等離子一體刻蝕機(jī)基本信息

中文名 等離子一體刻蝕機(jī) 產(chǎn)????地 美國(guó)
學(xué)科領(lǐng)域 信息科學(xué)與系統(tǒng)科學(xué) 啟用日期 2015年1月13日
所屬類別 工藝試驗(yàn)儀器 > 電子工藝實(shí)驗(yàn)設(shè)備 > 電路板制造工藝實(shí)驗(yàn)設(shè)備

薄膜刻蝕。 2100433B

等離子一體刻蝕機(jī)造價(jià)信息

市場(chǎng)價(jià) 信息價(jià) 詢價(jià)
材料名稱 規(guī)格/型號(hào) 市場(chǎng)價(jià)
（除稅）		 工程建議價(jià)
（除稅）		 行情 品牌 單位 稅率 供應(yīng)商 報(bào)價(jià)日期
二三頭一體機(jī) 119cm×89cm×135cm 查看價(jià)格 查看價(jià)格

達(dá)創(chuàng)

 件 13% 河北達(dá)創(chuàng)體育器材有限公司
大腿內(nèi)外翻一體機(jī) 3.0mm 查看價(jià)格 查看價(jià)格

達(dá)創(chuàng)

 件 13% 河北達(dá)創(chuàng)體育器材有限公司
倒蹬斜蹲一體機(jī) 2170×1610×1260 查看價(jià)格 查看價(jià)格

180

 件 13% 河北達(dá)創(chuàng)體育器材有限公司
坐式伸腿曲腿一體機(jī) 151x106x162 查看價(jià)格 查看價(jià)格

240

 件 13% 河北達(dá)創(chuàng)體育器材有限公司
空氣凈化消殺一體機(jī) FX-J010電子凈化箱、442×417×242mm 查看價(jià)格 查看價(jià)格

綠粵

 臺(tái) 13% 深圳市綠粵生態(tài)科技有限公司
空氣凈化消殺一體機(jī) FX-J030電子凈化箱、608×440×665.8mm 查看價(jià)格 查看價(jià)格

綠粵

 臺(tái) 13% 深圳市綠粵生態(tài)科技有限公司
等離子配件 P80參數(shù):電噴機(jī)用;種類:焊割配件; 查看價(jià)格 查看價(jià)格

得瑞

 套 13% 濟(jì)南萬(wàn)林機(jī)械設(shè)備有限公司
等離子配件 P80參數(shù):保分;種類:焊割配件; 查看價(jià)格 查看價(jià)格

得瑞

 套 13% 濟(jì)南萬(wàn)林機(jī)械設(shè)備有限公司
材料名稱 規(guī)格/型號(hào) 除稅
信息價(jià)		 含稅
信息價(jià)		 行情 品牌 單位 稅率 地區(qū)/時(shí)間
紅外高清球機(jī) 查看價(jià)格 查看價(jià)格

臺(tái) 廣東2021年4季度信息價(jià)
紅外高清球機(jī) 查看價(jià)格 查看價(jià)格

臺(tái) 廣東2021年3季度信息價(jià)
紅外高清球機(jī) 查看價(jià)格 查看價(jià)格

臺(tái) 廣東2020年2季度信息價(jià)
紅外高清球機(jī) 查看價(jià)格 查看價(jià)格

臺(tái) 廣東2020年1季度信息價(jià)
紅外高清球機(jī) 查看價(jià)格 查看價(jià)格

臺(tái) 廣東2022年3季度信息價(jià)
紅外高清球機(jī) 查看價(jià)格 查看價(jià)格

臺(tái) 廣東2022年2季度信息價(jià)
紅外高清球機(jī) 查看價(jià)格 查看價(jià)格

臺(tái) 廣東2021年2季度信息價(jià)
紅外高清球機(jī) 查看價(jià)格 查看價(jià)格

臺(tái) 廣東2020年4季度信息價(jià)
材料名稱 規(guī)格/需求量 報(bào)價(jià)數(shù) 最新報(bào)價(jià)
（元）		 供應(yīng)商 報(bào)價(jià)地區(qū) 最新報(bào)價(jià)時(shí)間
UV光氧+等離子一體機(jī) (1)型式:臥式(2)設(shè)置場(chǎng)所:室內(nèi)外皆可放置(3)本體設(shè)計(jì)耐壓:800mmAq(4)主體材質(zhì):Q235B×2T(5)本體尺寸(mm)L3000×W1400×H1400mm(6)雙波段燈管:32組燈管(7)前置粉塵過(guò)濾器(8)等離子模塊2組|4臺(tái) 1 查看價(jià)格 河北博森環(huán)保設(shè)備有限公司 全國(guó)   2019-06-19
等離子UV一體機(jī) 型號(hào):ZZSWT-200規(guī)格:2470×1200×1800(mm)材質(zhì):不銹鋼304水泵功率:3(KW)處理風(fēng)量:20000(m3/h)進(jìn)出風(fēng)口尺寸:Ф800(mm)20組紫外線光氧發(fā)生器,20等離子管,組4組控制箱,兩組空氣均風(fēng)凈化器(一組空氣均風(fēng)過(guò)濾,二氧化鈦光觸媒)|1臺(tái) 1 查看價(jià)格 一體化光等離子發(fā)生裝置 1.電器特性:單相 / 220V / 50Hz2.安裝方式:離子發(fā)生器箱體3.凈化成分及效率:(1)氨 、硫化氫、甲硫醇、甲硫醚等有毒有害氣體≥80%;(2)臭氣、異味≥90%;(3)苯、甲醛、多環(huán)|1臺(tái) 1 查看價(jià)格 一體化光等離子發(fā)生裝置 1.電器特性:單相 / 220V / 50Hz2.安裝方式:離子發(fā)生器箱體3.凈化成分及效率:(1)氨 、硫化氫、甲硫醇、甲硫醚等有毒有害氣體≥80%;(2)臭氣、異味≥90%;(3)苯、甲醛、多環(huán)|1臺(tái) 1 查看價(jià)格 一體機(jī) HPMFPM775DN,A3彩色多功能一體機(jī),打印/復(fù)印/掃描/數(shù)字發(fā)送一體機(jī)|1臺(tái) 1 查看價(jià)格 廣州忠泰辦公設(shè)備有限公司    2015-06-05
道閘一體機(jī) 道閘一體機(jī)|4套 1 查看價(jià)格 深圳達(dá)實(shí)智能股份有限公司 廣東   2022-06-09
智能交互一體機(jī) 智能交互一體機(jī)|2臺(tái) 1 查看價(jià)格 廣州市保倫電子有限公司 全國(guó)   2019-11-26
打印、復(fù)印一體機(jī) 惠普1005一體機(jī)|1臺(tái) 3 查看價(jià)格 廣州市熹尚科技設(shè)備有限公司 廣西  賀州市 2021-08-04

可刻蝕各種尺寸形狀的樣品， 最大面積達(dá)1000 cm2。

等離子一體刻蝕機(jī)常見(jiàn)問(wèn)題

  • 什么是等離子體膜

    等離子體聚合物在結(jié)構(gòu)上與普通的聚合物顯著不同，它能形成含有活性基團(tuán)的高度交聯(lián)的網(wǎng)絡(luò)結(jié)構(gòu)，從而具有良好的均勻性及對(duì)基質(zhì)的附著性［1，2］．有關(guān)采用等離子體聚合膜的TSM傳感器的報(bào)道不多［3，4］，本室已...

  • 問(wèn)下如何產(chǎn)生等離子體

    等離子體又叫做“電漿”，是由部分電子被剝奪后的原子及原子被電離后產(chǎn)生的正負(fù)電子組成的離子化氣體狀物質(zhì) 在人工生成等離子體的方法中，氣體放電法比加熱的辦法更加簡(jiǎn)便高效，如熒光燈、霓虹燈、電弧焊、電暈放電...

  • 低溫等離子體和熱等離子體有什么區(qū)別 ？

    低溫等離子體：適合的應(yīng)用材料的表面清洗活化焊接，油漆，打印，密封，起泡，涂覆及硅化前表面活化處理。氣體裂解和高效滅菌加速化學(xué)反應(yīng)產(chǎn)品特點(diǎn)：突破低氣壓限制，可在大氣壓下引發(fā)等離子體；可對(duì)材料連續(xù)在線處理...

等離子一體刻蝕機(jī)文獻(xiàn)

等離子體刻蝕過(guò)程中有害氣體凈化的原理和方法 等離子體刻蝕過(guò)程中有害氣體凈化的原理和方法

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評(píng)分： 3

等離子體刻蝕過(guò)程中有害氣體凈化的原理和方法——敘述了等離子體刻蝕過(guò)程中產(chǎn)生的有害氣體以及處理這些有害氣體的原理和方法。對(duì)燃燒分解、化學(xué)中和、 薄膜吸氣、等離子體凈化及脈沖電暈放電等作了簡(jiǎn)要的概述。指出等離子體凈化和脈沖電暈放電是凈化有害氣體的...

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TEGAL421等離子刻蝕機(jī)射頻電源的維修及調(diào)整 TEGAL421等離子刻蝕機(jī)射頻電源的維修及調(diào)整

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TEGAL421 等離子刻蝕機(jī)射頻電源的維 修及調(diào)整 TEGAL421 等離子刻蝕機(jī)射頻電源的電路圖如下： 各部分電路的作用， DC Power Supply Board 板是一塊電源板提供射頻源 工作所需的各路電源，包括電子管工作的高低壓。 OSICLACTOR Board 板提供 射頻源的激勵(lì)信號(hào)， Q1是震蕩管，Q4是推動(dòng)管，Q3,Q2組成脈寬功率調(diào)節(jié)電路。 V1和 V2是兩個(gè)輸出電子管，提供所需的射頻功率。其中 Lv 是低壓變壓器，機(jī) 器一通電，該變壓器就被通電。而 BV 是高壓變壓器，只有在需要射頻輸出時(shí)才 被通電。 Power Coupler 是入射功率和反射功率檢測(cè)模塊。主機(jī)背面的電位器 R5 和 R6 用于矯正入射和反射功率的偏差。 Test Port 測(cè)試端口用于檢測(cè)射頻電 源的工作參數(shù)。 射頻電源的調(diào)整 射頻電源調(diào)整的步驟如下： 1. 關(guān)閉交流電源。 2. 移除射頻電源

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等離子刻蝕機(jī)濕法刻蝕相對(duì)于等離子刻蝕的缺點(diǎn)

1. 硅片水平運(yùn)行，機(jī)片高(等離子刻蝕去PSG槽式浸泡甩干，硅片受沖擊小);

2. 下料吸筆易污染硅片(等離子刻蝕去PSG后甩干);

3. 傳動(dòng)滾抽易變形(PVDF，PP材質(zhì)且水平放置易變形);

4. 成本高(化學(xué)品刻蝕代替等離子刻蝕成本增加)。

此外，有些等離子刻蝕機(jī)，如SCE等離子刻蝕機(jī)還具備"綠色"優(yōu)勢(shì):無(wú)氟氯化碳和污水、操作和環(huán)境安全、排除有毒和腐蝕性的液體。SCE等離子刻蝕機(jī)支持以下四種平面等離子體處理模式:

直接模式--基片可以直接放置在電極托架或是底座托架上，以獲得最大的平面刻蝕效果。

定向模式--需要非等向性刻蝕(anisotropic etching)的基片可以放置在特制的平面托架上。

下游模式--基片可以放置在不帶電托架上，以便取得微小的等離子體效果。

定制模式--當(dāng)平面刻蝕配置不過(guò)理想時(shí)，特制的電極配置可以提供。

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1、 硅片水平運(yùn)行，機(jī)片高（等離子刻蝕去PSG槽式浸泡甩干，硅片受沖擊小）；

2、下料吸筆易污染硅片（等離子刻蝕去PSG后甩干）；

3、傳動(dòng)滾軸易變形（PVDF，PP材質(zhì)且水平放置易變形）；

4、成本高（化學(xué)品刻蝕代替等離子刻蝕成本增加）。

此外，有些等離子刻蝕機(jī)，如SCE等離子刻蝕機(jī)還具備“綠色”優(yōu)勢(shì)：無(wú)氟氯化碳和污水、操作和環(huán)境安全、排除有毒和腐蝕性的液體。SCE等離子刻蝕機(jī)支持以下四種平面等離子體處理模式：

直接模式——基片可以直接放置在電極托架或是底座托架上，以獲得最大的平面刻蝕效果。

定向模式——需要非等向性刻蝕（anisotropic etching）的基片可以放置在特制的平面托架上。

下游模式——基片可以放置在不帶電托架上，以便取得微小的等離子體效果。

定制模式——當(dāng)平面刻蝕配置不過(guò)理想時(shí)，特制的電極配置可以提供。

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等離子刻蝕機(jī)的組成一般包括等離子發(fā)生器(工業(yè)上常用RF激發(fā)法)，真空室，和電極。

其工作原理是用等離子體中的自由基(radical)去轟擊(bombard)或?yàn)R射(sputter)被刻蝕材料的表面分子，形成易揮發(fā)物質(zhì)，從而實(shí)現(xiàn)刻蝕的目的。也有部分等離子刻蝕機(jī)采用反應(yīng)離子刻蝕技術(shù)(Reactive Ion Etching)。

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