真空工程技術(shù)

第1章稀薄氣體動力論

1.1稀薄氣體在平衡態(tài)下的物理特性

1.1.1氣體定律

1.1.2氣體分子的速率

1.1.3氣體分子之間的碰撞

1.1.4氣體分子自由程及其分布律

1.1.5氣體分子對表面的入射

1.1.6氣體分子從表面的反射

1.2稀薄氣體在非平衡態(tài)下的遷移

1.2.1氣體的動量遷移

1.2.2氣體的能量遷移

1.2.3氣體的質(zhì)量遷移

1.2.4熱流逸現(xiàn)象

1.2.5分子輻射力現(xiàn)象

1.3稀薄氣體的流動

1.3.1流動狀態(tài)及其判別

1.3.2流動參量

1.3.3黏滯流態(tài)的流量"para" label-module="para">

1.3.4分子流態(tài)的流量——克努曾公式

1.3.5過渡流態(tài)的流量

第2章真空中的相變與氣固界面現(xiàn)象

2.1蒸發(fā)和凝結(jié)

2.1.1蒸汽

2.1.2蒸氣壓

2.1.3蒸發(fā)率和凝結(jié)率

2.2吸附

2.2.1吸附機(jī)理

2.2.2吸附參量

2.2.3物理吸附與化學(xué)吸附

2.2.4吸附動力學(xué)

2.2.5吸附等溫線

2.3溶解、擴(kuò)散和滲透

2.3.1氣體在固體中的溶解

2.3.2氣體在固體中的擴(kuò)散與滲透

第3章 真空中的電現(xiàn)象

第2篇 真空工程的基礎(chǔ)元件

第4章 機(jī)械真空泵

第5章 噴射真空泵

第6章 氣體捕集真空泵

第7章 真空閥門

第8章 真空密封

第9章 除塵器和擋油器

第10章 觀察窗和電板導(dǎo)入部件

第11章 真空測量儀器

第3篇 真空工程中常用的真空系統(tǒng)

第12章 常用真空系統(tǒng)的組成與安裝

第13章 真空容器的設(shè)計與計算

第14章 真空系統(tǒng)的設(shè)計與計算

第15章 真空系統(tǒng)的檢漏

第16章 真空冶煉設(shè)備

第17章 真空熱處理設(shè)備

第18章 真空釬焊與燒結(jié)

第19章 真空鍍膜

第20章 真空干燥

第21章 真空壓力浸漬

第22章 真空蒸餾

第23章 真空包裝

第24章 真空輸送

第25章 真空過濾

第26章 空間真空技術(shù)

第27章 真空在核物理裝置中的應(yīng)用

第28章 離子束刻蝕技術(shù)

第29章 真空絕熱與低溫容器和真空玻璃

第5篇 真空工程材料與工藝

第30章 真空材料的性能

第31章 真空工程常用材料

第32章 真空工程中的常用工藝

參考文獻(xiàn)2100433B

本書全面、系統(tǒng)地介紹了真空技術(shù)及其在國民經(jīng)濟(jì)各重要領(lǐng)域的應(yīng)用。內(nèi)容包括真空技術(shù)的物理基礎(chǔ)，各種真空獲得設(shè)備（真空泵），各種真空測量儀器，各種真空閥門，真空密封技術(shù)真空壓力容器的設(shè)計，真空系統(tǒng)的設(shè)計與計算，真空檢漏技術(shù)等。真空工程技術(shù)的主要應(yīng)用包括真空冶煉，真空熱處理，真空釬焊與燒結(jié)，真空鍍膜，真空干燥，真空浸漬，真空蒸餾，真空包裝，真空輸送，真空過濾，空間真空技術(shù)，真空技術(shù)在核工業(yè)中的應(yīng)用，真空絕熱和真空工程材料與工藝等內(nèi)容。

現(xiàn)代許多高精密度的產(chǎn)品在制造過程中的某些階段必需

真空(2張)

使用程度不一的真空才能制造，如半導(dǎo)體、硬盤、鏡片。在實驗室和工廠中制造真空的方法是利用泵在密閉的空間中抽出空氣以達(dá)到某種程度的真空。在真空技術(shù)中按照壓力的高低我們可以區(qū)分為：

粗略真空（Rough Vacuum） 760 ~ 10 Torr

中度真空（Medium Vacuum） 10 ~ Torr

高真空 （High Vacuum）~ Torr

超高真空（Ultra-High Vacuum） Torr以下

真空泵是制造真空的一種機(jī)械，它可以把一個密閉的或半密閉的空間中空氣排出或者吸收，達(dá)到局部空間的相對真空。常見的真空泵有往復(fù)式真空泵、水環(huán)泵、分子泵、旋片式真空泵、活塞式真空泵、搖擺活塞式真空泵、隔膜式真空泵、線性真空泵等種類非常多。