高能離子注入機(jī)

半導(dǎo)體離子注入工藝 09電科 A柯鵬程 0915221019 離子注入法摻雜和擴(kuò)散法摻雜對比來說，它的加工溫度低、容易制作淺結(jié)、均勻的 大面積注入雜質(zhì)、易于自動化等優(yōu)點。當(dāng)前，離子注入法已成為超大規(guī)模集成電路 制造中不可缺少的摻雜工藝。離子注入是一種將帶點的且具有能量的粒子注入襯底 硅的過程。注入能量介于 1eV到 1MeV之間，注入深度平均可達(dá) 10nm~10um。相對 擴(kuò)散工藝，粒子注入的主要好處在于能更準(zhǔn)確地控制雜質(zhì)參雜、可重復(fù)性和較低的 工藝溫度。 1.離子注入原理 : 離子是原子或分子經(jīng)過離子化后形成的，即等離子體，它帶有一定量的電荷?？赏?過電場對離子進(jìn)行加速，利用磁場使其運(yùn)動方向改變，這樣就可以控制離子以一定 的能量進(jìn)入 wafer 內(nèi)部達(dá)到摻雜的目的。 離子注入到 wafer 中后，會與硅原子碰撞而損失能量， 能量耗盡離子就會停在 wafer 中某位置。離子通過與硅原子

詳細(xì)描述了離子注入技術(shù)在泥漿泵缸套表面改性中的研究和應(yīng)用，提出了離子注入高鉻鑄鐵缸套表面改性的機(jī)制，通過樣品實驗和現(xiàn)場實驗得到最佳離子注入工藝，使改性后的缸套籌命、丁晴橡膠活塞的使用壽命得到提高。本項技術(shù)可提高石油鉆井的生產(chǎn)效率，降低成本，為國家節(jié)約資金，已基本達(dá)到工業(yè)應(yīng)用化程度，填補(bǔ)了離子注入表面改性技術(shù)在石油行業(yè)應(yīng)用的空白。