CMOS芯片半自動(dòng)探針臺(tái)技術(shù)指標(biāo)

2.1 探針臺(tái)（針座，探針等），1套 1) 手動(dòng)探針臺(tái)，寬大的測(cè)試空間，能對(duì)晶圓、芯片及單器件進(jìn)行IV/CV及S參數(shù)測(cè)試 2) 載片臺(tái)直徑：6英寸，平坦度：±5um 3) 載片臺(tái)整體采用氣浮移動(dòng)方式，快速移動(dòng)范圍：185×235 mm，可單手控制自由移動(dòng)，包含鎖死裝置，千分尺精細(xì)調(diào)節(jié)方式，調(diào)節(jié)范圍：25×25mm 4) 載片臺(tái)快速旋轉(zhuǎn)角度：360°，精細(xì)調(diào)節(jié)范圍：±5° 5) 載片臺(tái)具備兩個(gè)獨(dú)立的附加載臺(tái)，陶瓷吸波材料制作，可用于吸附射頻校準(zhǔn)片 6) 載片臺(tái)采用完全獨(dú)立的真空孔吸附，真空孔直徑0.5um；可分區(qū)吸附樣品，并具備各分區(qū)獨(dú)立真空控制開關(guān) 7) 平臺(tái)包含三擋抬升方式，包括接觸位（0）、分離位（300μm）和裝載位（3mm），且有相應(yīng)阻尼緩沖設(shè)計(jì) 8) 平臺(tái)高度可調(diào)整范圍25mm；平臺(tái)大小可同時(shí)容納10個(gè)直流針座或者4個(gè)射頻針座。 9) 搭配筒式顯微鏡，可后仰90度抬頭，增大平臺(tái)可操作空間 10) 顯微鏡系統(tǒng)的最大放大倍率400倍，可連續(xù)變焦 11) 顯微鏡XY方向移動(dòng)范圍：50 x 50 mm 12) 顯示器尺寸：21吋 13) 4套射頻針座，精確度±2μm，重復(fù)性±2μm。

探針測(cè)試。

探針臺(tái)分類

探針臺(tái)從操作上來(lái)區(qū)分有：手動(dòng)，半自動(dòng)，全自動(dòng)

從功能上來(lái)區(qū)分有：溫控探針臺(tái)，真空探針臺(tái)（超低溫探針臺(tái)），RF探針臺(tái)，LCD平板探針臺(tái)，霍爾效應(yīng)探針臺(tái)，表面電阻率探針臺(tái)

經(jīng)濟(jì)手動(dòng)型

根據(jù)客戶需求定制

chuck尺寸：4"*4" 6"*6" 8"*8" 12"*12" (可選）

X-Y移動(dòng)行程：4"*4" 6"*6" 8"*8" 12"*12"(可選）

chuck Z軸方向升降10mm（選項(xiàng)）方便探針與樣品快速分離

顯微鏡：金相顯微鏡、體式顯微鏡、單筒顯微鏡（可選）

顯微鏡移動(dòng)方式：立柱環(huán)繞型、移動(dòng)平臺(tái)型、龍門結(jié)構(gòu)型（可選）

探針座：有0.7um、2um、10um精度可選，磁性吸附帶磁力開關(guān)

可搭配Probe card測(cè)試

適用領(lǐng)域：晶圓廠、研究所、高校等

半自動(dòng)型

chuck尺寸800mm/600mm

X,Y電動(dòng)移動(dòng)行程200mm/150mm

chuck粗調(diào)升降9mm，微調(diào)升降16mm

可搭配MITUTOYO金相顯微鏡或者AEC實(shí)體顯微鏡

針座擺放個(gè)數(shù)6～8顆

顯微鏡X-Y-Z移動(dòng)范圍2"x2"x2"

可搭配Probe card測(cè)試

適用領(lǐng)域：8寸/6寸Wafer、IC測(cè)試之產(chǎn)品

電動(dòng)型

chuck尺寸1200mm，平坦度土1u（不銹鋼或鍍金）

X,Y電動(dòng)移動(dòng)行程300mm x 300mm

chuck粗調(diào)升降9mm，微調(diào)升降16mm，微調(diào)精度土1u

可搭配MITUTOYO晶像顯微鏡或者AEC實(shí)體顯微鏡

針座擺放個(gè)數(shù)8～12顆

顯微鏡X-Y-Z移動(dòng)范圍2“x2”x2“

材質(zhì)：花崗巖臺(tái)面 不銹鋼

可搭配Probe card測(cè)試

適用領(lǐng)域：12寸Wafer、IC測(cè)試之產(chǎn)品

LCD半自動(dòng)探針臺(tái)

機(jī)械手臂取放片

電動(dòng)、鍵入坐標(biāo)尋位置

量測(cè)尺寸（mm）：1800x1600、1300x1200、1200x1000

LCD手動(dòng)探針臺(tái)

白熾燈或者LED整面背光

TFT元件特性、Driver IC量測(cè)分析

機(jī)臺(tái)尺寸（mm）：800x600、500x400、300x300

PCB量測(cè)探針臺(tái)（TDR）

高頻測(cè)試探頭GSG / GS / SG

頻率10GHZ / 40GHZ / 50GHZ / 67GHZ

機(jī)臺(tái)尺寸同LCD 探針臺(tái)

太陽(yáng)能產(chǎn)業(yè)探針臺(tái)（Solar Cell 量測(cè)系統(tǒng)）

量測(cè)軟體:

I-V /C-V Curve, Isc, Voc,

Pmax, Imax, Vmax, RS, Fill Factor,

Power Convert Efficiency

采用KEITHLEY Source Meter

可加配任意品牌之太陽(yáng)光模擬器