中文名 | 隧穿電流 | 外文名 | tunneling current |
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適用領(lǐng)域 | 微電子、電力 | 所屬學(xué)科 | 微電子學(xué)、電子學(xué)、物理學(xué) |
對(duì)于半導(dǎo)體異質(zhì)結(jié)或者M(jìn)IS的界面勢(shì)壘,在加有較高的電壓時(shí),勢(shì)壘中的電場(chǎng)很強(qiáng),則這時(shí)電子隧穿的界面勢(shì)壘可近似為三角形勢(shì)壘(見圖2),并且該隧穿三角形勢(shì)壘的寬度與外加電壓有關(guān)(即與電場(chǎng)E有關(guān));這種隧穿稱為Fowler-Nordheim隧穿,相應(yīng)的電流為
j = -q n vth T(三角形) = C1 E2 exp(C2/E)
其中的常數(shù)C1=9.625×10,C2=2.765×10V/cm。
特別,對(duì)于MOS系統(tǒng),電子從Si隧穿二氧化硅的勢(shì)壘可近似為斜頂梯形的勢(shì)壘,這種隧穿往往稱為直接隧穿。
對(duì)于有限高度的勢(shì)壘,當(dāng)勢(shì)壘厚度與微觀粒子的de Broglie波長(zhǎng)接近時(shí),則對(duì)于微觀粒子來說,該勢(shì)壘就是量子勢(shì)壘;因?yàn)檫@時(shí)的微觀粒子可以利用其波動(dòng)性而直接穿過勢(shì)壘,即隧道效應(yīng)。若微觀粒子是電子,那么電子隧穿量子勢(shì)壘即將產(chǎn)生隧穿電流。
如果知道了電子發(fā)生量子隧穿的幾率T,則隧穿電流密度j可以求出為(設(shè)電子濃度為n,電子的熱運(yùn)動(dòng)速度為vth): j = -q n vth T
不同形狀勢(shì)壘的隧穿幾率T:
在圖1中示出了三種典型的勢(shì)壘;有效勢(shì)壘寬度為x1~x2。
決定電子波函數(shù)的Schrodinger方程為: d2Ψ/dx2 (2m*/?2) [E-U(x)] Ψ = 0
如果式中的電勢(shì)能U(x)變化不很快,則該方程可以采用WKB近似來簡(jiǎn)化,并可求出隧穿前后兩邊波函數(shù)之比為: |Ψ(x2)| / |Ψ(x1)| = exp{- ∫ [(2m*/?2)(U(x)-E)]1/2 dx} (積分限為x1~x2)
可見,在勢(shì)壘區(qū)內(nèi),波函數(shù)是指數(shù)式衰減的;這是由于在此U(x)>E(動(dòng)能為負(fù)),則波矢為虛數(shù),即k=i[(2m*/?2)(U(x)-E)]1/2,從而,上面的波函數(shù)之比可變形為exp{-|k|x}。在勢(shì)壘區(qū)以外的1區(qū)和2區(qū)都是平面波(在2區(qū)是波幅較小的平面波),波矢都是實(shí)數(shù),即k=(2m*E/?2)1/2。
因?yàn)殡娮映霈F(xiàn)的幾率∝|Ψ|2,所以,根據(jù)上面的結(jié)果可求得電子的隧穿幾率為
T = |Ψ(x2)|2 / |Ψ(x1)|2 = exp{-2 ∫ [(2m*/?2)(U(x)-E)]1/2 dx} (積分限為x1~x2)
顯然,勢(shì)能U(x)的形式不同,即不同形狀的勢(shì)壘,則電子的隧穿幾率也就不同。
對(duì)于矩形勢(shì)壘(圖1(a)),電子的勢(shì)能U(x) = q Φb =常數(shù)(即勢(shì)壘高度恒定),則電子的隧穿幾率為
T(矩形)= exp[-2(2m* qΦb/?2)1/2 Δx]
對(duì)于三角形勢(shì)壘(圖1(b)),電子的勢(shì)能線性變化,即U(x)-E = qΦb (1-x/Δx),則有隧穿幾率:
T(三角形)= exp[-(4/3) (2m* qΦb/?2) Δx] = exp [ -4 (2m*q)1/2(Φb)3/2 / (3?|E|) ]
式中的E是勢(shì)壘中的電場(chǎng)強(qiáng)度。
對(duì)于拋物線形勢(shì)壘(圖1(c)),U(x)-E = q Φb (1-4x/Δx),則有隧穿幾率:
T(拋物線)= exp[-(p/2) (2m*qΦb/?2)1/2 Δx]
請(qǐng)解釋電容電流,零序電流,正序電流,負(fù)序電流,不平衡電流之間的關(guān)系?
正序、負(fù)序、零序的出現(xiàn)是為了分析在系統(tǒng)電壓、電流出現(xiàn)不對(duì)稱現(xiàn)象時(shí),把三相的不對(duì)稱分量分解成對(duì)稱分量(正、負(fù)序)及同向的零序分量。只要是三相系統(tǒng),就能分解出上述三個(gè)分量(有點(diǎn)象力的合成與分解,但很多情況...
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正序、負(fù)序、零序的出現(xiàn)是為了分析在系統(tǒng)電壓、電流出現(xiàn)不對(duì)稱現(xiàn)象時(shí),把三相的不對(duì)稱分量分解成對(duì)稱分量(正、負(fù)序)及同向的零序分量。只要是三相系統(tǒng),就能分解出上述三個(gè)分量(有點(diǎn)象力的合成與分解,但很多情況...
根據(jù)電流和電壓的定義看三者之間的關(guān)系:1、電流與電子的關(guān)系:?jiǎn)挝粫r(shí)間里通過導(dǎo)體任一橫截面的電荷量叫做電流強(qiáng)度,簡(jiǎn)稱電流。導(dǎo)體中的自由電荷在電場(chǎng)力的作用下做有規(guī)則的定向運(yùn)動(dòng)就形成了電流。正電荷定向流動(dòng)的...
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評(píng)分: 4.8
對(duì)溝道長(zhǎng)度從10μm到0.13μm,柵氧化層厚度為2.5nm的HALO結(jié)構(gòu)nMOS器件的直接隧穿柵電流進(jìn)行了研究,得到了一個(gè)適用于短溝道HALO結(jié)構(gòu)MOS器件的直接隧穿柵電流模型.隨著溝道尺寸的縮短,源/漏擴(kuò)展區(qū)占據(jù)溝道的比例越來越大,源漏擴(kuò)展區(qū)的影響不再可以忽略不計(jì).文中考慮了源/漏擴(kuò)展區(qū)對(duì)直接隧穿柵電流的影響,給出了適用于不同HALO摻雜劑量的超薄柵(2~4nm)短溝(0.13~0.25μm)nMOS器件的半經(jīng)驗(yàn)直接隧穿柵電流模擬表達(dá)式.
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評(píng)分: 4.6
在系統(tǒng)細(xì)致分析RTD材料結(jié)構(gòu)參數(shù)與器件特性參數(shù)關(guān)系的基礎(chǔ)上,確立了RTD材料結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)原則和設(shè)計(jì)方法,并對(duì)以SI-GaAs為襯底的RTD分子束外延(MBE)材料生長(zhǎng)結(jié)構(gòu)進(jìn)行了設(shè)計(jì)。所研制出的RTD參數(shù)實(shí)測(cè)結(jié)果證實(shí)了此設(shè)計(jì)方法是正確的。
換算隧長(zhǎng)就是將不同施工段的運(yùn)碴運(yùn)距換算成獨(dú)立的隧長(zhǎng),然后根據(jù)不同施工段負(fù)擔(dān)的工程數(shù)量套用不同檔次的隧長(zhǎng)定額,進(jìn)而得到較為貼切的該施工段的運(yùn)碴費(fèi)用。
本項(xiàng)目擬在貴金屬納米材料的電沉積生長(zhǎng)體系中,提出和研究一種新的金屬離子的還原方式,即電子隧穿還原。與傳統(tǒng)生長(zhǎng)理論中的還原方式不同,這種新的還原方式是指在某些條件下,生長(zhǎng)表面的電子會(huì)通過隧穿效應(yīng)將溶液中的金屬離子還原。金屬離子的還原是金屬納米材料在電沉積生長(zhǎng)體系中生長(zhǎng)的初始步驟,其還原方式會(huì)對(duì)材料的整個(gè)生長(zhǎng)過程產(chǎn)生直接的根本性的影響。本項(xiàng)目將通過實(shí)驗(yàn)和理論相結(jié)合的方式,對(duì)電子隧穿還原下貴金屬納米材料的生長(zhǎng)過程進(jìn)行深入和細(xì)致的研究。通過研究揭示出電子隧穿還原這種新的還原方式對(duì)材料生長(zhǎng)過程的影響,獲得材料在新的還原方式下的生長(zhǎng)規(guī)律和生長(zhǎng)機(jī)理。并利用電子隧穿還原導(dǎo)致的顆粒聚集生長(zhǎng),研究貴金屬超結(jié)構(gòu)納米材料的形貌控制機(jī)理。該項(xiàng)目的研究將進(jìn)一步揭示和發(fā)展溶液中金屬納米材料的生長(zhǎng)機(jī)理,具有重要的學(xué)術(shù)價(jià)值。
清·王夫之 《宋論·光宗》:“夫豈必陻其溝洫,夷其隧埒,而后畸有所歸哉!”2100433B