雙微精密電磁閥控制閥門概述

精密測量定義

螺旋測微器又稱千分尺（micrometer）、螺旋測微儀、分厘卡，是比游標卡尺更精密的測量長度的工具，用它測長度可以準確到0.01mm，測量范圍為幾個厘米。

精密測量分類

螺旋測微器分為機械式千分尺和電子千分尺兩類。

（1）機械式千分尺。簡稱千分尺，是利用精密螺紋副原理測長的手攜式通用長度測量工具。1848年，法國的J.L.帕爾默取得外徑千分尺的專利 。1869年，美國的J.R.布朗和L.夏普等將外徑千分尺制成商品，用于測量金屬線外徑和板材厚度。千分尺的品種很多。改變千分尺測量面形狀和尺架等就可以制成不同用途的千分尺，如用于測量內徑、螺紋中徑、齒輪公法線或深度等的千分尺。

（2）電子千分尺。也叫數(shù)顯千分尺，測量系統(tǒng)中應用了光柵測長技術和集成電路等。電子千分尺是20世紀70年代中期出現(xiàn)的，用于外徑測量。

精密測量組成

螺旋測微器組成部分上A為測桿，它的一部分加工成螺距為0.5mm的螺紋，當它在固定套管B的螺套中轉動時，將前進或后退，活動套管C和螺桿連成一體，其周邊等分成50個分格。螺桿轉動的整圈數(shù)由固定套管上間隔0.5mm的刻線去測量，不足一圈的部分由活動套管周邊的刻線去測量。所以用螺旋測微器測量長度時，讀數(shù)也分為兩步，即（1）從活動套管的前沿在固定套管的位置，讀出整圈數(shù)。（2）從固定套管上的橫線所對活動套管上的分格數(shù)，讀出不到一圈的小數(shù)，二者相加就是測量值。

螺旋測微器的尾端有一裝置D，擰動D可使測桿移動，當測桿和被測物相接后的壓力達到某一數(shù)值時，棘輪將滑動并有咔咔的響聲，活動套管不再轉動，測桿也停止前進，這時就可以讀數(shù)了。

不夾被測物而使測桿和小砧E相接時，活動套管上的零線應當剛好和固定套管上的橫線對齊。實際操作過程中，由于使用不當，初始狀態(tài)多少和上述要求不符，即有一個不等于零的讀數(shù)。所以，在測量時要先看有無零誤差，如果有，則須在最后的讀數(shù)上去掉零誤差的數(shù)值。

精密測量原理和使用

螺旋測微器的讀數(shù)螺旋測微器是依據(jù)螺旋放大的原理制成的，即螺桿在螺母中旋轉一周，螺桿便沿著旋轉軸線方向前進或后退一個螺距的距離。因此，沿軸線方向移動的微小距離，就能用圓周上的讀數(shù)表示出來。螺旋測微器的精密螺紋的螺距是0.5mm，可動刻度有50個等分刻度，可動刻度旋轉一周，測微螺桿可前進或后退0.5mm，因此旋轉每個小分度，相當于測微螺桿前進或推后0.5/50=0.01mm?？梢?，可動刻度每一小分度表示0.01mm，所以以螺旋測微器可準確到0.01mm。由于還能再估讀一位，可讀到毫米的千分位，故又名千分尺。

測量時，當小砧和測微螺桿并攏時，可動刻度的零點若恰好與固定刻度的零點重合，旋出測微螺桿，并使小砧和測微螺桿的面正好接觸待測長度的兩端，那么測微螺桿向右移動的距離就是所測的長度。這個距離的整毫米數(shù)由固定刻度上讀出，小數(shù)部分則由可動刻度讀出。

精密測量注意事項

（1）測量時，在測微螺桿快靠近被測物體時應停止使用旋鈕，而改用微調旋鈕，避免產生過大的壓力，既可使測量結果精確，又能保護螺旋測微器。 不同尺寸的螺旋測微器

（2）在讀數(shù)時，要注意固定刻度尺上表示半毫米的刻線是否已經(jīng)露出。

（3）讀數(shù)時，千分位有一位估讀數(shù)字，不能隨便扔掉，即使固定刻度的零點正好與可動刻度的某一刻度線對齊，千分位上也應讀取為“0”。

（4）當小砧和測微螺桿并攏時，可動刻度的零點與固定刻度的零點不相重合，將出現(xiàn)零誤差，應加以修正，即在最后測長度的讀數(shù)上去掉零誤差的數(shù)值。

精密測量正確使用和保養(yǎng)

（1）檢查零位線是否準確；

（2） 測量時需把工件被測量面擦干凈；

（3） 工件較大時應放在V型鐵或平板上測量；

（4） 測量前將測量桿和砧座擦干凈；

（5）擰活動套筒時需用棘輪裝置；

（6）不要擰松后蓋，以免造成零位線改變；

（7）不要在固定套筒和活動套筒間加入普通機油；

（8）用后擦凈上油，放入專用盒內，置于干燥處。

目前對于表面微結構的制作，常見的方法一般都是利用硅進行刻蝕，利用體硅刻蝕技術制作各種微納結構也是研究熱點。

刻蝕最簡單分類是:干法刻蝕和濕法刻蝕。感應禍合等離子體(InductivelyCoupled Plasma. ICP)刻蝕是一種干法刻蝕，原理是通過電感禍合等離子體輝光放電分解反應氣體，對樣品表面進行物理轟擊以及化學反應生成揮發(fā)性氣體，達到刻蝕的目的。ICP刻蝕技術由于其具有精度高、刻蝕快、均勻性和刻蝕垂直度好、污染少和刻蝕表面平整光滑等優(yōu)點，常用于刻蝕高深寬比結構，在微結構加工中被廣泛應用。

溝槽型的微結構基底可以得到雙焦距微透鏡，但在制作溝槽型基底前，首先要制作一些陣列柱狀的微結構進行一些規(guī)律的探索與驗證。由熱力學分析可知影響接觸角的微結構特征參數(shù)主要就是柱寬、柱間距和柱高，所以制作這幾個參數(shù)不同的微結構基底進行接觸角實驗。