自動(dòng)感應(yīng)耦合等離子體刻蝕機(jī)

離子體刻蝕。

1. 極限真空: 刻蝕室9.0×10-5 Pa (室內(nèi)濕度≤55%) 進(jìn)樣取樣室6.0×10-1 Pa。2. 刻蝕材料: 主要GaN、Sapphire材料，其它Poly-Si、Si、SiO2、Si3N4等。3. 刻蝕速率: 0.01~ 2μ/min（據(jù)不同材料與工藝而定）。4. 刻蝕均勻性: ≤±5％(φ150mm范圍內(nèi))。5. 電極尺寸: φ200mm。

刻蝕均勻性≤5％，金屬刻蝕對(duì)氧化物及硅選擇比≥3。

等離子刻蝕，是干法刻蝕中最常見(jiàn)的一種形式，其原理是暴露在電子區(qū)域的氣體形成等離子體，由此產(chǎn)生的電離氣體和釋放高能電子組成的氣體，從而形成了等離子或離子，電離氣體原子通過(guò)電場(chǎng)加速時(shí)，會(huì)釋放足夠的力量與表面驅(qū)逐力緊緊粘合材料或蝕刻表面。某種程度來(lái)講，等離子清洗實(shí)質(zhì)上是等離子體刻蝕的一種較輕微的情況。進(jìn)行干式蝕刻工藝的設(shè)備包括反應(yīng)室、電源、真空部分。工件送入被真空泵抽空的反應(yīng)室。氣體被導(dǎo)入并與等離子體進(jìn)行交換。等離子體在工件表面發(fā)生反應(yīng)，反應(yīng)的揮發(fā)性副產(chǎn)物被真空泵抽走。

諧振感應(yīng)耦合概述

該過(guò)程發(fā)生在諧振變壓器中，該諧振變壓器是由纏繞在相同鐵芯上的高Q線圈組成的電氣部件，電容器連接在線圈兩端以形成耦合LC電路。

最基本的諧振電感耦合由初級(jí)側(cè)的一個(gè)驅(qū)動(dòng)線圈和次級(jí)側(cè)的一個(gè)諧振電路組成。在這種情況下，當(dāng)從初級(jí)側(cè)觀察次級(jí)側(cè)的諧振狀態(tài)時(shí)，觀察到兩對(duì)共振。其中之一就是所謂的反諧振頻率（并聯(lián)諧振頻率1），以及另一種是所謂的諧振頻率（串聯(lián)諧振頻率1' ）。所述的短路電感和次級(jí)線圈的諧振電容器被組合成的諧振電路。當(dāng)初級(jí)線圈以次級(jí)側(cè)的諧振頻率（串聯(lián)諧振頻率）驅(qū)動(dòng)時(shí)，初級(jí)線圈和次級(jí)線圈的磁場(chǎng)的相位被同步。其結(jié)果，在二次線圈中產(chǎn)生由于互感磁通的增加，并且所述初級(jí)線圈的銅損降低的最大電壓，發(fā)熱減少，效率相對(duì)提高。所述的諧振感應(yīng)耦合是近場(chǎng)電能的無(wú)線傳輸磁耦合的線圈之間，這是一個(gè)的一部分諧振電路調(diào)諧到諧振以相同的頻率作為驅(qū)動(dòng)頻率。

諧振感應(yīng)耦合共振態(tài)的耦合系數(shù)

在變壓器中，只有部分通過(guò)初級(jí)線圈的電流產(chǎn)生的磁通耦合到次級(jí)線圈，反之亦然。耦合的部分稱為相互通量，不相耦合的部分稱為漏磁通。當(dāng)系統(tǒng)不處于共振狀態(tài)，這將導(dǎo)致出現(xiàn)在次級(jí)小于由線圈的匝數(shù)比預(yù)測(cè)開(kāi)路電壓。耦合程度由稱為耦合系數(shù)的參數(shù)捕獲。耦合系數(shù)k被定義為變壓器開(kāi)路電壓比與從一個(gè)線圈耦合到另一個(gè)線圈的所有磁通量所得到的比率之比。k的值介于0和±1之間。每個(gè)線圈電感可以概念上以比例k和（1-k）分成兩部分。這些分別是產(chǎn)生相互磁通的電感和產(chǎn)生漏磁通的電感。

耦合系數(shù)是系統(tǒng)幾何結(jié)構(gòu)的函數(shù)。它由兩個(gè)線圈之間的位置關(guān)系固定。在系統(tǒng)處于共振狀態(tài)和不處于共振狀態(tài)時(shí)，或者即使系統(tǒng)處于共振狀態(tài)并且產(chǎn)生大于匝數(shù)比的次級(jí)電壓時(shí)，耦合系數(shù)也不會(huì)改變。

據(jù)說(shuō)諧振系統(tǒng)是緊耦合的，松耦合的，臨界耦合的或過(guò)耦合的。如傳統(tǒng)鐵芯變壓器一樣，緊耦合是耦合系數(shù)大約為1時(shí)。過(guò)耦合是次級(jí)線圈如此接近并且互通量的形成受到反共振的影響而受到阻礙，并且當(dāng)通帶中的轉(zhuǎn)移是最佳時(shí)臨界耦合是。松散耦合是指線圈彼此遠(yuǎn)離時(shí)，大部分通量都會(huì)漏過(guò)輔助線圈。在特斯拉線圈中使用0.2左右，并且在更遠(yuǎn)的距離上，例如感應(yīng)無(wú)線電力傳輸，它可能低于0.01。2100433B