集成電路用高純鈦濺射靶材

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了集成電路用高純鈦濺射靶材的術(shù)語、定義、基本要求、技術(shù)要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則和標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸、貯存及質(zhì)量承諾和服務(wù)保證。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于集成電路中制造電子薄膜用的各類鈦濺射靶材。

本標(biāo)準(zhǔn)由浙江省標(biāo)準(zhǔn)化研究院牽頭組織制訂。 本標(biāo)準(zhǔn)主要起草單位：寧波江豐電子材料股份有限公司。 本標(biāo)準(zhǔn)參與起草單位：寧波創(chuàng)潤新材料有限公司。

鈦具有可塑性。高純鈦的延伸率可達(dá)50～60%，斷面收縮率可達(dá)70～80%。盡管高純鈦強(qiáng)度低，但純工業(yè)鈦中含有少量雜質(zhì)和添加合金元素可顯著強(qiáng)化其機(jī)械性能，使其強(qiáng)度可與高強(qiáng)度相比擬。這就是說工業(yè)純鈦管中，只要含有少量間隙雜質(zhì)及其它金屬雜質(zhì)，就可使其既具有高強(qiáng)度，又有適當(dāng)?shù)乃苄?。工業(yè)純鈦管的比強(qiáng)度(強(qiáng)度與重量比)在金屬結(jié)構(gòu)材料中是很高的，它的強(qiáng)度與鋼材相當(dāng)，但其重量僅為鋼材的57%。另外，鈦管的耐熱性很強(qiáng),在500℃的大氣中仍能保持良好的強(qiáng)度和穩(wěn)定性。鈦管還具有良好的耐低溫性能，即使在-250℃的超低溫下,它仍具有較高的沖擊強(qiáng)度，可耐高壓抗震動(dòng)。工業(yè)純鈦管的另一顯著特點(diǎn)是耐腐蝕性強(qiáng)，這是由于它對氧的親合力特別大,能在其表面上生成一層致密的氧化膜，可保護(hù)鈦不受介質(zhì)腐蝕。因此，鈦在酸性、堿性、中性鹽水溶液中和氧化性介質(zhì)中具有很好的穩(wěn)定性，比現(xiàn)有的不銹鋼和其它有色金屬的耐腐蝕性都好。工業(yè)純鈦管的應(yīng)用范圍十分廣泛，工業(yè)純鈦管不僅在航天、航空工業(yè)中有十分重要的應(yīng)用，而且已經(jīng)在化工、石油、輕工、發(fā)電等許多工業(yè)部門中廣泛應(yīng)用。由于純工業(yè)鈦管具有重量輕、強(qiáng)度大、耐熱性強(qiáng)、耐腐蝕等許多優(yōu)良特性，被譽(yù)為“未來的金屬”，是很有發(fā)展前途的一種新型結(jié)構(gòu)材料。

鈦可進(jìn)行鍛造、軋制、擠壓、沖壓等各種壓力加工，原則上加熱鋼材所采用的設(shè)備都可以用于鈦材加熱，要求爐內(nèi)氣氛保持中性或弱氧化性氣氛，絕不允許使用氫氣加熱。

鈦的屈強(qiáng)比(σ0.2/σb)較高，一般在0.70～0.95之間，變形抗力大，而鈦的彈性模量相對較低，因此鈦材在加工成型時(shí)比較困難。 純鈦具有良好的焊接性能，焊縫強(qiáng)度、延性和抗蝕性與母材相差不多。為防止焊接時(shí)的污染，須采用鎢極氬氣保護(hù)焊。

鈦的切削加工比較困難，主要原因是鈦的摩擦系數(shù)大，導(dǎo)熱性差，熱量主要集中在刀尖上，使刀尖很快軟化。同時(shí)鈦的化學(xué)活性高，溫度升高容易粘附刀具，造成粘結(jié)磨損。在切削加工時(shí)，應(yīng)正確選用刀具材料，保持刀具鋒銳，并采用良好的冷卻工藝 。2100433B

含一定量的氧、氮、碳、硅、鐵及其他元素雜質(zhì)的α相鈦。鈦含量不低于98%、含有少量氧、氮、氫、碳、硅和鐵等雜質(zhì)的致密金屬鈦。氧、氮、碳、氫和硅屬于間隙雜質(zhì)元素，鐵屬于替代式β穩(wěn)定元素。氧、氮、碳都能提高鈦的室溫抗拉強(qiáng)度，同時(shí)也會(huì)降低鈦的塑性，因此鈦中氧、氮、碳的含量都有比較嚴(yán)格的限制，特別是氧含量。氫在鈦中的溶解度很小，氫與鈦的反應(yīng)是可逆的。氫對鈦性能的主要影響表現(xiàn)為“氫脆”，當(dāng)鈦中氫含量達(dá)到一定量后，將會(huì)大大提高鈦對缺口的敏感性，從而急劇地降低缺口試樣的沖擊韌性等性能。通常規(guī)定鈦中氫含量不得超過0.015%。鈦是現(xiàn)代宇宙航空科學(xué)，海洋科學(xué)和核能發(fā)電等尖端科學(xué)工業(yè)所不可缺少的材料。鈦比一般金屬輕48%，且韌性強(qiáng)，耐酸堿性、抗腐蝕、穩(wěn)定性高，高強(qiáng)度，良好彈性等優(yōu)點(diǎn)，符合人體工程系，鈦對人體無毒，無任何輻射 。