掃描干涉儀

我國第一臺多用途、高精度的光學測試儀器—JDG-1型激光多用干涉儀,最近在安徽光學精密機械研究所研制成功.這臺儀器可用于測量光學零件的平面度、平行度、球面

用激光干涉儀系統(tǒng)進行精確的線性測量 — 最佳操作及實踐經(jīng)驗 1 簡介 本文描述的最佳操作步驟及實踐經(jīng)驗主要針對使用激光干涉儀校準機床如車床、銑床以及 坐標測量機的線性精度。但是，文中描述的一般原則適用于所有情況。與激光測量方法相 關的其它項目，如角度、平面度、直線度和平行度測量不包括在內，用于實現(xiàn) 0.1 微米即 0.1 ppm 以下的短距離精度測量的特殊方法（如真空操作）也不包括在內。 微米是極小的距離測量單位。（ 1 微米比一根頭發(fā)的 1/25 還細。由于太細，所以肉眼無 法看到，接近于傳統(tǒng)光學顯微鏡的極限值）?？蓪崿F(xiàn)微米級及更高分辨率的數(shù)顯表的廣泛 使用，為用戶提供了令人滿意的測量精度。盡管測量值在小數(shù)點后有很多位數(shù)，但并不表 明都很精確。（在許多情況下精度比顯示的分辨率低 10-100 倍）。實現(xiàn) 1 微米的測量分 辨率很容易，但要得到 1 微米的測量精度需要特別注意一些細節(jié)。本文