MEMS壓力傳感器簡(jiǎn)介

MEMS壓力傳感器是具有電源、接口電路、執(zhí)行器、微型傳感器和信號(hào)處理的微型的機(jī)電系統(tǒng)。它可以使用在制作工藝和電路設(shè)計(jì)上，低成本而高精度地進(jìn)行大量的生產(chǎn)。其實(shí)傳統(tǒng)的壓力傳感器是在當(dāng)金屬?gòu)椥泽w受到外力的作用而導(dǎo)致變形的時(shí)候，經(jīng)過(guò)機(jī)械量的彈性的變形，然后待電量轉(zhuǎn)換之后再輸出，因此，MEMS壓力傳感器的優(yōu)越性有很多，尺寸很小，性?xún)r(jià)比很高。它主要分為兩種：硅電容式和硅壓阻式。

據(jù)麥姆斯咨詢(xún)介紹，測(cè)量?jī)x器的價(jià)值由其準(zhǔn)確性決定。壓力傳感器也算是一種測(cè)量“儀器”，在汽車(chē)、醫(yī)療保健、工業(yè)中得到廣泛應(yīng)用。在這些應(yīng)用中，保證壓力傳感器的準(zhǔn)確性對(duì)確保質(zhì)量控制、保證病人生命安全來(lái)講至關(guān)重要。

壓阻式壓力傳感器，具有快速響應(yīng)、堅(jiān)固耐用、量程范圍寬、溫度變化對(duì)壓力輸出影響小、準(zhǔn)確度高等優(yōu)點(diǎn)，成為了當(dāng)下測(cè)量?jī)x器的流行選擇。但是，只要傳感器出現(xiàn)了均勻性問(wèn)題、與溫度相關(guān)的誤差，那么就需進(jìn)行校正或補(bǔ)償。

壓力傳感器的補(bǔ)償方法有兩種：主動(dòng)式補(bǔ)償和被動(dòng)式補(bǔ)償。被動(dòng)式補(bǔ)償是通過(guò)在電阻的制造過(guò)程中對(duì)其進(jìn)行修正完成，適用于工作在溫度變化小的環(huán)境下的壓力傳感器。對(duì)于溫度變化較大的環(huán)境，通過(guò)采用板載電路或微控制器來(lái)進(jìn)行主動(dòng)式補(bǔ)償。

這時(shí)，壓力傳感器周?chē)h(huán)境的溫度也需要通過(guò)溫度傳感器進(jìn)行定期測(cè)量。再安裝到板載電路上，以校正與溫度相關(guān)的誤差（也稱(chēng)為偏移量誤差，英文：offset）。這樣確保了壓力傳感器的溫度誤差接近于零，工作量程更寬，質(zhì)量更佳。

壓力傳感器的校準(zhǔn)方法該如何選擇？

壓力傳感器的校準(zhǔn)方法有兩種：（1）客戶(hù)自己對(duì)生產(chǎn)線中使用的壓力傳感器進(jìn)行校準(zhǔn)；（2）壓力傳感器制造商進(jìn)行充分的補(bǔ)償，將預(yù)先校準(zhǔn)過(guò)的傳感器交由客戶(hù)進(jìn)行后續(xù)的集成。

客戶(hù)希望自己完成校準(zhǔn)的緣由有很多。原因之一是客戶(hù)在最終成品中已安裝了微控制器，這種情況下，主動(dòng)式校準(zhǔn)可以通過(guò)微控制器完成。

客戶(hù)采用的傳感器封裝或組裝工序可能會(huì)將大量應(yīng)力施加于壓力傳感器上。當(dāng)這種情況發(fā)生時(shí)，已經(jīng)校準(zhǔn)的壓力傳感器將因受到封裝工序的應(yīng)力而產(chǎn)生額外的壓力顯示。增加的壓力將產(chǎn)生新的零點(diǎn)。

客戶(hù)自己做校準(zhǔn)的缺點(diǎn)是在線校準(zhǔn)很難執(zhí)行，并且它可能是高度破壞性的。購(gòu)買(mǎi)已經(jīng)校準(zhǔn)過(guò)的傳感器要比在線校準(zhǔn)所花費(fèi)的專(zhuān)業(yè)設(shè)備和經(jīng)驗(yàn)成本要低一些。最致命的缺點(diǎn)是客戶(hù)自己做校準(zhǔn)會(huì)浪費(fèi)很多時(shí)間。因?yàn)槊款w傳感器都需要單獨(dú)校準(zhǔn)，不可能進(jìn)行批量校準(zhǔn)。此外，校準(zhǔn)所需的溫度范圍意味著設(shè)備需要很長(zhǎng)的時(shí)間才能達(dá)到所需的溫度極限。

從如Merit Sensor之類(lèi)的制造商購(gòu)買(mǎi)完全補(bǔ)償?shù)膲毫鞲衅?，價(jià)格比未做補(bǔ)償?shù)膫鞲衅髻F一些。但是，重要的是要權(quán)衡各方面因素，時(shí)間就是金錢(qián)，如果花費(fèi)太多時(shí)間在校準(zhǔn)上，購(gòu)買(mǎi)已經(jīng)完全補(bǔ)償?shù)膲毫鞲衅骰蛘呖梢院?jiǎn)單地插入使用的校準(zhǔn)元器件則不失為一種不錯(cuò)的選擇！

這對(duì)于那些希望得到高產(chǎn)出的公司來(lái)說(shuō)是理想的選擇，尤其是那些沒(méi)有設(shè)備、專(zhuān)業(yè)技能和流程來(lái)保證在線校準(zhǔn)的公司。通常來(lái)講，壓力傳感器制造商有專(zhuān)業(yè)校準(zhǔn)人員、工具和專(zhuān)業(yè)知識(shí)來(lái)完成校準(zhǔn)。

Merit Sensor提供的定制化解決方案

LP系列是Merit Sensor公司為超低壓力應(yīng)用提供的壓力傳感器，涉及各種量程范圍。這種類(lèi)型的傳感器很適合用于如持續(xù)氣道正壓通氣（CPAP）機(jī)的應(yīng)用，因?yàn)樵撓盗羞m合使用非腐蝕性氣體。LP系列提供了預(yù)校準(zhǔn)的選項(xiàng)，這意味著壓力傳感器可立即用于醫(yī)療使用。也同樣適用于工業(yè)應(yīng)用，以及醫(yī)療保健應(yīng)用的空氣過(guò)濾系統(tǒng)和肺活量測(cè)量。

Merit Sensor推出的PMD系列適用于中低壓力的應(yīng)用。PMD系列適用于空氣和其他非腐蝕性液體。該系列還能夠測(cè)量差壓、絕對(duì)壓力和真空度。PMD系列是打印機(jī)中油墨液位最理想的壓力傳感器選擇，可工作在0.34~3.5大氣壓力范圍內(nèi)。在這項(xiàng)應(yīng)用中，因?yàn)槭褂昧送獠课⑻幚砥?，校?zhǔn)快速且直接。無(wú)補(bǔ)償?shù)腜MD系列也是非常受歡迎的產(chǎn)品。

TVC系列適用于如高溫燃油等嚴(yán)苛的介質(zhì)環(huán)境。該系列的介質(zhì)電阻高，是汽車(chē)行業(yè)的最佳選擇。器件采用徑向密封，有助于模塊級(jí)的集成，以最小限度地引入應(yīng)力。

完全補(bǔ)償?shù)膫鞲衅黝H受汽車(chē)應(yīng)用的歡迎，因?yàn)槠鋵⒑臅r(shí)、超出的溫度范圍的校準(zhǔn)集成到生產(chǎn)過(guò)程中，汽車(chē)行業(yè)的客戶(hù)可不受這些問(wèn)題的困擾。

在過(guò)去的25年中，Merit Sensor在壓阻式壓力傳感器領(lǐng)域積累了豐富的經(jīng)驗(yàn)。需要用壓力傳感器的客戶(hù)，不妨選擇Merit Sensor的產(chǎn)品。Merit Sensor為各種各樣的應(yīng)用提供標(biāo)準(zhǔn)和定制化的解決方案。Merit Sensor還可以提供未補(bǔ)償?shù)摹⒈粍?dòng)式補(bǔ)償?shù)脑骷?，供溫度范圍變化較小的應(yīng)用；以及完全補(bǔ)償?shù)脑骷囟确秶兓^大的應(yīng)用。

如果客戶(hù)無(wú)法確定哪種解決方案是最合適的，那么Merit Sensor可以提供幫助。Merit Sensor會(huì)為客戶(hù)提供時(shí)間、人員和培訓(xùn)支持，以找到靈活和創(chuàng)新的解決方案，幫助客戶(hù)將產(chǎn)品成功推進(jìn)市場(chǎng)。

首個(gè)垂直實(shí)效的互聯(lián)網(wǎng)+傳感器行業(yè)平臺(tái)，為全球范圍內(nèi)的行業(yè)客戶(hù)提供專(zhuān)業(yè)傳感器選型及購(gòu)買(mǎi)服務(wù)！找傳感器，上必優(yōu)網(wǎng)http://www.buysensor.com/。文章侵刪！