微柵

大多數(shù)透射電鏡樣品在制樣時(shí)，為了確保樣品能搭載在“載網(wǎng)”上，會(huì)在“載網(wǎng)”上覆一層有機(jī)膜，稱(chēng)為“支持膜”。這種具有支持膜的載網(wǎng)，稱(chēng)為“載網(wǎng)支持膜”。當(dāng)樣品接觸載網(wǎng)支持膜時(shí)，會(huì)很牢固的吸附在支持膜上，不至于從載網(wǎng)的孔洞處滑落，以便在電鏡上觀察。

當(dāng)樣品放在電鏡中觀察時(shí)，“載網(wǎng)支持膜”在電子束照射下，會(huì)產(chǎn)生電荷積累，引起樣品放電，從而發(fā)生樣品漂移、跳動(dòng)、支持膜破裂等情況。所以，人們考慮在支持膜上噴碳，提高支持膜的導(dǎo)電性，達(dá)到良好的觀察效果。這種經(jīng)過(guò)“噴碳的載網(wǎng)支持膜”，簡(jiǎn)稱(chēng)“碳支持膜”，一般膜厚度為7-10nm。

從制作成本和使用效果看，銅網(wǎng)最經(jīng)濟(jì)實(shí)用，所以被普遍采用。因此，人們經(jīng)常提到的“銅網(wǎng)支持膜”、“碳支持膜”、“碳膜”、“方華膜”等，甚至被誤稱(chēng)的“銅網(wǎng)”，大多是指這種具有“銅網(wǎng)噴碳的支持膜”。通常稱(chēng)“碳支持膜”。

準(zhǔn)確的說(shuō)，微柵是支持膜的一個(gè)品種，它是在制作支持膜時(shí)，特意在膜上制作的微孔，所以也叫“微柵支持膜”，它也是經(jīng)過(guò)噴碳的支持膜，一般膜厚度為15-20nm。它主要是為了能夠使樣品搭載在支持膜微孔的邊緣，以便使樣品“無(wú)膜”觀察。無(wú)膜的目的主要是為了提高圖像襯度，所以，觀察管狀、棒狀、納米團(tuán)聚物等，常用“微柵”支持膜，效果很好。特別是觀察這些樣品的高分辨像時(shí)，更是最佳的選擇。

超薄碳膜，也是支持膜的一種。它是在微柵的基礎(chǔ)上，疊加了一層很薄的碳膜，一般為3-5nm。這層超薄碳膜的目的，是用薄碳膜把微孔擋住。這主要是針對(duì)那些分散性很好的納米材料，如：10nm以下的樣品，分散性極好，如果用微柵就有可能從微孔中漏出，如果在微柵孔邊緣，由于膜厚可能會(huì)影響觀察。所以，用超薄碳膜，就會(huì)得到很好的效果。