光學(xué)表面檢測(cè)系統(tǒng)技術(shù)指標(biāo)

TEO8060適用最大產(chǎn)品尺寸范圍680mm*640mm*100mm。TEO8060平臺(tái)尺寸： 810*810mm。TEO8060平臺(tái)高度一致性：5um@100mm*100mm。TEO8060掃描機(jī)構(gòu)平整度：5um@100mm*100mm。TEO8060具有自動(dòng)Z軸測(cè)量功能輔助工件安裝平面的調(diào)整，測(cè)量精度：優(yōu)于±3um。TEO8060完成600mm*600mm自動(dòng)面陣檢測(cè)時(shí)間≤1.7小時(shí)。（相機(jī)行頻30K，掃描精度1um，視野3mm，算法 機(jī)械運(yùn)動(dòng)時(shí)間0.5倍，檢測(cè)時(shí)間=(X檢測(cè)范圍/行頻)*(Y檢測(cè)范圍/視野)*倍=(600,000/30,000) * (600 / 3) * 1.5=6000秒≈1.67小時(shí)）。

可以滿足大口徑波前校正器鏡面微小瑕疵的在線檢測(cè)的需求。

光軸是光學(xué)系統(tǒng)中，一條假想的線，定義（在一次近似下）光學(xué)系統(tǒng)如何傳導(dǎo)光線。光線若和光軸重合，在光學(xué)系統(tǒng)中光將沿光軸傳遞。

若此光學(xué)系統(tǒng)有一定程度的轉(zhuǎn)動(dòng)對(duì)稱（像相機(jī)鏡頭或是顯微鏡），光軸一般會(huì)是光學(xué)系統(tǒng)的旋轉(zhuǎn)中心，若光學(xué)系統(tǒng)是由簡(jiǎn)單的透鏡和反射鏡組成，光軸會(huì)通過(guò)各平面的曲率中心（如焦點(diǎn)），和轉(zhuǎn)動(dòng)對(duì)稱軸重合。光軸一般會(huì)和系統(tǒng)的機(jī)械中心重合，但也有例外，例如離軸光學(xué)系統(tǒng)。

若光線和光軸角度很小，而光線接近光學(xué)系統(tǒng)的軸，可以用幾何光學(xué)中的近軸近似來(lái)處理，可以簡(jiǎn)化數(shù)學(xué)的運(yùn)算。

在光纖中，光軸會(huì)和纖維芯重合，也稱為光纖軸。

直接在光(電)接收器(如望遠(yuǎn)鏡、顯微鏡、照相機(jī)、CCD攝像機(jī)等)上形成目標(biāo)圖像。掃描成像光學(xué)系統(tǒng)采用單元或多元小陣列光電探測(cè)器,其掃描機(jī)制決定了其系統(tǒng)組成復(fù)雜,體積、質(zhì)量較大.應(yīng)用受到一定限制。但采用掃描技術(shù)，能使系統(tǒng)的最終分辨率提高。凝視成像光學(xué)系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)組成相對(duì)簡(jiǎn)單，體積、質(zhì)量相對(duì)較小，分辨率取決于光(電)接收器單元尺寸大小和光學(xué)系統(tǒng)成像質(zhì)量。

光學(xué)跟蹤測(cè)量系統(tǒng)是武器靶場(chǎng)試驗(yàn)和航天發(fā)射中使用的一種跟蹤測(cè)量系統(tǒng)。它利用光學(xué)測(cè)量和成象原理，測(cè)量、記錄目標(biāo)的運(yùn)動(dòng)軌跡、姿態(tài)、運(yùn)動(dòng)中發(fā)生的 事件，以及目標(biāo)的紅外輻射和視覺(jué)（可見(jiàn)光）特征。光學(xué)跟蹤測(cè)量設(shè)備通常由攝影機(jī)、跟蹤或監(jiān)視設(shè)備和數(shù)據(jù)處 理設(shè)備組成。多臺(tái)設(shè)備通過(guò)適當(dāng)組合，構(gòu)成光學(xué)跟蹤測(cè)量系統(tǒng)。光學(xué)跟蹤測(cè)量系統(tǒng)主要分為三類。

光學(xué)跟蹤彈道測(cè)量設(shè)備

用來(lái)獲取被測(cè)目標(biāo)在空間隨時(shí)間變化的位置、速度和加速度等數(shù)據(jù)，是對(duì)航天器、武器系統(tǒng)進(jìn)行鑒定的改進(jìn)設(shè)計(jì)，以及編制武器射表的重要依據(jù)，所用設(shè)備主要有電影經(jīng)緯儀、彈照相機(jī)和固定攝影機(jī)。

光學(xué)跟蹤姿態(tài)和事件測(cè)量設(shè)備

主要有跟蹤望遠(yuǎn)鏡和高速攝影機(jī)，用來(lái)獲取目標(biāo)的飛行姿態(tài)和事件數(shù)據(jù)，如目標(biāo)的滾動(dòng)，俯仰和偏航， 以及發(fā)射時(shí)間、遭遇時(shí)間和脫靶量。

光學(xué)跟蹤目標(biāo)特征測(cè)量設(shè)備

用于對(duì)目標(biāo)紅外信號(hào)特征和可見(jiàn)光信號(hào)特征進(jìn)行測(cè) 量。60年代以來(lái)激光、紅外、電視等光電新技術(shù)和電子計(jì)算機(jī)的發(fā)展，為靶場(chǎng)跟蹤測(cè)量提供了新手段，出現(xiàn)激光 雷達(dá)、電視跟蹤測(cè)量設(shè)備和激光-電影經(jīng)緯儀復(fù)合設(shè)備等新一代光學(xué)跟蹤測(cè)量設(shè)備。這些設(shè)備保持了傳統(tǒng)光學(xué) 跟蹤測(cè)量設(shè)備測(cè)量精度高、目標(biāo)影象直觀和設(shè)備機(jī)動(dòng)性好等優(yōu)點(diǎn)，克服了傳統(tǒng)光測(cè)設(shè)備需多臺(tái)同時(shí)工作、數(shù)據(jù) 處理周期長(zhǎng)的缺點(diǎn)，實(shí)現(xiàn)了單站實(shí)時(shí)測(cè)量。例如激光雷達(dá)根據(jù)激光束的方位角、俯仰角和激光測(cè)距，可確定目 標(biāo)的空間位置，由距離隨時(shí)間變化求得速度，由速度變化求得加速度，測(cè)量精度高。電視自動(dòng)跟蹤系統(tǒng)利用目標(biāo) 與背景或周圍物體的比較跟蹤數(shù)據(jù)。光學(xué)跟蹤測(cè)量系統(tǒng)的發(fā)展趨勢(shì)是進(jìn)一步提高激光雷達(dá)的作用距離，應(yīng)用圖 象識(shí)別和處理技術(shù)提高光學(xué)跟蹤測(cè)量設(shè)備的捕獲跟蹤能力、測(cè)量精度，利用計(jì)算機(jī)技術(shù)提高光學(xué)跟蹤測(cè)量系統(tǒng) 自動(dòng)化程度，更好發(fā)揮系統(tǒng)的綜合效能。