碳化硅MOSFET

在SiC MOSFET的開發(fā)與應用方面,與相同功率等級的Si MOSFET相比,SiC MOSFET導通電阻、開關損耗大幅降低,適用于更高的工作頻率,另由于其高溫工作特性,大大提高了高溫穩(wěn)定性。

碳化硅MOSFET基本信息

中文名 碳化硅MOSFET 外文名 SiCMOSFET

碳化硅MOSFET碳化硅(SiC)MOSFET 建模

雖然SiC MOSFET比傳統(tǒng)的Si MOSFET有很多優(yōu)點,但其昂貴的價格卻限制了SiC MOSFET的廣泛應用。近年來隨著SiC技術的成熟,SiC MOSFET的價格已經有了顯著的下降,應用范圍也進一步擴展,在不久的將來必將成為新一代主流的低損耗功率器件。 在實際的工程應用及設計開發(fā)過程中,經常需要對SiC MOSFET的開關特性、靜態(tài)特性及功率損耗進行分析,以便對整個系統(tǒng)的效率做有效的評估。因此,有必要建立一個精確的SiC MOSFET模型作為工程應用中系統(tǒng)分析和效率評估的基礎。近年來,國內外研究人員對于SiC MOSFET的建模研究日漸深入,取得了較多的進展。其中部分文獻著重于SiC MOSFET物理特性的建模,但不適用于工程應用中的分析和評估。部分文獻采用了傳統(tǒng)Si MOSFET的建模思想,一篇弗吉尼亞理工的碩士畢業(yè)論文,對1200V20A的SiC MOSFET進行建模,但該模型僅在分立的溫度點下設置分立的參數組,其他溫度點進行線性插值,模型隨溫度變化時的準確度不能保證。北卡羅來納州立大學的王軍博士提出了一種適用于10kV SiC MOSFET的變溫度參數建模方法,對SiC MOSFET的建模具有普遍的指導意義,已得到業(yè)界比較廣泛的認可和接受,Rohm公司也相繼推出了600V及1200V的SiC MOSFET。因此,建立一個適用于目前主流中低壓SiC MOSFET的模型就顯得尤為重要。

碳化硅MOSFETSiC MOSFET 的驅動電路

由于SiC MOSFET器件特性與傳統(tǒng)的Si MOSFET有較大差別,SiC MOSFET驅動電路也是一項研究的重點。相比于Si MOSFET,SiC MOSFET的寄生電容更小。以量產的CMF20120D 為例, 其輸 入 電 容僅 有1915 pF, 但 與 其功 率 等 級 相 同 的 Si MOSFET IXFB30N120P的輸入電容有22.5nF,兩者相差超過十倍。因此,SiC MOSFET對驅動電路的寄生參數更敏感。另一方面,目前量產的SiC MOSFET的驅動電壓范圍為 -5V~ 25V ,建議驅動電壓一般為-2V/ 20V;而傳統(tǒng)的Si MOSFET的驅動電壓范圍為-30V~ 30V,建議驅動電壓一般為0/ 15V。因此,SiC MOSFET與傳統(tǒng)的Si MOSFET相比,安全閾值很小,驅動電路的一個電壓尖峰很可能就會擊穿GS之間的氧化層,這也是驅動電路需要精心設計的另一個原因。

量產的SiC MOSFET設計了專用的驅動芯片。另一家SiCMOSFET也提供了關于驅動的相關資料。CMF20120D技術手冊上提供的驅動電路,采用光耦隔離,驅動芯片采用IXDI414,-VEE與地之間需接入多個電容,以抵消線路感抗對驅動波形的影響。然而datasheet中并未給出 VCC和-VEE的電源解決方案,且IXDI414可提供14A的峰值電流,而實際應用過程中,驅動電路一般 很難從驅動芯片中抽取14A的電流,故這款驅動芯片并非很合適。

綜上所述,結合SiC MOSFET本身的特點及優(yōu)勢,其驅動電路的設計應滿足以下要求:

1) 滿足SiC MOSFET高速開關的要求,使用驅動能力較強的驅動芯片。

2) 盡量減小驅動電路寄生電感的影響,在PCB布局時應加入適量的吸收電容。

3) 為保證SiC MOSFET的可靠關斷,避免噪聲干擾可能導致的誤開通,應采用負壓關斷。

碳化硅MOSFET雙有源橋(DAB)研究及應用

雙有源橋(DAB)作為大功率隔離雙向DC-DC變換器的一種,其拓撲最早由DeDoncker于1988年提出DAB主要應用于HEV中蓄電池側與高壓直流母線之間的雙向能量傳輸、航空電源系統(tǒng)及新能源系統(tǒng)中,與其他大功率隔離雙向DC-DC變換器相比,DAB的最大優(yōu)勢是其功率密度大,且體積重量相對較小。DAB結構對稱,兩邊各由全橋結構的拓撲構成,可實現(xiàn)能量的雙向傳輸,且能實現(xiàn)兩側的電氣隔離。開關管應力較低,且沒有額外的濾波電感,僅通過變壓器的漏感作為能量傳輸單元,變換器可實現(xiàn)很高的功率密度。電流紋波不是很大,對輸入輸出側的濾波電容的要求不是很高。DAB在一定功率范圍內可以實現(xiàn)ZVS軟開關,這樣DAB的工作頻率就可以設置得較高,可進一步減小變壓器和濾波電容的體積,提高功率密度。

傳統(tǒng)的DAB一般采用移相控制,其中φ為移相角,變壓器原副邊匝比設為n。當功率從VL流向VH時,開關管Q1、Q4超前Q5、Q8;當功率從VH流向VL時,開關管Q5、Q8超前Q1、Q4。但傳統(tǒng)控制策略下的DAB有諸多問題,比如軟開關范圍窄、輕載時功率回流現(xiàn)象嚴重、電壓輸入范圍窄等。

功率回流

功率回流是指DAB在功率傳輸時,電感Ls上的電流和原邊側電壓存在相位相反的階段,導致功率流回電源中。

輸入電壓范圍

結合軟開關范圍和功率回流的分析,不難看出傳統(tǒng)移相控制DAB的又一個缺點:輸入電壓范圍窄。當DAB中變壓器原副邊匝數比n確定后,如果輸入電壓V1范圍變化較寬,則原副邊電壓d的變化范圍較寬,軟開關的范圍將受到嚴重限制,直接影響到變換器的效率。同樣的,當輸入電壓范圍變寬后,意味著移相角的變化范圍也必須相應變寬,較寬的電壓范圍必然會導致功率回流現(xiàn)象更嚴重。因此,為保證DAB能有較高的轉換效率,雙有源橋的輸入必須控制在較小范圍內。

針對傳統(tǒng)控制策略下 DAB 的諸多不足,從 2008 年起,國內外很多研究人員相繼提出了多種改進型的控制策略,對 DAB 的研究也進入了一個新的高度。改進型控制方法的主要思想是,不僅原副邊的開關管移相(即傳統(tǒng)控制方法,Q1、Q4及 Q5Q8有移相角 D2),而且同一側橋臂也設置移相角(Q1Q2Q3Q4存在移相 D1)。這些控制方式又能細分,有一側橋臂設置內移相角 D1,另一側橋臂仍用傳統(tǒng)的移相方法,不設置內移相角;或者原副邊都移相,均設置D1,但兩側的內移相角 D1可能不同。又根據 D1與 D2的大小關系,另結合 V1與 nV2的關系,有很多種不同的組合方式,從而有不一樣的模態(tài)。其最終的控制手段還是通過改變變壓器原副邊的電壓波形,從而改變加在 LS兩端的電壓,最終改變 LS的電流,達到不同的優(yōu)化目的。

通過改變內移相角 D1,可以改變變壓器兩端電壓 V1或 V2的波形,V1與 V2 9 的不同(包括幅值大小及相位差),即可達到控制 LS電流的目的,從而對軟開關范圍、功率回流等問題有所改善。

有文獻較系統(tǒng)地介紹了以上一些不同的控制方法,推導了部分控制模式下的數學模型。該文獻主要針對的是 ZVS 范圍及電感電流有效值來提高效率。文獻中提出,對于兩端口的DAB,兩側橋臂都設置移相角 D1的控制方法優(yōu)勢并不明顯。對于這種兩側都移相的控制方法在多端口的情況下還要做進一步分析。

有文獻針對功率回流的問題提出了改進的控制方法,該文獻采用的是兩側橋臂都移相的控制方法,不僅原副邊的 Q1Q2和 Q5Q6存在移相,同側橋臂的 Q1Q2和 Q3Q4也存在移相。這種控制方法的復雜之處在于,輸出功率是同時與 D1D2相關的,在同一個輸出功率下D1D2有很多種組合方式。如何通過 PI 調節(jié)獲得最優(yōu)化的 D1D2組合是控制策略優(yōu)化的關鍵。文獻中論述了在某些特性條件下,這種兩側移相的控制方法可以使功率回流為零,并論證了該特殊條件下可以實現(xiàn)全負載范圍的軟開關,動態(tài)特性較傳統(tǒng)移相控制方法更優(yōu)。 解讀詞條背后的知識

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      2019-06-070

碳化硅MOSFET造價信息

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在電力電子行業(yè)的發(fā)展過程中,半導體技術起到了決定性作用。其中,功率半導體器件一直被認為是電力電子設備的關鍵組成部分。隨著電力電子技術在工業(yè)、醫(yī)療、交通、消費等行業(yè)的廣泛應用,功率半導體器件直接影響著這些電力電子設備的成本和效率。自從二十世紀五十年代真空管被固態(tài)器件代替以來,以硅(Si)材料為主的功率半導體器件就一直扮演著重要的角色。功率雙極性晶體管及晶閘管的問世,大大減小的電力電子設備的體積重量,同時提高了變換效率。為了滿足更高工作頻率及更高功率等級的要求,IR(International Rectifier)公司研發(fā)出首款功率MOSFET,接下來的二十年,功率半導體器件進入一個蓬勃發(fā)展的時期,很多新型的功率器件,比如IGBT、GTO、IPM相繼問世,并且在相關領域內得到越來越廣泛的應用。功率硅器件的應用已經相當成熟,但隨著日益增長的行業(yè)需求,硅器件由于其本身物理特性的限制,已經開始不適用于一些高壓、高溫、高效率及高功率密度的應用場合。

半導體技術一直是推動電力電子行業(yè)發(fā)展的決定性力量。功率硅器件(silicon,Si)的應用已經相當成熟,但隨著日益增長的行業(yè)需求,硅器件由于其本身物理特性的限制,已經開始不適用于一些高壓、高溫、高效率及高功率密度的應用場合。

碳化硅(SiC)材料因其優(yōu)越的物理特性,開始受到人們的關注和研究。自從碳化硅1824年被瑞典科學家J?ns Jacob Berzelius發(fā)現(xiàn)以來,直到二十世紀五十年代后半期,才真正被納入到固體器件的研究中來。 二十世紀九十年代以來,碳化硅技術得到了迅速發(fā)展。

20 世紀90 年代以來,碳化硅(silicon carbide,SiC)MOSFET 技術的迅速發(fā)展,引起人們對這種新一代功率器件的廣泛關注[2-4]。與Si 材料相比,碳化硅材料較高的熱導率決定了其高電流密度的特性,較高的禁帶寬度又決定了SiC 器件的高擊穿場強和高工作溫度[5-6]。尤其在SiC MOSFET 的開發(fā)與應用方面,與相同功率等級的Si MOSFET 相比,SiC MOSFET 導通電阻、開關損耗大幅降低,適用于更高的工作頻率,另由于其高溫工作特性,大大提高了高溫穩(wěn)定性。但由于SiC MOSFET 的價格相當昂貴,限制了它的廣泛應用。

SiC材料與目前應該廣泛的Si材料相比,較高的熱導率決定了其高電流密度的特性,較高的禁帶寬度又決定了SiC器件的高擊穿場強和高工作溫度。其優(yōu)點主要可以概括為以下幾點:

1) 高溫工作

SiC在物理特性上擁有高度穩(wěn)定的晶體結構,其能帶寬度可達2.2eV至3.3eV,幾乎是Si材料的兩倍以上。因此,SiC所能承受的溫度更高,一般而言,SiC器件所能達到的最大工作溫度可到600 oC。

2) 高阻斷電壓

與Si材料相比,SiC的擊穿場強是Si的十倍多,因此SiC器件的阻斷電壓比Si器件高很多。

3) 低損耗

一般而言,半導體器件的導通損耗與其擊穿場強成反比,故在相似的功率等級下,SiC器件的導通損耗比Si器件小很多。且SiC器件導通損耗對溫度的依存度很小,SiC器件的導通損耗 隨溫度的變化很小,這與傳統(tǒng)的Si器件也有很大差別。

4) 開關速度快

SiC的熱導系數幾乎是Si材料的2.5倍,飽和電子漂移率是Si的2倍,所以SiC器件能在更高的頻率下工作。

綜合以上優(yōu)點,在相同的功率等級下,設備中功率器件的數量、散熱器的體積、濾波元件體積都能大大減小,同時效率也有大幅度的提升。

在SiC MOSFET的開發(fā)與應用方面,與相同功率等級的Si MOSFET相比,SiC MOSFET導通電阻、開關損耗大幅降低,適用于更高的工作頻率,另由于其高溫工作特性,大大提高了高溫穩(wěn)定性。1200V功率等級下,各類功率器件的特性比較結果,參與比較的SiC MOSFET是GE12N15L。需要指出的是,這些功率器件都為TO-247封裝,且IPW90R120C3耐壓僅為900V,但它已是所能找到的相似功率等級下,特性較好的Si MOSFET。

碳化硅MOSFET常見問題

  • 碳化硅的價格

    碳化硅 SiC >99% 8000元/噸 以上 SiC <98% 3800-4200元/噸價格近期來不是很穩(wěn)定,買賣都需慎重

  • 碳化硅和剛玉哪個耐磨

    最好的棕剛玉硬度是不是比碳化硅硬度會高一些。好的棕剛玉氧化鋁含量能達到96,所以硬度很高,由于它們的生產原材料不同,所以硬度也有差別,棕剛玉的莫氏硬度9.0.,而碳化硅則可以達到9.5,所以棕剛玉不能...

  • 碳化硅有什么用途?

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碳化硅MOSFET文獻

Rohm發(fā)布首款溝槽式碳化硅MOSFET Rohm發(fā)布首款溝槽式碳化硅MOSFET

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Rohm最新發(fā)表了他們首次采用溝槽式結構研制并大批量生產了碳化硅MOSFET。與傳統(tǒng)平面式碳化硅MOSFET相比,同樣芯片尺寸條件下,導通電阻降低了50%,極有可能也能大幅降低許多設備的功率損耗,如工業(yè)用轉換器和電源,電源和太陽能電力系統(tǒng)的電力調制器,太陽能功率系統(tǒng)調制器。近些年,世界范圍內越來越多的研究開始關注電力供應的解決方案,其中主要研究電源供應的轉換和已產生電力的高效輸運。碳化硅功率器件因為能

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碳化硅生產新工藝,碳化硅制備加工配方設計,碳化硅技術專利全集 碳化硅生產新工藝,碳化硅制備加工配方設計,碳化硅技術專利全集

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碳化硅生產新工藝與制備加工配方設計及技術專利全集 主編:國家專利局編寫組 出版發(fā)行:中國知識出版社 2011年 規(guī)格:全四卷 16 開精裝 +1張 CD光盤 定價: 1180元 優(yōu)惠價: 680元 詳細目錄 1 200410030786.8 鋁電解槽側墻用氮化硅結合碳化硅耐火磚及其制 備方法 2 200410023747.5 一種向缸套鉻層內部擠入碳化硅的方法 3 200410012271.5 一種制備碳化硅納米纖維的方法 4 200410020538.5 黑色碳化硅冶煉降低單位耗料的工藝 5 200410026085.7 一種碳化硅發(fā)熱元件冷端部的制造方法 6 200410026086.1 酚醛樹脂作為結合劑的碳化硅陶瓷常溫擠壓成形 方法 7 02822412.4 大面積碳化硅器件及其制造方法 8 03125220.6 摻加助劑熱壓燒結塊體鈦碳化硅陶瓷材料的方法 9 03138926.0

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引言

碳化硅功率器件近年來越來越廣泛應用于工業(yè)領域,受到大家的喜愛,不斷地推陳出新,大量的更高電壓等級、更大電流等級的產品相繼推出,市場反應碳化硅元器件的效果非常好,但似乎對于碳化硅元器件的普及還有一些技術難題。

碳化硅mos對比硅mos的11大優(yōu)勢

1SiC器件的結構和特征

Si材料中,越是高耐壓器件其單位面積的導通電阻就越大(通常以耐壓值的大概2-2.5次方的比例增加),因此600V以上的電壓中主要采用IGBT(絕緣柵極雙極型晶體管)。IGBT通過電導率調制,向漂移層內注入作為少數載流子的空穴,因此導通電阻比MOSFET還要小,但是同時由于少數載流子的積聚,在關斷時會產生尾電流,從而造成極大的開關損耗。

SiC器件漂移層的阻抗比Si器件低,不需要進行電導率調制就能夠以高頻器件結構的MOSFET實現(xiàn)高耐壓和低阻抗。而且MOSFET原理上不產生尾電流,所以用SiC MOSFET替代IGBT時,能夠明顯地減少開關損耗,并且實現(xiàn)散熱部件的小型化。另外,SiC MOSFET能夠在IGBT不能工作的高頻條件下驅動,從而也可以實現(xiàn)被動器件的小型化。與600V~1200V的Si MOSFET相比,SiC MOSFET的優(yōu)勢在于芯片面積?。梢詫崿F(xiàn)小型封裝),而且體二極管的恢復損耗非常小。

2SiC Mosfet的導通電阻

SiC 的絕緣擊穿場強是Si 的10倍,所以能夠以低阻抗、薄厚度的漂移層實現(xiàn)高耐壓。因此,在相同的耐壓值的情況下,SiC 可以得到標準化導通電阻(單位面積導通電阻)更低的器件。例如900V時,SiC‐MOSFET 的芯片尺寸只需要Si‐MOSFET 的35分之1、SJ‐MOSFET 的10分之1,就可以實現(xiàn)相同的導通電阻。不僅能夠以小封裝實現(xiàn)低導通電阻,而且能夠使門極電荷量Qg、結電容也變小。目前SiC 器件能夠以很低的導通電阻輕松實現(xiàn)1700V以上的耐壓。因此,沒有必要再采用IGBT這種雙極型器件結構(導通電阻變低,則開關速度變慢) ,就可以實現(xiàn)低導通電阻、高耐壓、快速開關等各優(yōu)點兼?zhèn)涞钠骷?/p>

3Vd-Id特性

SiC‐MOSFET 與IGBT 不同,不存在開啟電壓,所以從小電流到大電流的寬電流范圍內都能夠實現(xiàn)低導通損耗。而Si MOSFET 在150℃時導通電阻上升為室溫條件下的2 倍以上,與Si MOSFET 不同,SiC MOSFET的上升率比較低,因此易于熱設計,且高溫下的導通電阻也很低。

4驅動門極電壓和導通電阻

SiC‐MOSFET 的漂移層阻抗比Si MOSFET 低,但是另一方面,按照現(xiàn)在的技術水平,SiC MOSFET的MOS 溝道部分的遷移率比較低,所以溝道部的阻抗比Si 器件要高。因此,越高的門極電壓,可以得到越低的導通電阻(Vgs=20V 以上則逐漸飽和)。如果使用一般IGBT 和Si MOSFET 使用的驅動電壓Vgs=10~15V 的話,不能發(fā)揮出SiC 本來的低導通電阻的性能,所以為了得到充分的低導通電阻,推薦使用Vgs=18V左右進行驅動。Vgs=13V 以下的話,有可能發(fā)生熱失控,請注意不要使用。

5Vg-Id特性

SiC MOSFET 的閾值電壓在數mA 的情況下定義的話,與Si‐MOSFET 相當,室溫下大約3V(常閉)。但是,如果流通幾個安培電流的話,需要的門極電壓在室溫下約為8V 以上,所以可以認為針對誤觸發(fā)的耐性與IGBT 相當。溫度越高,閾值電壓越低。

6Turn-On特性

SiC‐MOSFET 的Turn‐on 速度與Si IGBT 和Si MOSFET 相當,大約幾十ns。但是在感性負載開關的情況下,由通往上臂二極管的回流產生的恢復電流也流過下臂,由于各二極管性能的偏差,從而產生很大的損耗。Si FRD 和Si MOSFET 中的體二極管的通?;謴碗娏鞣浅4?,會產生很大的損耗,而且在高溫下該損耗有進一步增大的趨勢。與此相反,SiC二極管不受溫度影響,可以快速恢復,SiC MOSFET 的體二極管雖然Vf 較高但是與碳化硅二極管相同,具有相當的快速恢復性能。通過這些快速恢復性能,可以減少Turn‐on 損耗(Eon)好幾成。開關速度極大程度上決定于外部的門極電阻Rg。為了實現(xiàn)快速動作,推薦使用幾Ω左右的低阻值門極電阻。另外還需要考慮到浪涌電壓,選擇合適的門極電阻。

7Turn-Off特性

SiC MOSFET 的最大特點是原理上不會產生如IGBT中經常見到的尾電流。SiC 即使在1200V 以上的耐壓值時也可以采用快速的MOSFET 結構,所以,與IGBT 相比,Turn‐off 損耗(Eoff)可以減少約90%,有利于電路的節(jié)能和散熱設備的簡化、小型化。而且,IGBT 的尾電流會隨著溫度的升高而增大,而SiC‐MOSFET 幾乎不受溫度的影響。另外,由于較大的開關損耗引起的發(fā)熱會致使結點溫度(Tj)超過額定值,所以IGBT 通常不能在20KHz 以上的高頻區(qū)域內使用,但SiC MOSFET 由于Eoff 很小,所以可以進行50KHz 以上的高頻開關動作。通過高頻化,可以使濾波器等被動器件小型化。

8內部門極電阻

芯片內部門極電阻與門極電極材料的薄層阻抗和芯片尺寸相關。如果是相同的設計,芯片內部門極電阻與芯片尺寸呈反比例,芯片尺寸越小,門極電阻越大。SiC MOSFET 的芯片尺寸比Si 器件小,雖然結電容更小,但是同時門極電阻也就更大。

9門極驅動電路

SiC MOSFET 是一種易于驅動、驅動功率較少的常閉型、電壓驅動型的開關器件。基本的驅動方法和IGBT 以及Si MOSFET一樣。推薦的驅動門極電壓,ON 側時為+18V 左右,OFF 側時為0V。在要求高抗干擾性和快速開關的情況下,也可以施加‐3~‐5V 左右的負電壓。當驅動大電流器件和功率模塊時,推薦采用緩沖電路。

10體二極管的 Vf 和逆向導通

與Si MOSFET 一樣,SiC MOSFET體內也存在因PN結而形成的體二極管(寄生二極管)。但是由于SiC的帶隙是Si的3倍,所以SiC MOSFET的PN二極管的開啟電壓大概是3V左右,比較大,而且正向壓降(Vf)也比較高。以往,當Si MOSFET外置回流用的快速二極管時,由于體二極管和外置二極管的Vf大小相等,為了防止朝向恢復慢的體二極管側回流,必須在MOSFET上串聯(lián)低電壓阻斷二極管,這樣的話,既增加了器件數量,也使導通損耗進一步惡化。然而,SiC MOSFET的體二極管的Vf 比回流用的快速二極管的Vf還要高出很多,所以當逆向并聯(lián)外置二極管時,不需要串聯(lián)低壓阻斷二極管。

體二極管的Vf比較高,這一問題可以通過如同整流一樣向門極輸入導通信號使其逆向導通來降低。逆變驅動時,回流側的臂上多數是在死區(qū)時間結束之后輸入門極導通信號(請確認使用中的CPU的動作),體二極管的通電只在死區(qū)時間期間發(fā)生,之后基本上是經由溝道逆向流過。因此,即使在只由MOSFET(無逆向并聯(lián)的SBD)構成的橋式電路中,體二極管的Vf較高也沒有問題。

11體二極管的恢復特性

SiC MOSFET的體二極管雖然是PN 二極管,但是少數載流子壽命較短,所以基本上沒有出現(xiàn)少數載流子的積聚效果,與SBD 一樣具有超快速恢復性能(幾十ns)。因此Si MOSFET的體二極管與IGBT外置的FRD相比,其恢復損耗可以減少到IGBT外置的FRD的幾分之一到幾十分之一。體二極管的恢復時間與SBD相同,是恒定的,不受正向輸入電流If的影響(dI/dt 恒定的情況下)。在逆變器應用中,即使只由MOSFET 構成橋式電路,也能夠實現(xiàn)非常小的恢復損耗,同時還預期可以減少因恢復電流而產生的噪音,達到降噪。

從以上這些方面就能看出SiC MOSFET相對于Si IGBT和MOSFET的優(yōu)勢所在。

碳化硅mos的技術難點

綜合各種報道,難題不在芯片的原理設計,特別是芯片結構設計解決好并不難。難在實現(xiàn)芯片結構的制作工藝。當然對于用戶最直接的原因是,SiC MOSFET 的價格相對較高。

舉例如下:

1摻雜工藝有特殊要求。如用擴散方法進行慘雜,碳化硅擴散溫度遠高于硅,此時掩蔽用的SiO2層已失去了掩蔽作用,而且碳化硅本身在這樣的高溫下也不穩(wěn)定,因此不宜采用擴散法摻雜,而要用離子注入摻雜。如果p型離子注入的雜質使用鋁。由于鋁原子比碳原子大得多,注入對晶格的損傷和雜質處于未激活狀態(tài)的情況都比較嚴重,往往要在相當高的襯底溫度下進行,并在更高的溫度下退火。這樣就帶來了晶片表面碳化硅分解、硅原子升華的問題。目前,p型離子注入的問題還比較多,從雜質選擇到退火溫度的一系列工藝參數都還需要優(yōu)化。

2歐姆接觸的制作。歐姆接觸是器件電極引出十分重要的一項工藝。在碳化硅晶片上制造金屬電極,要求接觸電阻低于10- 5Ωcm2,電極材料用Ni和Al可以達到,但在100℃ 以上時熱穩(wěn)定性較差。采用Al/Ni/W/Au復合電極可以把熱穩(wěn)定性提高到600℃、100h ,不過其接觸比電阻高達10- 3Ωcm2 。所以要形成好的碳化硅的歐姆接觸比較難。

3配套材料的耐溫。碳化硅芯片可在600℃溫度下工作,但與其配套的材料就不見得能耐此高溫。例如,電極材料、焊料、外殼、絕緣材料等都限制了工作溫度的提高。

以上僅舉數例,不是全部。還有一些工藝問題還沒有理想的解決辦法,如碳化硅半導體表面挖槽工藝、終端鈍化工藝、柵氧層的界面態(tài)對碳化硅MOSFET器件的長期穩(wěn)定性影響方面,行業(yè)中還有沒有達成一致的結論等,影響了碳化硅功率器件的快速發(fā)展。

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MOSFET驅動器是一款高頻高電壓柵極驅動器,可利用一個同步 DC/DC 轉換器和高達 100V 的電源電壓來驅動兩個 N 溝道 MOSFET。強大的驅動能力降低了具高柵極電容 MOSFET 中的開關損耗。針對兩個與電源無關的輸入進行配置。高壓側輸入邏輯信號在內部被電平移位至自舉電源,此電源可以在高出地電位達 114V 的電壓條件下運行。

碳化硅磚http://www.rewell.net是以碳化硅為主要原料,將高純度碳化硅粉及高活性碳化硅微分混煉,經注漿成型后在高溫下真空燒結使其再結晶的高檔耐火磚。

碳化硅磚的主要含量是SiC,含量在72%-99%。碳化硅磚因結合方式不同,所應用的行業(yè)及熱工設備也有差別。瑞沃碳化硅磚生產廠家按結合方式不同分為粘土結合、塞隆結合、氧化鋁結合、自結合、高鋁結合、氮化硅結合等等。碳化硅磚的用途有哪些?主要應用在什么地方?

碳化硅磚因使用原料為碳化硅,碳化硅又名金剛砂,是使用石英砂、焦炭、木屑等原料經電爐高溫冶煉而成。碳化硅由于化學性能穩(wěn)定、導熱系數高、熱膨脹系數小、耐磨性好,常用于制作高級耐火材料。

碳化硅磚利用碳化硅的耐腐蝕、耐高溫、強度大、導熱性好、抗沖擊等特性加工制作冶煉高溫爐襯,并應用于多種高溫熱工設備。

碳化硅磚用途

碳化硅磚因結合方式不同,它的用途也略有差異,碳化硅磚主要用途就是作為熱工設備的內襯,可根據熱工設備使用部位采用不同的結合方式加工制作不同規(guī)格的碳化硅制品,如碳化硅板、碳化硅環(huán)等。

碳化硅磚應用

碳化硅磚在冶金行業(yè)中,主要應用于鋁合金冶煉的熔鋁爐、鼓風爐的二次風口磚等;在電力行業(yè)中,主要應用于鍋爐,作為鍋爐燃燒室噴口;在生活垃圾處理行業(yè)中,應用于垃圾焚燒爐。

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