電子工業(yè)用超純水設(shè)備工藝比較

目前制備電子工業(yè)用超純水的工藝基本上是以上三種，其余的工藝流程大都是在以上三種基本工藝流程的基礎(chǔ)上進(jìn)行不同組合搭配衍生而來?，F(xiàn)將他們的優(yōu)缺點(diǎn)分別列于下面:

1、第一種采用離子交換樹脂其優(yōu)點(diǎn)在于初投資少，占用的地方少，但缺點(diǎn)就是需要經(jīng)常進(jìn)行離子再生，耗費(fèi)大量酸堿，而且對環(huán)境有一定的破壞。

2、第二種采用反滲透作為預(yù)處理再配上離子交換設(shè)備，其特點(diǎn)為初投次比采用離子交換樹脂方式要高，但離子設(shè)備再生周期相對要長，耗費(fèi)的酸堿比單純采用離子樹脂的方式要少很多。但對環(huán)境還是有一定的破壞性。

3、第三種采用反滲透作預(yù)處理再配上電去離子(EDI)裝置，這是目前制取超純水最經(jīng)濟(jì)，最環(huán)保用來制取超純水的工藝，不需要用酸堿進(jìn)行再生便可連續(xù)制取超純水，對環(huán)境沒什么破壞性。其缺點(diǎn)在于初投資相對以上兩種方式過于昂貴。

工藝大致分成以下3種:

1、采用離子交換樹脂制備電子工業(yè)超純水的傳統(tǒng)水處理方式，其基本工藝流程為:原水→多介質(zhì)過濾器→活性炭過濾器→精密過濾器→中間水箱→陽床→陰床→混床(復(fù)床)→超純水箱→超純水泵→后置保安過濾器→用水點(diǎn)

2、采用反滲透水處理設(shè)備與離子交換設(shè)備進(jìn)行組合制備電子工業(yè)超純水的方式，其基本工藝流程為:原水→多介質(zhì)過濾器→活性炭過濾器→精密過濾器→中間水箱→反滲透設(shè)備→混床(復(fù)床)→超純水箱→超純水泵→后置保安過濾器→用水點(diǎn)

3、采用反滲透設(shè)備與電去離子(EDI)設(shè)備進(jìn)行搭配制備電子工業(yè)超純水的的方式，這是一種制取超純水的最新工藝，也是一種環(huán)保，經(jīng)濟(jì)，發(fā)展?jié)摿薮蟮某兯苽涔に?，其基本工藝流程?原水→多介質(zhì)過濾器→活性炭過濾器→精密過濾器→中間水箱→反滲透設(shè)備→電去離子(EDI)→超純水箱→超純水泵→后置保安過濾器→用水點(diǎn)

半導(dǎo)體、集成電路芯片及封裝、液晶顯示、高精度線路板、光電器件、各種電子器件、微電子工業(yè)、大規(guī)模、超大規(guī)模集成電路需用大量的純水、高純水、超純水清洗半成品、成品。集成電路的集成度越高，線寬越窄，對水質(zhì)的要求也越高。目前我國電子工業(yè)部把電子級水質(zhì)技術(shù)分為五個(gè)行業(yè)等級，分別為18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm，以區(qū)分不同水質(zhì)。

原水箱、中間水箱、RO純水水箱、超純水水箱均設(shè)有液位控制系統(tǒng)、高低壓水泵均設(shè)有高低壓壓力保護(hù)裝置、在線水質(zhì)檢測控制儀表、電氣采用PLC可編程控制器，真正做到了無人值守，同時(shí)在工藝選材上采用推薦和客戶要求相統(tǒng)一的方法，使該設(shè)備與其它同類產(chǎn)品相比較，具有更高的性價(jià)比和設(shè)備可靠性。

1、半導(dǎo)體材料、器件、印刷電路板和集成電路成品、半成品用超純水;

2、超純材料和超純化學(xué)試劑勾兌用超純水;

3、實(shí)驗(yàn)室和中試車間用超純水;

4、汽車、家電表面拋光處理;

5、光電子產(chǎn)品;

6、其他高科技精微產(chǎn)品;

7、食品加工類產(chǎn)品，如鹽

8、光伏、血透、

1. 水垢

在循環(huán)冷卻水系統(tǒng)中，碳酸氫鹽的濃度隨蒸發(fā)濃縮而增加。嚴(yán)重時(shí)，是換熱器堵塞，系統(tǒng)阻力增大，水泵和冷卻塔效率下降，生產(chǎn)能耗增加，產(chǎn)量下降，加快局部腐蝕，甚至造成非正常停產(chǎn)。

2腐蝕

循環(huán)冷卻水系統(tǒng)中，大量設(shè)備是金屬制造，長期使用循環(huán)冷卻水，會發(fā)生腐蝕穿孔。這是由多種因素造成的，主要是冷卻水中溶解氧引起的電化學(xué)腐蝕;有害離子引起的腐蝕;微生物引起的腐蝕等。設(shè)備管壁腐蝕穿孔，會形成滲漏，或是工藝介質(zhì)泄漏入冷卻水中，損失物料，污染水體，造成經(jīng)濟(jì)瑣事，影響安全生產(chǎn)。

2. 藻類及生物菌泥

在循環(huán)水中，由于養(yǎng)分的濃縮，水溫升高和日光照射給細(xì)菌和藻類的迅速繁殖創(chuàng)造了條件。細(xì)菌分泌的粘液使水中漂浮的灰塵雜質(zhì)和化學(xué)沉淀物等黏附在一起，形成沉積物附著在傳熱表面，即生物粘泥或軟垢。粘泥附著會引起腐蝕，冷卻水流量減少，進(jìn)兒降低冷卻效率;嚴(yán)重時(shí)會堵死管道，迫使停產(chǎn)清洗。

工業(yè)水處理工藝采用絮凝加藥裝置在泵前往循環(huán)冷卻水中投加絮凝劑，原水通過增壓泵增壓后，絮凝劑經(jīng)水泵葉輪攪拌后均勻混合將原水中的細(xì)小固體顆粒懸浮物進(jìn)行微絮凝反應(yīng)，快速生成體積大于5微米的絮體，流經(jīng)過濾系統(tǒng)管路進(jìn)入全效循環(huán)水處理系統(tǒng)，再被過濾器內(nèi)濾料過濾截留，最后合格水流回循環(huán)水管。本設(shè)備采用氣水聯(lián)合沖洗，反洗空氣由風(fēng)機(jī)提供，反洗水由反沖洗泵提供。

1、采用離子交換方式，其流程如下:

原水→原水加壓泵→多介質(zhì)過濾器→活性炭過濾器→軟水器→精密過濾器→陽樹脂過濾床→陰樹脂過濾床→陰陽樹脂混床→微孔過濾器→用水點(diǎn)

2、采用兩級反滲透方式，其流程如下:

原水→原水加壓泵→多介質(zhì)過濾器→活性炭過濾器→軟水器→精密過濾器→第一級反滲透 →PH調(diào)節(jié)→中間水箱→第二級反滲透(反滲透膜表面帶正電荷)→純化水箱→純水泵→微孔過濾器→用水點(diǎn)

3、采用EDI方式，其流程如下:

原水→原水加壓泵→多介質(zhì)過濾器→活性炭過濾器→軟水器→精密過濾器→一級反滲透機(jī)→中間水箱→中間水泵→EDI系統(tǒng)→微孔過濾器→用水點(diǎn)

1)離子交換過程:此過程靠離子交換樹脂對水中電解質(zhì)離子的交換作用，達(dá)到去除水中的離子。

2)電滲析過程:在外電場作用下，水中的電解質(zhì)通過離子交換膜進(jìn)行選擇性遷移，從而達(dá)到去除離子的作用。

3)電化學(xué)再生過程:利用電滲析的極化過程產(chǎn)生的H+和OH-離子及樹脂本身的水解作用對樹脂進(jìn)行電化學(xué)再生。