模塊化微納器件真空原位制備系統(tǒng)

模塊化態(tài)分析。 2100433B

8模塊組成。

本書是關于光子集成理論以及制備技術的專著。全書共10章，第1章主要介紹光波導基礎理論；第2、3章主要介紹光波導器件數(shù)值模擬技術；第4章主要介紹各類光波導（包括最新發(fā)展的硅納米光波導等）基本特性以及相關制作工藝；第5章重點介紹針對光纖到戶系統(tǒng)需求的新型集成光子器件；第6、7章重點介紹光通信系統(tǒng)中最具代表性的集成光子器件，包括波分復用器、微環(huán)濾波器等，并在第7章對微環(huán)傳感器的最新進展作了相關介紹；第8章詳細介紹最新發(fā)展的表面等離子金屬光波導的原理、結構以及發(fā)展前景；第9章主要介紹和總結另一種新型光波導——光子晶體波導；第10章著重介紹硅光子學的最新研究進展。

本書可作為大專院校相關專業(yè)本科生、研究生的課程教材，也可作為從事光通信器件專業(yè)的科學技術人員的參考用書。

在LED照明技術日益發(fā)展的今天，偏振光源作為普通光源一種功能上的擴展，在CCD偏振成像、光學存儲、光通信、光電探測、平板顯示背光等方面具有廣闊的應用前景?；贕aN基LED的微納光子學和光電子學是一個及其重要的研究方向。本項目開展了表面微納結構對LED出光特性的調控研究工作，設計并制備了基于納米結構偏振轉換的高效偏振出光GaN基LED。主要工作包括：1) 利用時域有限差分進行數(shù)值模擬，設計并制備了基于可見光波段的偏振納米光柵，以及基于納米結構偏振轉換的高效偏振出光GaN基LED。采用深紫外曝光技術制作了最小周期190nm的納米偏振光柵，偏振度達到25 dB。2) 提出、設計并制備了二維橢圓柱納米陣列結構，實現(xiàn)了半波片偏振轉換的功能，并將該結構集成到振度LED上，進一步提高了偏振光出光的效率，在寬角度內（±60o內）平均提高20%。3)提出了一種基于熒光陶瓷和納米光柵集成的GaN基白光LED復合結構，能在450nm~650nm光譜范圍內實現(xiàn)高偏振度白光出射。利用納米壓印及反應離子束刻蝕工藝，實驗制備了熒光陶瓷基底上周期150nm，有效面積達20mm×20mm的介質/金屬復合納米光柵結構。測試結果表明偏振白光LED在450nm~650nm可見光范圍內的消光比大于20dB，TM波透過率高于60%。本項目的研究對拓展LED應用領域、創(chuàng)新平板顯示的解決方案、探索氮化鎵基材料的微納光電子學應用均具有重要的意義。