1、金剛石等多種薄膜的化學(xué)汽相沉積的研究;2、基片的刻蝕和灰化;3、作為高密度、寬束離子源;4、低溫氧化物的生長(zhǎng);5、等離子體表面處理和其它實(shí)驗(yàn)加工。
1、微波工作頻率:2450±50MHZ,微波輸出功率:0.5-5KW連續(xù)可調(diào);功率穩(wěn)定度:優(yōu)于±1%;2、輸出波導(dǎo)接口:BJ-26帶FD-26標(biāo)準(zhǔn)法蘭;3、微波反應(yīng)腔尺寸和工作模式:ф124×200(H),下注TM013模式;4、微波放電腔:多端口,帶雙層水冷;5、真空系統(tǒng):600L/min分子泵和旁路機(jī)組中氣壓真空測(cè)控;6、樣品支架系統(tǒng):基板直徑ф100mm;7、軸向調(diào)節(jié)距離:0-150mm。
等離子體聚合物在結(jié)構(gòu)上與普通的聚合物顯著不同,它能形成含有活性基團(tuán)的高度交聯(lián)的網(wǎng)絡(luò)結(jié)構(gòu),從而具有良好的均勻性及對(duì)基質(zhì)的附著性[1,2].有關(guān)采用等離子體聚合膜的TSM傳感器的報(bào)道不多[3,4],本室已...
冷卻液的作用把點(diǎn)火產(chǎn)生的高溫通過水道傳遞到散熱器,再由風(fēng)扇強(qiáng)制通風(fēng)散熱,把水溫溫度始終控制在110度以內(nèi)!
等離子體又叫做“電漿”,是由部分電子被剝奪后的原子及原子被電離后產(chǎn)生的正負(fù)電子組成的離子化氣體狀物質(zhì) 在人工生成等離子體的方法中,氣體放電法比加熱的辦法更加簡(jiǎn)便高效,如熒光燈、霓虹燈、電弧焊、電暈放電...
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道閘 主要功能: 功能一,手動(dòng)按鈕可作 ‘升’‘降’及‘停’操作、無線遙控可作 ‘升’‘降’‘?!皩?duì)手動(dòng)按鈕的 ‘加鎖’‘解鎖 ’操作 ; 功能二,停電自動(dòng)解鎖,停電后可手動(dòng)抬桿 ; 功能三,具有便于維護(hù)與調(diào)試的 ‘自檢模式 ’; 道閘 道閘又稱擋車器,最初從國(guó)外引進(jìn),英文名叫 Barrier Gate ,是專門用于道路上限 制機(jī)動(dòng)車行駛的通道出入口管理設(shè)備 ,現(xiàn)廣泛應(yīng)用于公路收費(fèi)站、 停車場(chǎng)系統(tǒng) 管理車 輛通道,用于管理車輛的出入。電動(dòng)道閘可單獨(dú)通過無線遙控實(shí)現(xiàn)起落桿,也可以通過 停車場(chǎng)管理系統(tǒng) (即 IC 刷卡管理系統(tǒng))實(shí)行自動(dòng)管理狀態(tài),入場(chǎng)取卡放行車輛,出場(chǎng) 時(shí),收取 停車費(fèi) 后自動(dòng)放行車輛。
電容耦合微波等離子體(焰炬)capaciti}cly coupled trii- }rnwa}e plasma 波為輻射頻率, ( torch ) E-大于〕1f1MI-}z(一般為24}n:'v1H} )微 功率在數(shù)百瓦到數(shù)千瓦的一種電容藕合等離 子體光源。由磁控管產(chǎn)生微波,通過同軸波導(dǎo)管傳輸?shù)揭桓?同軸電極上,在電極尖端生成等離子體(焰炬)。它可在大氣 壓下放電點(diǎn)燃二試樣霧化后隨載氣進(jìn)人等離子體激發(fā)發(fā)光。
采用HT-CVD 技術(shù)生產(chǎn)的硬質(zhì)涂層材料主要有:TiC、TiN、TiCN、Cr7C3、TiBN、Al2O3 等單涂層和它們的復(fù)合涂層材料。高溫化學(xué)氣相沉積工藝過程包括工件沉積前處理(工件清洗、強(qiáng)化處理等)、裝爐、檢漏、加熱升溫、沉積、冷卻、檢查和包裝等。
在整個(gè)沉積工藝過程中,要嚴(yán)格控制各加熱溫度和各種氣體流量。特別對(duì)CH4,TiCl4等反應(yīng)氣體通人時(shí)間和流量,更需按工藝要求控制到位,否則對(duì)涂層質(zhì)量會(huì)有很大影響。
沉積工藝舉例如下
TiC 涂層
沉積溫度:1000~1050℃
沉積室壓力: (1~2)×104Pa
沉積時(shí)間:60~ 180min
各反應(yīng)氣體流量: 主H2 7000~ 12000SCCM;CH4 4000-~8000SCCM (SCCM 即cm3/min);TiCl: 加熱溫度45~65℃;載氣H2 4000~6000SCCM
TiN 涂層
沉積溫度: 950~1000℃
沉積室壓力: (1~2)X104Pa
沉積時(shí)間:60~ 180min
各反應(yīng)氣體流量:主H2 8000~13000SCCM;N2 6000~ 10000SCCM;TiCl ;加熱溫度45~65℃;載氣H2 5000 9000SCCM2100433B
地面微波通信系統(tǒng)由視野范圍內(nèi)的兩個(gè)互相對(duì)準(zhǔn)方向的拋物面天線組成,能夠?qū)崿F(xiàn)視野范圍內(nèi)的微波通信。
地面微波通信系統(tǒng)主要作為計(jì)算機(jī)網(wǎng)絡(luò)的中繼鏈路,實(shí)現(xiàn)兩個(gè)或多個(gè)局域網(wǎng)的互連,擴(kuò)大網(wǎng)絡(luò)的覆蓋范圍。例如,兩個(gè)相距較遠(yuǎn)大樓中的局域網(wǎng)可以采用地面微波通信系統(tǒng)互相連通,實(shí)現(xiàn)數(shù)據(jù)通信。在某些情況下,這種遠(yuǎn)程連接方式可能比有線遠(yuǎn)程連接的費(fèi)用要低廉一些。