H、D、He等離子體放電,束流密度達(dá)到1022m-1s,離子能量小于150eV。
模擬聚變堆托卡馬克邊界等離子體放電參數(shù),研究等離子體輻照對第一壁材料的輻照損傷效應(yīng)。 2100433B
國內(nèi)外企業(yè)利用低溫等離子體技術(shù)在環(huán)保方面開發(fā)出了“低溫等離子體有機(jī)廢氣凈化設(shè)備”、“低溫等離子體廢水凈化設(shè)備”及“低溫等離子體汽車尾氣凈化技術(shù)”。1、低溫等離子體在保鮮、殺菌、除臭等方面產(chǎn)品開發(fā),目前...
低溫等離子體物理與技術(shù)經(jīng)歷了一個(gè)由60年代初的空間等離子體研究向80年代和90年代以材料為導(dǎo)向研究領(lǐng)域的大轉(zhuǎn)變,高速發(fā)展的微電子科學(xué)、環(huán)境科學(xué)、能源與材料科學(xué)等,為低溫等離子體科學(xué)發(fā)展帶來了新的機(jī)遇和...
等離子體聚合物在結(jié)構(gòu)上與普通的聚合物顯著不同,它能形成含有活性基團(tuán)的高度交聯(lián)的網(wǎng)絡(luò)結(jié)構(gòu),從而具有良好的均勻性及對基質(zhì)的附著性[1,2].有關(guān)采用等離子體聚合膜的TSM傳感器的報(bào)道不多[3,4],本室已...
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針對強(qiáng)流雙潘寧離子源等離子體發(fā)生器電源系統(tǒng)的特殊要求,介紹了燈絲電源和弧電源的組成及其作用,并對其主電路設(shè)計(jì)思路進(jìn)行了相關(guān)的分析。離子源等離子體放電實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,該套等離子體電源系統(tǒng)達(dá)到了設(shè)計(jì)指標(biāo)要求。
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等離子體因其高溫、高導(dǎo)熱特性,對污染物有很高的處理效率,尤其是對難處理污染物及特殊要求污染物。直流拉弧放電是產(chǎn)生熱等離子體的主要方法之一,通過高頻變壓器和電壓電流反饋裝置可得到滿足電弧伏-安特性的直流大電流,由此可通過電弧放電獲得穩(wěn)定高效的等離子體源,在污染煙氣處理等領(lǐng)域有良好的應(yīng)用前景。本文通過利用IGBT逆變技術(shù)來獲得適丁環(huán)保、焊接等應(yīng)用的直流大電流,研制成能產(chǎn)生0~30A電流的直流等離子體發(fā)生器。
直線等離子體裝置(LPD) 主要由:等離子體源(Plasma Generator,用于產(chǎn)生等離子體)、磁約束系統(tǒng)(Magnetic Confinement,用于約束和維持直線等離子體)、真空系統(tǒng)(Vacuum Pumps,用于產(chǎn)生所需真空及真空檢測)、等離子體診斷系統(tǒng)(Diagnostics,用于測量所產(chǎn)生的等離子體參數(shù))、以及電源和其他輔助系統(tǒng)等部分組成。各磁體可獨(dú)立調(diào)整和控制,充分滿足構(gòu)建不同磁場的要求,提供足夠的操控靈活性。 LPD是產(chǎn)生和維持直線段穩(wěn)態(tài)等離子體,可用各種控制和診斷手段研究等離子體的各種輸運(yùn)過程、不穩(wěn)定性和邊界物理等;也可研究等離子體與材料的相互作用的基礎(chǔ)問題,如材料的物。
等離子體密度(螺旋波天線源) 1011~1012cm-3 。(本次要求) 等離子體密度(LaB6離子源) 1012~1013cm-3 。(升級后要求) 束流密度(LaB6離子源,樣品臺中心直徑1 cm內(nèi)) ?1?1022m-2s-1 工作氣壓~0.1Pa時(shí),本底真空度<10-6Pa 輸運(yùn)真空室長度2000mm,真空室內(nèi)徑=300mm 軸向磁場(直徑ф=0.5Φ內(nèi))>2000G,磁場軸向均勻度(中間1m范圍)≈5%,磁場徑向均勻度(直徑ф=0.5Φ內(nèi))≈5% 導(dǎo)線采用水冷銅導(dǎo)線,每線圈采用一根導(dǎo)線繞制而成;線圈內(nèi)徑:Φ?410mm 束流密度(LaB6離子源,樣品臺中心直徑1 cm內(nèi)) ?1?1022m-2s-1 LaB6等離子體源采用鎢絲加熱元件,低壓電流≈100A,加熱時(shí)LaB6陰極溫度需至1600°C左右,充入工作氣體到0.1?1Pa時(shí),陰極與周圍陽極間發(fā)生電弧放電產(chǎn)生等離子體,弧電壓小于100V,電流安培量級 線圈用電源10臺,每臺10KW。 射頻螺旋波天線電源一臺,功率500?3000W可調(diào)。 樣品臺電源1臺(300V,1A)。
如果環(huán)境溫度較低,等離子體能夠通過輻射和熱傳導(dǎo)等方式向壁面?zhèn)鬟f能量,因此,要在實(shí)驗(yàn)室內(nèi)保持等離子體狀態(tài),發(fā)生器供給的能量必須大于等離子體損失的能量。不少人工產(chǎn)生等離子體的方法(如爆炸法、激波法等)產(chǎn)生的等離子體狀態(tài)只能持續(xù)很短時(shí)間(10~10秒左右),而有工業(yè)應(yīng)用價(jià)值的等離子體狀態(tài)則要維持較長時(shí)間(幾分鐘至幾十小時(shí))。能產(chǎn)生后一種等離子體的方法主要有:直流弧光放電法、交流工頻放電法、高頻感應(yīng)放電法、低氣壓放電法(例如輝光放電法)和燃燒法。前四種放電都用電學(xué)手段獲得,而燃燒則利用化學(xué)手段獲得。
等離子體發(fā)生器的放電原理:利用外加電場或高頻感應(yīng)電場使氣體導(dǎo)電,稱為氣體放電。氣體放電是產(chǎn)生等離子體的重要手段之一。被外加電場加速的部分電離氣體中的電子與中性分子碰撞,把從電場得到的能量傳給氣體。電子與中性分子的彈性碰撞導(dǎo)致分子動能增加,表現(xiàn)為溫度升高;而非彈性碰撞則導(dǎo)致激發(fā)(分子或原子中的電子由低能級躍遷到高能級)、離解(分子分解為原子)或電離(分子或原子的外層電子由束縛態(tài)變?yōu)樽杂呻娮樱?。高溫氣體通過傳導(dǎo)、對流和輻射把能量傳給周圍環(huán)境,在定常條件下,給定容積中的輸入能量和損失能量相等。電子和重粒子(離子、分子和原子)間能量傳遞的速率與碰撞頻率(單位時(shí)間內(nèi)碰撞的次數(shù))成正比。在稠密氣體中,碰撞頻繁,兩類粒子的平均動能(即溫度)很容易達(dá)到平衡,因此電子溫度和氣體溫度大致相等,這是氣壓在一個(gè)大氣壓以上時(shí)的通常情況,一般稱為熱等離子體或平衡等離子體。在低氣壓條件下,碰撞很少,電子從電場得到的能量不容易傳給重粒子,此時(shí)電子溫度高于氣體溫度,通常稱為冷等離子體或非平衡等離子體。兩類等離子體各有特點(diǎn)和用途(見等離子體的工業(yè)應(yīng)用)。氣體放電分為直流放電和交流放電。