該系統(tǒng)是上個(gè)世紀(jì)九十年代研發(fā)的新的大口徑擴(kuò)散泵，對(duì)傳統(tǒng)的擴(kuò)散泵作了重大改進(jìn).其主要特點(diǎn)有：①抽速大，抽速范圍為3000~50000 L/s六種規(guī)格。泵壁有上凹槽，冷卻水管臥在凹槽內(nèi)，增大了接觸面積、冷卻效果好。萊寶公司又于2003年對(duì)DIP擴(kuò)散泵進(jìn)行了進(jìn)一步的改進(jìn)，將水冷管改為水冷夾層。擴(kuò)散泵的整體改為全不銹鋼材質(zhì)。從而進(jìn)一步提高DIP系列泵的性能指標(biāo)。②油蒸汽返流率低。不加外置水冷擋板并使用普通礦物油，其返油率為1×10-3mg/cm2·min；如果采用DC-705硅油，返油率可降至于1×10-4mg/cm2·min；極限壓力低于10-6Pa。③抽氣曲線(xiàn)上，在入口壓力為10-1Pa時(shí)達(dá)到最大抽速，且抽速穩(wěn)定。④采用插入擴(kuò)散泵內(nèi)部的多支加熱棒加熱，傳熱效率高，預(yù)熱時(shí)間短。對(duì)于抽速為3000~20000L/s的泵，預(yù)熱時(shí)間少于25min；30000~50000L/s的泵預(yù)熱時(shí)間少于30min?？稍诓煌１玫那闆r下更換加熱棒。⑤裝有過(guò)熱裝置，防止泵油過(guò)熱。通過(guò)觀(guān)察窗可隨時(shí)觀(guān)察泵油的質(zhì)和量。泵上設(shè)有注油口和放油口，換油時(shí)無(wú)須把擴(kuò)散泵從真空系統(tǒng)中拆下。最大允許前級(jí)壓力高，為60 Pa。
其結(jié)構(gòu)示意圖（以DIF800為例）如圖1所示：
DIF系列為3~4級(jí)噴咀，并作成托盤(pán)結(jié)構(gòu)，可調(diào)節(jié)各級(jí)噴咀的喉部間隙。在泵體內(nèi)帶水冷帽。用多個(gè)盤(pán)式加熱器。
