檢漏試驗

《電子學(xué)名詞》第一版。 2100433B

1993年，經(jīng)全國科學(xué)技術(shù)名詞審定委員會審定發(fā)布。

由于真空系統(tǒng)的多樣性，因此檢漏方法也各式各樣，專業(yè)廠家也設(shè)計制造了許多專門用于檢漏的儀器（檢漏儀）。

1.對檢漏方法的一般要求

（1）檢漏靈敏度高，可以檢出很小的漏孔；

（2）反應(yīng)時間短，可以提高工作效率；

（3）能定位、定量，即不僅能夠找出漏孔的位置，還能確定漏率的大小，以便確定是否合乎質(zhì)量要求；

（4）能無損檢漏，不使被檢設(shè)備受到損壞和污染；

（5）穩(wěn)定性好，即保證足夠長時間內(nèi)靈敏度穩(wěn)定可靠；

（6）所用“示漏氣體”在空氣中含量低、無毒、不腐蝕零件；

（7）檢漏范圍大，從大漏孔到小漏孔都能檢測，以減少檢漏設(shè)備的數(shù)量和費用；

（8）檢漏時應(yīng)潔凈無油，滿足一些特殊要求。

2.選擇檢漏方法的原則

（1）主要根據(jù)被檢漏設(shè)備的允許漏率為依據(jù)，由于一個設(shè)備的允許漏率是很多漏孔漏率的綜合，為找到一個單個漏孔，所選擇的檢漏方法的檢漏靈敏度就要高于允許漏率1～2個數(shù)量級。如一個設(shè)備的允許漏率為10-11W，而必須選用的檢漏靈敏度為10-12～10-13W；

（2）根據(jù)具體被檢對象，所用方法簡便易行、經(jīng)濟實用。

3.檢漏方法的分類

按被檢容器所處的狀態(tài)可分為兩大類，即加壓檢漏法和真空檢漏法。

（1）加壓檢漏法。在被檢容器內(nèi)充入一定壓力的氣體（稱試驗氣體或者探漏氣體）或液體，當(dāng)容器上存在漏孔時，氣體（或液體）便從漏孔中逸出，從哪里逸出，逸出量的多少等，就可判斷有無漏孔存在、漏孔位置和大小。屬于此類檢漏方法有：

水壓法：將清潔的水壓入被檢容器中，一般水壓在2～3個大氣壓左右，觀察容器外壁有無水珠出現(xiàn)，根據(jù)水珠出現(xiàn)的位置大小和快慢，來確定漏孔位置和估計漏氣量的大小。

氣壓法：將試驗氣體（空氣或其他氣體）壓入被檢容器，在外面檢查有無氣體逸出，具體方法有：火焰、氣泡指示法（水槽法、皂膜法）；氨檢漏法；鹵素檢漏儀和氨質(zhì)譜儀吸嘴法和放射性同位素法。其中鹵素檢漏法是，金屬鉑在高溫（常用850～950℃）下產(chǎn)生正離子發(fā)射（主要是堿金屬離子），這種發(fā)射遇到鹵素氣體時急劇增加，依據(jù)這個現(xiàn)象可以制成一種檢漏儀器，即鹵素檢漏儀。

鉑的離子發(fā)射現(xiàn)象被設(shè)置在一個探頭中，探頭是一支二極電子管結(jié)構(gòu)，加熱絲、陽極及不銹鋼陰極組成一間熱式二極管，后部安裝吸氣風(fēng)扇，使用時不斷吸進氣體，工作時二極管的陽極由燈絲加熱到850～950℃，陰極對陽極加有250V負電壓并收集正離子，離子電流由電子電路放大后，用儀表指示，考慮到檢漏時無暇觀察儀表指示

示漏氣體多用氯的鹵化物，如氟利昂、氯仿、四氯化碳等，其中以氟利昂無毒、不可燃、蒸汽壓力高、靈敏度高被廣泛應(yīng)用。檢漏時，鹵素氣體充于被檢件內(nèi)，用外探頭在外部

尋找漏孔。這種方法可檢出10-9 Pa·m3/s的漏孔，工業(yè)產(chǎn)品一般為10-6～10-7Pa·m3/s。

（2）真空檢漏法。將被檢容器內(nèi)部抽空后，再把試驗物質(zhì)施于容器外表可疑位置。如有漏孔，試驗物質(zhì)便通過漏孔

進入容器，通過一些方法或儀器指示出來，從而可判斷出漏孔的位置和大小。屬于此類的方法有：靜態(tài)升壓法；放電管法；真空計法；氫-鈀法；離子泵法；高頻火花檢漏法；鹵素檢漏法；質(zhì)譜檢漏法。其中離子泵檢漏法是，濺射離子泵的離子流大小可反映真空系統(tǒng)真空度的高低，因此，類似于電離真空計的方法，用離子泵的電流指示可對系統(tǒng)或被抽容器進行檢漏。這也是一種既簡單又靈敏的檢漏方法。