電子工業(yè)超純水設(shè)備

1.新工藝一

原水(設(shè)有壓力保護(hù))→增壓泵(一用一備)→砂過濾器→炭過濾器→硬化器(根據(jù)地區(qū)不合選用)→緊密過濾器(或稱保安過濾器)→兩頭水箱→RO前水泵→緊密過濾器(或稱保安過濾器)→RO高壓泵→RO反滲透零碎→RO水箱→RO水增壓泵→混床→終端緊密過濾→設(shè)備用水(水質(zhì)可以達(dá)到16MΩ.cm以上即0.06 μs/ ㎝以下,25 ℃)

2.新工藝二

原水(設(shè)有壓力保護(hù))→增壓泵(一用一備)→砂過濾器→炭過濾器→硬化器(根據(jù)地區(qū)不合選用)→緊密過濾器(或稱保安過濾器)→兩頭水箱→RO前水泵→緊密過濾器(或稱保安過濾器)→RO高壓泵→RO反滲透零碎→RO水箱→RO水增壓泵→淺顯混床→拋光混床→終端緊密過濾→設(shè)備用水

4.新工藝三

原水(設(shè)有壓力保護(hù))→增壓泵(一用一備)→砂過濾器→炭過濾器→硬化器(根據(jù)地區(qū)不合選用)→緊密過濾器(或稱保安過濾器)→兩頭水箱→RO前水泵→緊密過濾器(或稱保安過濾器)→RO高壓泵→RO反滲透零碎→RO水箱→RO水增壓泵→EDI電去離子(又稱填充床電滲析EDI/CDI)主機(jī)→終端緊密過濾→UV紫外線殺菌→設(shè)備用水

5.新工藝四

原水(設(shè)有壓力保護(hù))→增壓泵(一用一備)→砂過濾器→炭過濾器→硬化器(根據(jù)地區(qū)不合選用)→緊密過濾器(或稱保安過濾器)→兩頭水箱→RO前水泵→緊密過濾器(或稱保安過濾器)→RO高壓泵→RO反滲透零碎→RO水箱→RO水增壓泵→EDI電去離子(又稱填充床電滲析EDI/CDI)主機(jī)→去離子水(指除去了呈離子方式雜質(zhì)后的純水)箱→去離子水(指除去了呈離子方式雜質(zhì)后的純水)泵→拋光混床→終端緊密過濾→UV紫外線殺菌→設(shè)備用水

5.新工藝五

原水(設(shè)有壓力保護(hù))→增壓泵(一用一備)→砂過濾器→炭過濾器→硬化器(根據(jù)地區(qū)不合選用)→緊密過濾器(或稱保安過濾器)→兩頭水箱→一級RO高壓泵→一級RO反滲透零碎→RO水箱→二級RO高壓泵→二級RO水箱→增壓泵→EDI(CEDI)電去離子水(指除去了呈離子方式雜質(zhì)后的純水)主機(jī)→去離子水(指除去了呈離子方式雜質(zhì)后的純水)箱→去離子水(指除去了呈離子方式雜質(zhì)后的純水)泵→拋光混床→終端緊密過濾→UV紫外線殺菌→設(shè)備用水

電子超純水設(shè)備的工藝基本上是以上三種，其余的工藝流程大都是在以上三種基本工藝流程的基礎(chǔ)上進(jìn)行不同組合搭配衍生而來。現(xiàn)將他們的優(yōu)缺點(diǎn)分別列于下面:

第一種采用傳統(tǒng)的離子交換樹脂其優(yōu)點(diǎn)在于初次投資少，占用的地方少，但缺點(diǎn)就是需要經(jīng)常進(jìn)行離子再生，耗費(fèi)大量酸堿，而且對環(huán)境有一定的破壞。

第二種采用反滲透+離子交換設(shè)備，其特點(diǎn)為初次投資比采用離子交換樹脂方式要稍高，但離子再生周期相對要長，耗費(fèi)的酸堿比單純采用離子樹脂的方式要少很多。是比較經(jīng)濟(jì)與流行的一種工藝。

第三種采用反滲透作預(yù)處理再配上電去離子裝置，這是目前制取超純水最先進(jìn)，最環(huán)保的的工藝，不需要用酸堿進(jìn)行再生便可連續(xù)制取超純水，對環(huán)境沒什么破壞性。其缺點(diǎn)在于初次投資相對以上兩種方式過于昂貴。

電子工業(yè)用超純水edi設(shè)備的應(yīng)用領(lǐng)域

1、半導(dǎo)體材料、器件、印刷電路板和集成電路成品、半成品用超純水;

2、超純材料和超純化學(xué)試劑勾兌用超純水;

3、實(shí)驗(yàn)室和中試車間用超純水;

4、汽車、家電表面拋光處理;

5、光電子產(chǎn)品;

6、其他高科技精微產(chǎn)品;

電子工業(yè)制備超純水的工藝大致分成以下3種:

1、采用離子交換樹脂制備電子工業(yè)超純水的傳統(tǒng)水處理方式，其基本工藝流程為:原水→多介質(zhì)過濾器→活性炭過濾器→精密過濾器→中間水箱→陽床→陰床→混床(復(fù)床)→超純水箱→超純水泵→后置保安過濾器→用水點(diǎn)。

2、采用反滲透水處理設(shè)備與離子交換設(shè)備進(jìn)行組合制備電子工業(yè)超純水的方式，其基本工藝流程為:原水→多介質(zhì)過濾器→活性炭過濾器→精密過濾器→中間水箱→反滲透設(shè)備→混床(復(fù)床)→超純水箱→超純水泵→后置保安過濾器→用水點(diǎn)

3、采用反滲透設(shè)備與電去離子(EDI)設(shè)備進(jìn)行搭配制備電子工業(yè)超純水的的方式，這是一種制取超純水的最新工藝，也是一種環(huán)保，經(jīng)濟(jì)，發(fā)展?jié)摿薮蟮某兯苽涔に?，其基本工藝流程?原水→多介質(zhì)過濾器→活性炭過濾器→精密過濾器→中間水箱→反滲透設(shè)備→電去離子(EDI)→超純水箱→超純水泵→后置保安過濾器→用水點(diǎn)