電子工業(yè)用超純水設備工藝流程

半導體、集成電路芯片及封裝、液晶顯示、高精度線路板、光電器件、各種電子器件、微電子工業(yè)、大規(guī)模、超大規(guī)模集成電路需用大量的純水、高純水、超純水清洗半成品、成品。集成電路的集成度越高，線寬越窄，對水質(zhì)的要求也越高。目前我國電子工業(yè)部把電子級水質(zhì)技術分為五個行業(yè)等級，分別為18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm，以區(qū)分不同水質(zhì)。

目前制備電子工業(yè)用超純水的工藝基本上是以上三種，其余的工藝流程大都是在以上三種基本工藝流程的基礎上進行不同組合搭配衍生而來?，F(xiàn)將他們的優(yōu)缺點分別列于下面:

1、第一種采用離子交換樹脂其優(yōu)點在于初投資少，占用的地方少，但缺點就是需要經(jīng)常進行離子再生，耗費大量酸堿，而且對環(huán)境有一定的破壞。

2、第二種采用反滲透作為預處理再配上離子交換設備，其特點為初投次比采用離子交換樹脂方式要高，但離子設備再生周期相對要長，耗費的酸堿比單純采用離子樹脂的方式要少很多。但對環(huán)境還是有一定的破壞性。

3、第三種采用反滲透作預處理再配上電去離子(EDI)裝置，這是目前制取超純水最經(jīng)濟，最環(huán)保用來制取超純水的工藝，不需要用酸堿進行再生便可連續(xù)制取超純水，對環(huán)境沒什么破壞性。其缺點在于初投資相對以上兩種方式過于昂貴。

原水箱、中間水箱、RO純水水箱、超純水水箱均設有液位控制系統(tǒng)、高低壓水泵均設有高低壓壓力保護裝置、在線水質(zhì)檢測控制儀表、電氣采用PLC可編程控制器，真正做到了無人值守，同時在工藝選材上采用推薦和客戶要求相統(tǒng)一的方法，使該設備與其它同類產(chǎn)品相比較，具有更高的性價比和設備可靠性。

1、半導體材料、器件、印刷電路板和集成電路成品、半成品用超純水;

2、超純材料和超純化學試劑勾兌用超純水;

3、實驗室和中試車間用超純水;

4、汽車、家電表面拋光處理;

5、光電子產(chǎn)品;

6、其他高科技精微產(chǎn)品;

7、食品加工類產(chǎn)品，如鹽

8、光伏、血透、

1. 水垢

在循環(huán)冷卻水系統(tǒng)中，碳酸氫鹽的濃度隨蒸發(fā)濃縮而增加。嚴重時，是換熱器堵塞，系統(tǒng)阻力增大，水泵和冷卻塔效率下降，生產(chǎn)能耗增加，產(chǎn)量下降，加快局部腐蝕，甚至造成非正常停產(chǎn)。

2腐蝕

循環(huán)冷卻水系統(tǒng)中，大量設備是金屬制造，長期使用循環(huán)冷卻水，會發(fā)生腐蝕穿孔。這是由多種因素造成的，主要是冷卻水中溶解氧引起的電化學腐蝕;有害離子引起的腐蝕;微生物引起的腐蝕等。設備管壁腐蝕穿孔，會形成滲漏，或是工藝介質(zhì)泄漏入冷卻水中，損失物料，污染水體，造成經(jīng)濟瑣事，影響安全生產(chǎn)。

2. 藻類及生物菌泥

在循環(huán)水中，由于養(yǎng)分的濃縮，水溫升高和日光照射給細菌和藻類的迅速繁殖創(chuàng)造了條件。細菌分泌的粘液使水中漂浮的灰塵雜質(zhì)和化學沉淀物等黏附在一起，形成沉積物附著在傳熱表面，即生物粘泥或軟垢。粘泥附著會引起腐蝕，冷卻水流量減少，進兒降低冷卻效率;嚴重時會堵死管道，迫使停產(chǎn)清洗。

工業(yè)水處理工藝采用絮凝加藥裝置在泵前往循環(huán)冷卻水中投加絮凝劑，原水通過增壓泵增壓后，絮凝劑經(jīng)水泵葉輪攪拌后均勻混合將原水中的細小固體顆粒懸浮物進行微絮凝反應，快速生成體積大于5微米的絮體，流經(jīng)過濾系統(tǒng)管路進入全效循環(huán)水處理系統(tǒng)，再被過濾器內(nèi)濾料過濾截留，最后合格水流回循環(huán)水管。本設備采用氣水聯(lián)合沖洗，反洗空氣由風機提供，反洗水由反沖洗泵提供。

1、采用離子交換方式，其流程如下:

原水→原水加壓泵→多介質(zhì)過濾器→活性炭過濾器→軟水器→精密過濾器→陽樹脂過濾床→陰樹脂過濾床→陰陽樹脂混床→微孔過濾器→用水點

2、采用兩級反滲透方式，其流程如下:

原水→原水加壓泵→多介質(zhì)過濾器→活性炭過濾器→軟水器→精密過濾器→第一級反滲透 →PH調(diào)節(jié)→中間水箱→第二級反滲透(反滲透膜表面帶正電荷)→純化水箱→純水泵→微孔過濾器→用水點

3、采用EDI方式，其流程如下:

原水→原水加壓泵→多介質(zhì)過濾器→活性炭過濾器→軟水器→精密過濾器→一級反滲透機→中間水箱→中間水泵→EDI系統(tǒng)→微孔過濾器→用水點

1)離子交換過程:此過程靠離子交換樹脂對水中電解質(zhì)離子的交換作用，達到去除水中的離子。

2)電滲析過程:在外電場作用下，水中的電解質(zhì)通過離子交換膜進行選擇性遷移，從而達到去除離子的作用。

3)電化學再生過程:利用電滲析的極化過程產(chǎn)生的H+和OH-離子及樹脂本身的水解作用對樹脂進行電化學再生。