其制法是以工業(yè)級(jí)二氯氫硅為原料,精餾提純。 二氯氫硅在半導(dǎo)體芯片和}C他元件的制造中用作化學(xué)氣相淀積 的硅源- 2100433B
電子級(jí)三氯氫硅electronic grade trici}lorcx}ilane SiHC13無 色可燃,腐蝕性液體,有令人窒息的臭味。在濕空氣中迅速水解 生成氯化氫:沸點(diǎn)31.9':.熔點(diǎn)一126.5 C:。液體密度134UkgI 耐:在空氣「},的可燃限b.9%一7U }'u。閃點(diǎn)一28 . U}.。TI}V按 HCl)5x 1U一“。
你好,迅速撤離泄漏污染區(qū)人員至安全區(qū),并進(jìn)行隔離,嚴(yán)格限制出入。切斷火源。建議應(yīng)急處理人員戴自給正壓式呼吸器,穿消防防護(hù)服。從上風(fēng)處進(jìn)入現(xiàn)場(chǎng)。盡可能切斷泄漏源,防止進(jìn)入下水道、排洪溝等限制性空間。小量...
鋼瓶電子秤,液氯鋼瓶電子稱 品牌/型號(hào):上海香川/DCS-XC-G|型號(hào):DCS-XC-G|品牌:上海香川 報(bào)價(jià):3700.00元 電子秤,液氯鋼瓶電子稱 品牌/型號(hào):越衡/SCS|類型:電子地磅|臺(tái)...
電子灌封膠不是電子硅膠灌封膠材料可分為:· 環(huán)氧樹脂灌封膠:?jiǎn)谓M份環(huán)氧樹脂灌封膠 ;雙組份環(huán)氧樹脂灌封膠· 硅橡膠灌封膠: 室溫硫化硅橡膠 ; 雙組份加成形硅橡膠灌封膠; 雙組份縮合型硅橡膠灌封膠·聚...
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三氯氫硅及合成 一、三氯氫硅的基本性質(zhì) 三氯氫硅在常溫常壓下為具有刺激性惡臭、 易流動(dòng)、易揮發(fā)的無 色透明液體。分子量 :135.43,熔點(diǎn) (101.325kPa): -134℃;沸點(diǎn) (101.325kPa):31.8℃;液體密度 (0℃):1350kg/m3;相對(duì)密度 (氣體, 空氣=1):4.7;蒸氣壓 (-16.4℃):13.3kPa;(14.5℃):53.3kPa;燃點(diǎn): -27.8℃;自燃點(diǎn): 104.4℃;閃點(diǎn): -14℃;爆炸極限: 6.9~70%;在 空氣中極易燃燒,在 -18℃以下也有著火的危險(xiǎn),遇明火則強(qiáng)烈燃燒, 三氯氫硅燃燒時(shí)發(fā)出紅色火焰和白色煙; 三氯氫硅的蒸氣能與空氣形 成濃度范圍很寬的爆炸性混合氣, 受熱時(shí)引起猛烈的爆炸。 它的熱穩(wěn) 定性比二氯硅烷好,三氯氫硅在 900℃時(shí)分解產(chǎn)生氯化物有毒煙霧; 遇潮氣時(shí)發(fā)煙,與水激烈反應(yīng);在堿液中分解放出氫氣;三氯氫硅與
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通過更換尾氣吸收塔,增加塔高,提高循環(huán)泵的功率、揚(yáng)程、流量,增加噴頭的數(shù)量,增加中和池等,改善了尾氣吸收塔堵塞的狀況,并解決了由此帶來的安全和環(huán)境問題。
據(jù)立木信息咨詢發(fā)布的《中國(guó)電子級(jí)三氯氫硅市場(chǎng)調(diào)研與投資前景報(bào)告(2018版)》顯示:隨著我國(guó)經(jīng)濟(jì)結(jié)構(gòu)調(diào)整,計(jì)算機(jī)、智能手機(jī)、通信等產(chǎn)業(yè)規(guī)模的持續(xù)增長(zhǎng),大大拉動(dòng)了對(duì)上游集成電路的需求。近幾年我國(guó)從國(guó)家信息安全戰(zhàn)略層面不斷加大對(duì)集成電路產(chǎn)業(yè)的政策支持力度,國(guó)內(nèi)近幾年集成電路產(chǎn)業(yè)持續(xù)增長(zhǎng)。近五年的復(fù)合增長(zhǎng)率達(dá)到 22.14%。2014年產(chǎn)值已經(jīng)達(dá)到3000億。據(jù)估算2017年國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體電子氣體的市場(chǎng)規(guī)模超過 20億元人民幣。
電子級(jí)三氯氫硅作為微電子、光電子元件制造過程中不可或缺的重要材料,符合2016年國(guó)家商務(wù)部發(fā)布《鼓勵(lì)進(jìn)口技術(shù)和產(chǎn)品目錄》,其中明確“?半導(dǎo)體、光電子元件、新型電子元件等電子產(chǎn)品用材料制造”為國(guó)家鼓勵(lì)發(fā)展的重點(diǎn)行業(yè),行業(yè)序號(hào)C30。
電子級(jí)三氯氫硅作為硅源,外延生長(zhǎng)速度快,使用安全,是較為通用的硅源。
當(dāng)前,世界上只有美國(guó)、日本、德國(guó)等少數(shù)國(guó)家能夠大規(guī)模生產(chǎn)電子級(jí)三氯氫硅,最大的生產(chǎn)商是德國(guó)的Wacher公司和美國(guó)的DowCorning公司。中國(guó)在20世紀(jì)90年代初建成 一定規(guī)模的三氯氫硅生產(chǎn)裝置,然而目前我國(guó)的三氯氫硅產(chǎn)品純度只能滿足中低端用戶。
電子級(jí)三氯氫硅國(guó)產(chǎn)價(jià)格約為每噸5-7.5萬人民幣,進(jìn)口產(chǎn)品到終端客戶價(jià)格約為每 噸15-20萬元。
三氯氫硅生產(chǎn)的火災(zāi)危險(xiǎn)性分析
⒈電解食鹽水的火災(zāi)危險(xiǎn)性
⑴電解時(shí)有強(qiáng)大的電流通過,如果電氣的絕緣不良極易產(chǎn)生電火花,電解車間經(jīng)常有氫氣泄漏,遇到電火花或其它明火會(huì)發(fā)生燃燒或爆炸。
⑵如氫氣與氯氣相混,達(dá)到爆炸極限范圍,遇光也會(huì)發(fā)生爆炸。
⒉三氯氫硅合成的火災(zāi)危險(xiǎn)性
SiHCl3的合成是在280℃~300℃的溫度下進(jìn)行的,已經(jīng)超過了SiHCl3的自燃溫度175℃,在合成過程中如果SiHCl3發(fā)生泄漏,或者空氣進(jìn)入反應(yīng)器,極易引起燃燒、爆炸或中毒事故。并且SiHCl3有毒、遇水燃燒,給火災(zāi)撲救帶來一定的困難。
⒊三氯氫硅貯罐的火災(zāi)危險(xiǎn)性
SiHCl3的貯罐如果發(fā)生泄漏,其危險(xiǎn)性遠(yuǎn)遠(yuǎn)大于工藝管道泄漏的危險(xiǎn)性,因?yàn)槠滟A量大,一旦發(fā)生泄漏,如果不及時(shí)堵漏,影響會(huì)不斷擴(kuò)大。貯罐區(qū)因?yàn)槔鋮s用水的需要,經(jīng)常有水存在,泄漏的SiHCl3遇水發(fā)生反應(yīng),產(chǎn)生有毒的HCl,向四周擴(kuò)散,給搶險(xiǎn)救援工作帶來困難。
三氯氫硅基本信息
硅氯仿、硅仿、三氯硅烷;Trichlorosilane、Silicochloroform.
多晶硅、單晶硅原料、外延成長(zhǎng)、硅液、硅油、化學(xué)氣相淀積、硅酮化合物制造、電子氣。
⑴在高溫下Si和HCl反應(yīng)
⑵用氫還原四氯化硅(采用含鋁化合物的催化劑)
⑶用氫、硅粉、四氯化硅反應(yīng)。
分子量:135.43
熔點(diǎn)(101.325kPa):-134℃;沸點(diǎn)(101.325kPa):31.8℃;液體密度(0℃):1350kg/m3;相對(duì)密度(氣體,空氣=1):4.7;蒸氣壓(-16.4℃):13.3kPa;(14.5℃):53.3kPa;燃點(diǎn):-14℃;自燃點(diǎn):104.4℃;閃點(diǎn):-27.8℃;爆炸極限:6.9~70%;毒性級(jí)別:3;易燃性級(jí)別:4;易爆性級(jí)別:2
化學(xué)性質(zhì)
三氯硅烷在常溫常壓下為具有刺激性氯化氫氣味易流動(dòng)易揮發(fā)的無色透明液體。在空氣中極易燃燒,在-18℃以下也有著火的危險(xiǎn),遇明火則強(qiáng)烈燃燒,燃燒時(shí)發(fā)出紅色火焰和白色煙,生成SiO2.HCl和Cl2:
SiHCl3+O2→SiO2+HCl+Cl2;三氯硅烷的蒸氣能與空氣形成濃度范圍很寬的爆炸性混合氣,受熱時(shí)引起猛烈的爆炸。它的熱穩(wěn)定性比二氯硅烷好,在900℃時(shí)分解產(chǎn)生氯化物有毒煙霧( HCl),還生成Cl2和Si。
遇潮氣時(shí)發(fā)煙,與水激烈反應(yīng):2SiHCl3+3H2O-→ (HSiO)2O+6HCl
在堿液中分解放出氫氣:SiHCl3+3NaOH+H2O-→Si (OH)4+3NaCl+H2
與氧化性物質(zhì)接觸時(shí)產(chǎn)生爆炸性反應(yīng)。與乙炔、烴等碳?xì)浠衔锓磻?yīng)產(chǎn)生有機(jī)氯硅烷:
SiHCl3+CH≡CH一→CH2CHSiCl3 、SiHCl3+CH2=CH2-→CH3CH2SiCl3
在氫化鋁鋰、氫化硼鋰存在條件下,SiHCl3可被還原為硅烷。容器中的液態(tài)SiHCl3當(dāng)容器受到強(qiáng)烈撞擊時(shí)會(huì)著火。可溶解于苯、醚等。無水狀態(tài)下三氯硅烷對(duì)鐵和不銹鋼不腐蝕,但是在有水分存在時(shí)腐蝕大部分金屬。
在高溫條件下,三氯氫硅能被氫氣還原生成硅 SiHCl3 +H2==1357K=Si +3HCl