刻蝕

刻蝕，英文為Etch，它是半導(dǎo)體制造工藝，微電子IC制造工藝以及微納制造工藝中的一種相當(dāng)重要的步驟。是與光刻相聯(lián)系的圖形化(pattern)處理的一種主要工藝。所謂刻蝕，實(shí)際上狹義理解就是光刻腐蝕，先通過光刻將光刻膠進(jìn)行光刻曝光處理，然后通過其它方式實(shí)現(xiàn)腐蝕處理掉所需除去的部分。隨著微制造工藝的發(fā)展，廣義上來講，刻蝕成了通過溶液、反應(yīng)離子或其它機(jī)械方式來剝離、去除材料的一種統(tǒng)稱，成為微加工制造的一種普適叫法。

刻蝕基本信息

中文名稱 刻蝕 外文名稱 etch
工藝 半導(dǎo)體制造工藝 狹義理解 光刻腐蝕

刻蝕方法

刻蝕最簡單最常用分類是:干法刻蝕和濕法刻蝕。顯而易見，它們的區(qū)別就在于濕法使用溶劑或溶液來進(jìn)行刻蝕。

濕法刻蝕是一個(gè)純粹的化學(xué)反應(yīng)過程，是指利用溶液與預(yù)刻蝕材料之間的化學(xué)反應(yīng)來去除未被掩蔽膜材料掩蔽的部分而達(dá)到刻蝕目的。其特點(diǎn)是:

濕法刻蝕在半導(dǎo)體工藝中有著廣泛應(yīng)用:磨片、拋光、清洗、腐蝕

優(yōu)點(diǎn)是選擇性好、重復(fù)性好、生產(chǎn)效率高、設(shè)備簡單、成本低

缺點(diǎn)是:鉆刻嚴(yán)重、對(duì)圖形的控制性較差，不能用于小的特征尺寸;會(huì)產(chǎn)生大量的化學(xué)廢液

干法刻蝕種類很多，包括光揮發(fā)、氣相腐蝕、等離子體腐蝕等。其優(yōu)點(diǎn)是:各向異性好，選擇比高，可控性、靈活性、重復(fù)性好，細(xì)線條操作安全，易實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化，無化學(xué)廢液，處理過程未引入污染，潔凈度高。缺點(diǎn)是:成本高，設(shè)備復(fù)雜。干法刻蝕主要形式有純化學(xué)過程(如屏蔽式，下游式，桶式)，純物理過程(如離子銑)，物理化學(xué)過程，常用的有反應(yīng)離子刻蝕RIE，離子束輔助自由基刻蝕ICP等。

干法刻蝕方式很多，一般有:濺射與離子束銑蝕， 等離子刻蝕(Plasma Etching)，高壓等離子刻蝕，高密度等離子體(HDP)刻蝕，反應(yīng)離子刻蝕(RIE)。另外，化學(xué)機(jī)械拋光CMP，剝離技術(shù)等等也可看成是廣義刻蝕的一些技術(shù)。

刻蝕造價(jià)信息

市場價(jià) 信息價(jià) 詢價(jià)
材料名稱 規(guī)格/型號(hào) 市場價(jià)
（除稅）		 工程建議價(jià)
（除稅）		 行情 品牌 單位 稅率 供應(yīng)商 報(bào)價(jià)日期
黑色蝕刻鏡 5mm厚 查看價(jià)格 查看價(jià)格

m2 13% 天津市津南區(qū)共創(chuàng)玻璃加工廠
橫卡蝕刻門 單扇門面積以2.1m2(單門寬度≤950mm),蝕刻門系列 查看價(jià)格 查看價(jià)格

扇 13% 南昌市佳音科技發(fā)展有限公司
鏡面8k黑鈦蝕刻不銹鋼板-不規(guī)則蝕刻 品種:鏡面不銹鋼板;規(guī)格(mm):1.0×1220×2440;厚度(mm):1;類型:蝕刻不銹鋼板;牌號(hào):201;說明:可提供厚度:0.8、 查看價(jià)格 查看價(jià)格

m2 13% 北京東方通順不銹鋼有限公司
發(fā)紋黑鈦蝕刻不銹鋼板-連圈 品種:蝕刻不銹鋼板;規(guī)格(mm):1.0×1220×2440;厚度(mm):1;類型:蝕刻不銹鋼板;牌號(hào):201;說明:可提供厚度:0.8、 查看價(jià)格 查看價(jià)格

m2 13% 北京東方通順不銹鋼有限公司
發(fā)紋本色蝕刻不銹鋼板 品種:蝕刻不銹鋼板;規(guī)格(mm):1.0×1220×2440;厚度(mm):1;類型:蝕刻不銹鋼板;牌號(hào):201;說明:可提供厚度:0.8、 查看價(jià)格 查看價(jià)格

m2 13% 北京東方通順不銹鋼有限公司
鋼化茶玻磨砂面蝕刻中式紋 6mm厚 耐火等級(jí)A 查看價(jià)格 查看價(jià)格

m2 13% 東莞市坤豪玻璃制品有限公司
低鐵酸蝕刻玻璃含陶瓷熔塊 6+1.52pvb+6 查看價(jià)格 查看價(jià)格

南玻

 m2 13% 東莞市永創(chuàng)玻璃制品有限公司
低鐵酸蝕刻玻璃含陶瓷熔塊 6+1.52pvb+6 查看價(jià)格 查看價(jià)格

m2 13% 深圳市南山區(qū)佳懿發(fā)特種玻璃廠
材料名稱 規(guī)格/型號(hào) 除稅
信息價(jià)		 含稅
信息價(jià)		 行情 品牌 單位 稅率 地區(qū)/時(shí)間
暫無數(shù)據(jù)
材料名稱 規(guī)格/需求量 報(bào)價(jià)數(shù) 最新報(bào)價(jià)
（元）		 供應(yīng)商 報(bào)價(jià)地區(qū) 最新報(bào)價(jià)時(shí)間
暫無數(shù)據(jù)

刻蝕常見問題

刻蝕文獻(xiàn)

不銹鋼的刻蝕 不銹鋼的刻蝕

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大?。?span id="2wqau4k" class="single-tag-height">4.3MB

頁數(shù)： 10頁

評(píng)分： 4.4

1 不銹鋼刻蝕 【摘要】 本文依據(jù)工業(yè)生產(chǎn)原理 ，設(shè)計(jì)了新的能處理較大面積工件的化學(xué)刻蝕裝置，研究 了實(shí)驗(yàn)室條件下對(duì)不銹鋼進(jìn)行圖紋裝飾的方法和工藝。 通過上感光材料、感光、刻蝕、 上色等工藝實(shí)現(xiàn)了不銹鋼的圖案刻蝕，成功地制作出一批作品。 【關(guān)鍵詞】 圖紋裝飾，不銹鋼板，感光材料，刻蝕。 Etching on Stainless Steel Sheet Zhao Libing Chen Peixian Li Jiahang Long Jieming Wang Junxia Liu Chang Zhang Zhijun Liu Xiaofang Lu Yujing Xie Guangbin L ü Xueyi （Class 99, School of Chemistry and Chemical Engineering, Sun Yat-Sen University, Guangzh

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干法刻蝕工藝總結(jié) 干法刻蝕工藝總結(jié)

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大?。?span id="agcyshg" class="single-tag-height">4.3MB

頁數(shù)： 13頁

評(píng)分： 4.7

干法刻蝕工藝總結(jié) 離子束刻蝕機(jī)（ IBE-150A） 背景 : 利用輝光放電原理將氬氣分解為氬離子， 氬離子經(jīng)過陽極電場的加速對(duì)樣品表面 進(jìn)行物理轟擊， 以達(dá)到刻蝕的作用。 把 Ar、Kr 或 Xe之類惰性氣體充入離子源放 電室并使其電離形成等離子體， 然后由柵極將離子呈束狀引出并加速， 具有一定 能量的離子束進(jìn)入工作室， 射向固體表面撞擊固體表面原子， 使材料原子發(fā)生濺 射，達(dá)到刻蝕目的，屬純物理過程。 技術(shù)指標(biāo)： 裝片：一片六英寸襯底、或 1片四英寸，向下兼容。 抽氣速度： 30min由 ATM 到 1.0×10-3Pa 極限真空度： 2×10-4Pa 離子能量： 300eV-400eV ICP 刻蝕機(jī)（ OXFORD ICP 180） 背景 : 通入反應(yīng)氣體使用電感耦合等離子體輝光放電將其分解， 產(chǎn)生的具有強(qiáng)化學(xué)活性 的等離子體在電場的加速作用下移動(dòng)到樣品表面， 對(duì)樣品表面既進(jìn)行化學(xué)

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濕法刻蝕是一種刻蝕方法，是將刻蝕材料浸泡在腐蝕液內(nèi)進(jìn)行腐蝕的技術(shù)。

主要在較為平整的膜面上刻出絨面，從而增加光程，減少光的反射，刻蝕可用稀釋的鹽酸等。

簡單來說，就是中學(xué)化學(xué)課中化學(xué)溶液腐蝕的概念，它是一種純化學(xué)刻蝕，具有優(yōu)良的選擇性，刻蝕完當(dāng)前薄膜就會(huì)停止，而不會(huì)損壞下面一層其他材料的薄膜。由于所有的半導(dǎo)體濕法刻蝕都具有各向同性，所以無論是氧化層還是金屬層的刻蝕，橫向刻蝕的寬度都接近于垂直刻蝕的深度。這樣一來，上層光刻膠的圖案與下層材料上被刻蝕出的圖案就會(huì)存在一定的偏差，也就無法高質(zhì)量地完成圖形轉(zhuǎn)移和復(fù)制的工作，因此隨著特征尺寸的減小，在圖形轉(zhuǎn)移過程中基本不再使用。

目前，濕法刻蝕一般被用于工藝流程前面的晶圓片準(zhǔn)備、清洗等不涉及圖形的環(huán)節(jié)，而在圖形轉(zhuǎn)移中干法刻蝕已占據(jù)主導(dǎo)地位。2100433B

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等離子刻蝕機(jī)濕法刻蝕相對(duì)于等離子刻蝕的缺點(diǎn)

1. 硅片水平運(yùn)行，機(jī)片高(等離子刻蝕去PSG槽式浸泡甩干，硅片受沖擊小);

2. 下料吸筆易污染硅片(等離子刻蝕去PSG后甩干);

3. 傳動(dòng)滾抽易變形(PVDF，PP材質(zhì)且水平放置易變形);

4. 成本高(化學(xué)品刻蝕代替等離子刻蝕成本增加)。

此外，有些等離子刻蝕機(jī)，如SCE等離子刻蝕機(jī)還具備"綠色"優(yōu)勢:無氟氯化碳和污水、操作和環(huán)境安全、排除有毒和腐蝕性的液體。SCE等離子刻蝕機(jī)支持以下四種平面等離子體處理模式:

直接模式--基片可以直接放置在電極托架或是底座托架上，以獲得最大的平面刻蝕效果。

定向模式--需要非等向性刻蝕(anisotropic etching)的基片可以放置在特制的平面托架上。

下游模式--基片可以放置在不帶電托架上，以便取得微小的等離子體效果。

定制模式--當(dāng)平面刻蝕配置不過理想時(shí)，特制的電極配置可以提供。

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TCP刻蝕機(jī)的刻蝕分辨率：100nm；基片尺寸：2英寸、4英寸。

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