括以下步驟：

（1）復合絡合劑A是將50千克濃度為85％的磷酸、50千克的磷酸二氫銨混合均勻，加熱溶解配制而成；復合絡合劑B是將90千克濃度為85％的磷酸、1千克的磷酸二氫銨、3千克草酸、6千克檸檬酸混合均勻，加熱溶解配制而成；配制復合絡合劑所用磷酸二氫銨、草酸、檸檬酸中的鐵、銅、鉛、砷雜質含量不超過5ppm；使用磷酸符合SEMI C36-0301二級標準要求。

（2）將純度為99.5％的工業(yè)三氯氧磷100千克，加入搪瓷反應釜中，升溫至20℃，開啟搪瓷釜攪拌，緩慢加入2千克復合絡合劑A，保持溫度為20℃的條件下反應60分鐘，然后用石英蒸餾器蒸餾取100～107℃餾分得到一次蒸餾品88千克，收集一次蒸餾產(chǎn)生的100℃以前的低沸物和107℃以后的重組分；

（3）將收集的二次蒸餾產(chǎn)生的100℃以前的低沸物和107℃以后的重組分各6千克，與一次蒸餾品88千克加入搪瓷反應釜中，再加入2.5千克復合絡合劑B，控制溫度為50℃，在反應釜中攪拌充分反應40分鐘，然后經(jīng)沉積分層取上層清液用0.1微米PVDF過濾器過濾、再在石英蒸餾器中進行蒸餾，取100～107℃餾分得到二次蒸餾品92千克，收集二次蒸餾產(chǎn)生的100℃以前的低沸物和107℃以后的重組分；

（4）將二次蒸餾品經(jīng)石英精餾塔精餾得99.99999％的電子級三氯氧磷85千克，在潔凈環(huán)境為局部百級的包裝環(huán)境下，用高純石英或高純PFA材料制成包裝容器包裝即可。

產(chǎn)品經(jīng)ICP-MS檢測，各項金屬雜質含量：Al＝7.02ppb，Ag＝0.45ppb，As＝4.86ppb，Au＝0.32ppb，Ba＝0.55ppb，Bi＝0.26ppb，Ca＝4.10ppb，Co＝0.12ppb，Cu＝0.63ppb，Cr＝0.15ppb，F(xiàn)e＝7.63ppb，Ga＝0.02ppb，Hg＝2.23ppb，K＝1.32ppb，Li＝3.32ppb，Mg＝4.01ppb，Mn＝0.62ppb，Na＝2.01ppb，Ni＝0.24ppb，Nb＝0.03ppb，Pb＝2.92ppb，Sn＝0.15ppb，Sr＝0.03ppb，Ti＝0.13ppb，Zn＝0.26ppb。

實施例2

《一種純度為99.99999%三氯氧磷的生產(chǎn)方法》包括以下步驟：

（1）復合絡合劑A是將90千克濃度為86％的磷酸、10千克的磷酸二氫銨混合均勻，加熱溶解配制而成；復合絡合劑B是將50千克濃度為86％的磷酸、10千克的磷酸二氫銨、15千克草酸、25千克檸檬酸混合均勻，加熱溶解配制而成；配制復合絡合劑所用磷酸二氫銨、草酸、檸檬酸中的鐵、銅、鉛、砷雜質含量不超過5ppm；使用磷酸符合SEMI C36-0301二級標準要求。

（2）將純度為99.5％的工業(yè)三氯氧磷100千克，加入搪瓷反應釜中，升溫至20℃，開啟搪瓷釜攪拌，緩慢加入4千克復合絡合劑A，保持溫度為40℃的條件下反應40分鐘，然后用石英蒸餾器蒸餾取100～107℃餾分得到一 次蒸餾品89千克，收集一次蒸餾產(chǎn)生的100℃以前的低沸物和107℃以后的重組分；

（3）將收集的二次蒸餾產(chǎn)生的100℃以前的低沸物和107℃以后的重組分各5.5千克，和一次蒸餾品89千克加入搪瓷反應釜中，再加入1千克復合絡合劑B，控制溫度為30℃，在反應釜中攪拌充分反應60分鐘，然后經(jīng)沉積分層取上層清液用0.1微米PVDF過濾器過濾、再在石英蒸餾器中進行蒸餾，取100～107℃餾分得到二次蒸餾品93千克，收集二次蒸餾產(chǎn)生的100℃以前的低沸物和107℃以后的重組分；

（4）將二次蒸餾品經(jīng)石英精餾塔精餾得99.99999％的電子級三氯氧磷85.5千克，在潔凈環(huán)境為局部百級的包裝環(huán)境下，用高純石英或高純PFA材料制成包裝容器包裝即可。

產(chǎn)品經(jīng)ICP-MS檢測，各項金屬雜質含量：Al＝6.54ppb，Ag＝0.65ppb，As＝4.32ppb，Au＝0.42ppb，Ba＝0.46ppb，Bi＝0.27ppb，Ca＝4.80ppb，Co＝0.22ppb，Cu＝0.73ppb，Cr＝0.16ppb，F(xiàn)e＝7.83ppb，Ga＝0.42ppb，Hg＝2.89ppb，K＝1.77ppb，Li＝3.85ppb，Mg＝4.58ppb，Mn＝0.88ppb，Na＝2.53ppb，Ni＝0.28ppb，Nb＝0.21ppb，Pb＝2.82ppb，Sn＝0.16ppb，Sr＝0.24ppb，Ti＝0.13ppb，Zn＝0.66ppb。

實施例3

《一種純度為99.99999%三氯氧磷的生產(chǎn)方法》包括以下步驟：

（1）復合絡合劑A是將70千克濃度為87％的磷酸、30千克的磷酸二氫銨混合均勻，加熱溶解配制而成；復合絡合劑B是將60千克濃度為87％的磷酸、5千克的磷酸二氫銨、25千克草酸、10千克檸檬酸混合均勻，加熱溶解配制而成；配制復合絡合劑所用磷酸二氫銨、草酸、檸檬酸中的鐵、銅、鉛、砷雜質含量不超過5ppm；使用磷酸符合SEMI C36-0301二級標準要求；

（2）將純度為99.5％的工業(yè)三氯氧磷100千克，加入搪瓷反應釜中，升溫至20℃，開啟搪瓷釜攪拌，緩慢加入1千克復合絡合劑A，保持溫度為50℃的條件下反應60分鐘，然后用石英蒸餾器蒸餾取100～107℃餾分得到一次蒸餾品86千克，收集一次蒸餾產(chǎn)生的100℃以前的低沸物和107℃以后的重組分；

（3）將收集的二次蒸餾產(chǎn)生的100℃以前的低沸物和107℃以后的重組分各7千克，和一次蒸餾品86千克加入搪瓷反應釜中，再加入5千克復合絡合劑B，控制溫度為25℃，在反應釜中攪拌充分反應100分鐘，然后經(jīng)沉積分層取上層清液用0.1微米PVDF過濾器過濾、再在石英蒸餾器中進行蒸餾，取100～107℃餾分得到二次蒸餾品95千克，收集二次蒸餾產(chǎn)生的100℃以前的低沸物和107℃以后的重組分；

（4）將二次蒸餾品經(jīng)石英精餾塔精餾得99.99999％的電子級三氯氧磷87.5千克，在潔凈環(huán)境為局部百級的包裝環(huán)境下，用高純石英或高純PFA材料制成包裝容器包裝即可。

產(chǎn)品經(jīng)ICP-MS檢測，各項金屬雜質含量：Al＝7.32ppb，Ag＝0.25ppb，As＝4.55ppb，Au＝0.31ppb，Ba＝0.52ppb，Bi＝0.23ppb，Ca＝3.10ppb，Co＝0.12ppb，Cu＝0.47ppb，Cr＝0.14ppb，F(xiàn)e＝7.58ppb，Ga＝0.14ppb，Hg＝2.33ppb，K＝1.08ppb，Li＝3.58ppb，Mg＝4.24ppb，Mn＝0.52ppb，Na＝2.03ppb，Ni＝0.29ppb，Nb＝0.03ppb，Pb＝2.85ppb，Sn＝0.15ppb，Sr＝0.11ppb，Ti＝0.14ppb，Zn＝0.18ppb。

實施例4

《一種純度為99.99999%三氯氧磷的生產(chǎn)方法》包括以下步驟：

（1）復合絡合劑A是將60千克濃度為85％的磷酸、40千克磷酸二氫銨混合均勻，加熱溶解配制而成；復合絡合劑B是將55千克濃度為85％的磷酸、3千克磷酸二氫銨、20千克草酸、22千克檸檬酸混合均勻，加熱溶解配制而成；配制復合絡合劑所用磷酸二氫銨、草酸、檸檬酸中的鐵、銅、鉛、砷雜質含量不超過5ppm；使用磷酸符合SEMI C36-0301二級標準要求。

（2）將純度為99.5％的工業(yè)三氯氧磷50千克與收集的一次蒸餾產(chǎn)生的100℃以前的低沸物和107℃以后的重組分各25千克，加入搪瓷反應釜中，升溫至20℃，開啟搪瓷釜攪拌，緩慢加入2.5千克復合絡合劑A，保持溫度為40℃的條件下反應60分鐘，然后用石英蒸餾器蒸餾取100～107℃餾分得到一次蒸餾品78千克，收集一次蒸餾產(chǎn)生的100℃以前的低沸物和107℃以后的重組分；

（3）將收集的二次蒸餾產(chǎn)生的100℃以前的低沸物和107℃以后的重組分各11千克，和一次蒸餾品78千克加入搪瓷反應釜中，再加入3千克復合絡合劑B，控制溫度為35℃，在反應釜中攪拌充分反應60分鐘，然后經(jīng)沉積分層取上層清液用0.1微米PVDF過濾器過濾、再在石英蒸餾器中進行蒸餾，取100～107℃餾分得到二次蒸餾品94千克，收集二次蒸餾產(chǎn)生的100℃以前的低沸物和107℃以后的重組分；

（4）將二次蒸餾品經(jīng)石英精餾塔精餾得99.99999％的電子級三氯氧磷86千克，在潔凈環(huán)境為局部百級的包裝環(huán)境下，用高純石英或高純PFA材料制成包裝容器包裝即可。

產(chǎn)品經(jīng)ICP-MS檢測，各項金屬雜質含量：Al＝6.82ppb，Ag＝0.55ppb，As＝4.68ppb，Au＝0.51ppb，Ba＝0.58ppb，Bi＝0.55ppb，Ca＝3.23ppb，Co＝0.13ppb，Cu＝0.78ppb，Cr＝0.45ppb，F(xiàn)e＝7.52ppb，Ga＝0.78ppb，Hg＝2.56ppb，K＝1.99ppb，Li＝3.85ppb，Mg＝4.56ppb，Mn＝0.72ppb，Na＝2.35ppb，Ni＝0.39ppb，Nb＝0.55ppb，Pb＝2.84ppb，Sn＝0.18ppb，Sr＝0.25ppb，Ti＝0.74ppb，Zn＝0.56ppb。

2020年7月14日，《一種純度為99.99999%三氯氧磷的生產(chǎn)方法》獲得第二十一屆中國專利獎優(yōu)秀獎。 2100433B

一種啞光效果的拋釉磚的生產(chǎn)方法專利目的

《一種啞光效果的拋釉磚的生產(chǎn)方法》提供一種啞光效果拋釉磚的生產(chǎn)方法，通過此方法，制備出來的拋釉磚產(chǎn)品具有啞光效果，而且沒有劃痕，耐污效果好。

一種啞光效果的拋釉磚的生產(chǎn)方法技術方案

《一種啞光效果的拋釉磚的生產(chǎn)方法》包括如下工序：原料球磨除鐵；噴霧造粒；布料成型；干燥；施底釉；印花裝飾；施面釉；燒成；拋光；磨邊；其特征在于，在上述拋光工序包括如下步驟：

步驟1）使用彈性磨塊作為拋光磨具拋光；其中所述彈性磨塊的拋光介質為使用樹脂粘結的磨料，所述磨料的細度為100-320目；

步驟2）使用研磨擦作為拋光磨具拋光；其中所述研磨擦上設有用于拋磨的刷毛，所述刷毛是由硬質塑料和磨料構成，所述磨料的細度為150-400目；

步驟3）使用拋光片作為拋光磨具拋光，其中所述拋光片的拋光介質為與纖維結合的磨料，所述磨料的細度為200-600目。

優(yōu)選地，在以上方法中，所述磨料為碳化硅、金剛砂和氧化鎂中的一種或多種組合。以上三種磨料具有很高的硬度，具有良好的拋磨效果。

優(yōu)選地，在以上方法中，所述刷毛的截面直徑為0.5-2毫米。進一步優(yōu)選為0.75-1.2毫米，這樣細度可以較好的修復磚面的劃痕。

優(yōu)選地，在以上方法中，所述樹脂優(yōu)選為高溫樹脂，例如高溫環(huán)氧樹脂或其類似物。高溫樹脂能夠保證在拋磨時的對磨料的粘結強度。

優(yōu)選地，在以上方法中，步驟1）中磨料細度為100-240目；步驟2）中磨料細度為150-240目；步驟3）中磨料細度為240-320目。通過以上組合，可以使拋光后磚面的光澤度為15-35°，實現(xiàn)直入光的漫反射，對空間光環(huán)境進行調節(jié)，有助于營造自然、舒適的空間感覺。

進一步優(yōu)選地，在以上方法中，步驟1）中磨料細度為180-320目；步驟2）中磨料細度為320-400目；步驟3）中磨料細度為320-600目。通過以上組合，可以使拋光后磚面的光澤度為40-50°；在此效果下，除了裝飾效果達到最佳外，磚面的耐污性能也最好。

優(yōu)選地，在以上方法中，在磨邊工序后，還包括防污處理工序。

進一步優(yōu)選，在上述方法中，所述防污處理工序包括如下步驟：

步驟1）使用打蠟機涂上防污蠟；

步驟2）經(jīng)過100-200℃干燥。

其中防污蠟的主要成分包括聚乙烯、珠光粉、石蠟。防污蠟屬于陶瓷產(chǎn)品常用防護劑，可以在市面購買獲得。

一種啞光效果的拋釉磚的生產(chǎn)方法改善效果

《一種啞光效果的拋釉磚的生產(chǎn)方法》提供的方法，通過使用研磨擦和拋光片處理，能夠將磚面在前段拋光工序中產(chǎn)生劃痕很好的去除，從而獲得具有良好耐污效果的啞光拋釉磚產(chǎn)品。

2018年12月20日，《一種啞光效果的拋釉磚的生產(chǎn)方法》獲得第二十屆中國專利優(yōu)秀獎。

《一種啞光效果的拋釉磚的生產(chǎn)方法》屬于一種陶瓷建材技術領域，尤其涉及一種啞光效果的拋釉磚制備方法。