JJG74-2005工業(yè)過(guò)程測(cè)量記錄儀

過(guò)程測(cè)量與“成品測(cè)量”相對(duì)。一種偏重于操作過(guò)程的技能測(cè)定。在學(xué)生的職業(yè)技能訓(xùn)練中常采用。注重學(xué)生操作的質(zhì)量及效率，如操作程序、工作態(tài)度及速度等，以提供豐富的診斷性資料，有助于改善教學(xué)。方法主要是觀察，即由教師觀察學(xué)生的操作過(guò)程。

中文名稱

過(guò)程測(cè)量

英文名稱

process measurement

定　　義

獲取信息，以確定過(guò)程各變量的值的測(cè)量。

應(yīng)用學(xué)科

機(jī)械工程（一級(jí)學(xué)科），工業(yè)自動(dòng)化儀表與系統(tǒng)（二級(jí)學(xué)科），工業(yè)自動(dòng)化儀表與系統(tǒng)一般名詞（三級(jí)學(xué)科）

全國(guó)工業(yè)過(guò)程測(cè)量和控制標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)SAC/TC124（以下簡(jiǎn)稱標(biāo)委會(huì)）直屬中國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)，由全國(guó)工業(yè)自動(dòng)化領(lǐng)域中的各單位選舉產(chǎn)生，是國(guó)際電工委員會(huì)IEC/TC65和ISO/TC30的國(guó)內(nèi)對(duì)口單位。標(biāo)委會(huì)的運(yùn)作受中國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)領(lǐng)導(dǎo)，并接受中國(guó)機(jī)械工業(yè)聯(lián)合會(huì)及國(guó)家各有關(guān)部門(mén)的業(yè)務(wù)指導(dǎo)，在工業(yè)過(guò)程測(cè)量和控制領(lǐng)域內(nèi)開(kāi)展全國(guó)性標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)工作。

標(biāo)委會(huì)的工作范圍是工業(yè)過(guò)程測(cè)量和控制領(lǐng)域，在國(guó)際上直接對(duì)口IEC/TC65“工業(yè)過(guò)程測(cè)量和控制”和ISO/TC30“封閉管道中流體流量的測(cè)量”。其主要工作包括：制定工業(yè)過(guò)程測(cè)量和控制用通信網(wǎng)絡(luò)協(xié)議標(biāo)準(zhǔn)，各類儀器儀表、執(zhí)行機(jī)構(gòu)、控制設(shè)備標(biāo)準(zhǔn)和安全標(biāo)準(zhǔn)。

標(biāo)委會(huì)目前下設(shè)6個(gè)分委會(huì)，分別是SC1“溫度、物位、機(jī)械量?jī)x表及結(jié)構(gòu)裝置分委會(huì)”，SC2“控制儀表及裝置、工業(yè)控制計(jì)算機(jī)系統(tǒng)分委會(huì)”，SC3“壓力儀表分委會(huì)”，SC4“工業(yè)通信（現(xiàn)場(chǎng)總線）及系統(tǒng)分委會(huì)”，SC5“可編程序控制器及系統(tǒng)分委會(huì)”和SC6“分析儀器及分析技術(shù)分委會(huì)”。標(biāo)委會(huì)現(xiàn)有委員近300人，分布在全國(guó)各有關(guān)行業(yè)。

橢偏儀測(cè)量橢偏參數(shù)

在橢偏測(cè)量過(guò)程中，有兩個(gè)橢偏參數(shù)非常關(guān)鍵。（標(biāo)準(zhǔn)）橢圓偏振測(cè)量四個(gè)史托克參數(shù)(Stokes parameters)中的兩個(gè)，通常以Δ及Φ來(lái)表示。TanΦ為反射后之振幅比，Δ為相位移（相差）。由于橢圓偏振系測(cè)量?jī)身?xiàng)之比值（或差異）而非其絕對(duì)數(shù)值，因此這技術(shù)所得的數(shù)據(jù)是相當(dāng)正確且可再現(xiàn)的，其對(duì)散射及擾動(dòng)等因素較不敏感，且不需要標(biāo)準(zhǔn)樣品或參考樣品。

橢偏儀測(cè)量數(shù)據(jù)分析和擬合

橢圓偏振為間接量測(cè)的技術(shù)，也就是說(shuō)，一般測(cè)得的Δ及Φ并不能直接轉(zhuǎn)換為樣品的光學(xué)常數(shù)，通常需要建構(gòu)模型來(lái)進(jìn)行分析。只有對(duì)于無(wú)限厚（約厘米等級(jí)）、各向同性且均勻的膜，才可能直接轉(zhuǎn)換得到其Δ及Φ之?dāng)?shù)值。在所有其他的情形下，則必需建構(gòu)其層狀模型，并考慮所有各層之各別的光學(xué)常數(shù)如(折射率或介電常數(shù))及厚度，且依正確的層畳順序建立。再借由多次最小方差法最適化，變動(dòng)未知的光學(xué)常數(shù)及(或)厚度參數(shù)，以之代入菲涅耳方程計(jì)算求得其對(duì)應(yīng)Δ及Φ數(shù)值。最后，所得最接近實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)之Δ及Φ數(shù)值，其參數(shù)來(lái)源的光學(xué)常數(shù)及(或)厚度可視為此量測(cè)之最適化結(jié)果。

橢偏儀測(cè)量橢偏測(cè)量結(jié)果

橢偏測(cè)量可取得薄膜的介電性質(zhì)（復(fù)數(shù)折射率或介電常數(shù)）。它已被應(yīng)用在許多不同的領(lǐng)域，從基礎(chǔ)研究到工業(yè)應(yīng)用，如半導(dǎo)體物理研究、微電子學(xué)和生物學(xué)。橢圓偏振是一個(gè)很敏感的薄膜性質(zhì)測(cè)量技術(shù)，且具有非破壞性和非接觸之優(yōu)點(diǎn)。

分析自樣品反射之偏振光的改變，橢圓偏振技術(shù)可得到膜厚比探測(cè)光本身波長(zhǎng)更短的薄膜資訊，小至一個(gè)單原子層，甚至更小。橢圓儀可測(cè)得復(fù)數(shù)折射率或介電函數(shù)張量，可以此獲得基本的物理參數(shù)，并且這與各種樣品的性質(zhì)，包括形態(tài)、晶體質(zhì)量、化學(xué)成分或?qū)щ娦?，有所關(guān)聯(lián)。它常被用來(lái)鑒定單層或多層堆棧的薄膜厚度，可量測(cè)厚度由數(shù)埃（Angstrom）或數(shù)納米到幾微米皆有極佳的準(zhǔn)確性。

橢偏儀測(cè)量被測(cè)材料

半導(dǎo)體物理、通訊、數(shù)據(jù)存儲(chǔ)、光學(xué)鍍膜、平板顯示器、表界面科學(xué)研究、物理、化學(xué)、生物、醫(yī)藥、介電材料、有機(jī)高分子聚合物、金屬氧化物、金屬鈍化膜、各種液體薄膜、自組裝單分子層、多層膜物質(zhì)等等