極紫外光刻模板制造工藝中力學(xué)參數(shù)的擇取和優(yōu)化基本信息

中文名 極紫外光刻模板制造工藝中力學(xué)參數(shù)的擇取和優(yōu)化 依托單位 哈爾濱工業(yè)大學(xué)
項目類別 青年科學(xué)基金項目 項目負(fù)責(zé)人 鄭亮

在摩爾定律的指引下，半導(dǎo)體工業(yè)大致每兩年就跨上一個新的臺階。為了實現(xiàn)45納米及更小節(jié)點器件的批量生產(chǎn)，需要新一代的光刻技術(shù)。作為下一代芯片工藝的領(lǐng)頭羊，極紫外光刻技術(shù)被半導(dǎo)體業(yè)界普遍認(rèn)為是現(xiàn)有光學(xué)光刻技術(shù)的接班人。在極紫外光刻的實現(xiàn)過程中，技術(shù)難度最大的環(huán)節(jié)之一是光刻模板的制造工藝。. 本項目研究的極紫外光刻模板的制造工藝是半導(dǎo)體業(yè)界學(xué)術(shù)研究最前沿的新課題。此研究將采用理論建模、計算仿真、實驗分析相結(jié)合的技術(shù)線路，對極紫外光刻模板制造工藝中的力學(xué)參數(shù)進行選擇和優(yōu)化。建立光刻模板的理論方程；探索并研究出等效模擬技術(shù)和子模型技術(shù)，構(gòu)建光刻模板制造工藝的三維非線性模型；并利用獲得的實驗數(shù)據(jù)對模型進行實驗驗證，修正模型重要參數(shù)。通過對其力學(xué)參數(shù)的優(yōu)化，能夠減少甚至完全消除光刻模板的變形，極大提高光刻工藝的最終精確度。為促進極紫外光刻的研究和發(fā)展、加速其工業(yè)實現(xiàn)提供有效的指導(dǎo)和參考價值。 2100433B

極紫外光刻模板制造工藝中力學(xué)參數(shù)的擇取和優(yōu)化造價信息

市場價 信息價 詢價
材料名稱 規(guī)格/型號 市場價
（除稅）		 工程建議價
（除稅）		 行情 品牌 單位 稅率 供應(yīng)商 報價日期
清水模板 2440×1220×18 查看價格 查看價格

五棵松

 m2 13% 五棵松木業(yè)有限公司
清水模板 2440×1220×12 查看價格 查看價格

m2 13% 五棵松木業(yè)有限公司
清水模板 2440×1220×15 查看價格 查看價格

五棵松

 m2 13% 五棵松木業(yè)有限公司
模板 帶膜 楊木 查看價格 查看價格

張 13% 河南豐潤木業(yè)有限公司
模板 14MM厚,1.22*2.44 楊木 查看價格 查看價格

張 13% 鄭州市管城區(qū)愛紅模板經(jīng)營部
模板 15MM厚,1.22*2.44 楊木 查看價格 查看價格

張 13% 鄭州市管城區(qū)愛紅模板經(jīng)營部
模板 14MM厚,0.915*1.83 楊木 查看價格 查看價格

張 13% 鄭州市管城區(qū)愛紅模板經(jīng)營部
模板 品種:松木紅板;規(guī)格 (mm):1830×915×13;實際厚度(mm):13;備注:出廠價;系列:松木紅板; 查看價格 查看價格

美森

 張 13% 哈爾濱美森經(jīng)貿(mào)有限公司
材料名稱 規(guī)格/型號 除稅
信息價		 含稅
信息價		 行情 品牌 單位 稅率 地區(qū)/時間
鋁模板 租賃 查看價格 查看價格

m2 深圳市2016年12月信息價
鋁模板 購買 查看價格 查看價格

m2 深圳市2016年4月信息價
鋁模板 租賃 查看價格 查看價格

m2 深圳市2016年4月信息價
鋁模板 查看價格 查看價格

m2 深圳市2015年12月信息價
鋁模板 查看價格 查看價格

m2 深圳市2015年12月信息價
建筑模板 1830×915×18一級白板 查看價格 查看價格

張 佛山市2022年10月信息價
建筑模板 1830×915×18三級白板 查看價格 查看價格

張 佛山市2022年10月信息價
建筑模板 1830×915×18三級白板 查看價格 查看價格

張 佛山市2022年3季度信息價
材料名稱 規(guī)格/需求量 報價數(shù) 最新報價
（元）		 供應(yīng)商 報價地區(qū) 最新報價時間
防紫外光處理 防紫外光處理一次|800m2 0 查看價格 佛山市晨新航不銹鋼有限公司 廣東  江門市 2015-10-19
取精室"有人燈"的感應(yīng)開關(guān) 取精室"有人燈"的感應(yīng)開關(guān)|6.12個 1 查看價格 北京佑昌電氣有限公司 廣東   2022-07-22
紫外光燈 30W|100臺 1 查看價格 佛山市禪城區(qū)昌勝電子電器廠 廣東  江門市 2009-12-25
紫外光燈 40W|100個 1 查看價格 深圳市寶安區(qū)中圖新冠雅光電經(jīng)營部 廣東  江門市 2017-06-08
復(fù)合模板 復(fù)合模板|39.011m2 3 查看價格 成都同創(chuàng)友德商貿(mào)有限公司 全國   2020-11-27
紫外光滅菌燈 1.采用紫外線燈進行殺菌滅菌,紫外線消毒燈管,鋁合金燈架.|6臺 3 查看價格 四川點金廚房設(shè)備有限公司 四川   2021-09-13
復(fù)合模板 復(fù)合模板|4462.494m2 2 查看價格 成都久林建材有限公司 四川   2022-11-02
復(fù)合模板 復(fù)合模板|312.287m2 3 查看價格 成都同創(chuàng)友德商貿(mào)有限公司 全國   2020-11-27

批準(zhǔn)號

10702017

項目名稱

極紫外光刻模板制造工藝中力學(xué)參數(shù)的擇取和優(yōu)化

項目類別

青年科學(xué)基金項目

申請代碼

A0805

項目負(fù)責(zé)人

鄭亮

負(fù)責(zé)人職稱

副教授

依托單位

哈爾濱工業(yè)大學(xué)

研究期限

2008-01-01 至 2010-12-31

支持經(jīng)費

21（萬元）

極紫外光刻模板制造工藝中力學(xué)參數(shù)的擇取和優(yōu)化常見問題

  • 導(dǎo)光板的制造工藝

    90年代以來，科學(xué)技術(shù)不斷向上發(fā)展，導(dǎo)光板的制作方法慢慢改進，衍生出不同與早期的印刷式制作，與它相對而言的，我們稱之為“非印刷式”。 1. 使用壽命長。雕刻是物理性工藝，導(dǎo)光板的使用壽命長短主要和有機...

  • 紫外光二極管的分類是哪些？

    LD半導(dǎo)體激光二極管，和LED類似，也是一個PN結(jié)，也是利用外電源向PN結(jié)注入電子來發(fā)光的。半導(dǎo)體激光器的結(jié)構(gòu)通常由P層、N層和形成雙異質(zhì)結(jié)的有源層構(gòu)成。體積小，耦合效率高，響應(yīng)速度快。LD，光線比較...

  • 壓力容器制造工藝

     壓力容器制造工藝應(yīng)當(dāng)根據(jù)容規(guī)TSG 21—2016《固定式壓力容器安全技術(shù)監(jiān)察規(guī)程》，GB 150.4-2011 《壓力容器 第4部分：制造、檢驗和驗收》 和 HG/T 20584-...

極紫外光刻模板制造工藝中力學(xué)參數(shù)的擇取和優(yōu)化文獻

紫外光固化飾面板制造工藝優(yōu)化 紫外光固化飾面板制造工藝優(yōu)化

格式：pdf

大?。?span id="si6hskf" class="single-tag-height">165KB

頁數(shù)： 4頁

評分： 4.5

在建筑工業(yè)化進程中,建筑內(nèi)裝墻材是十分重要的組成部分,然而,由于其產(chǎn)品種類繁多、施工工藝復(fù)雜,難以標(biāo)準(zhǔn)化集成和應(yīng)用,因此建筑內(nèi)裝構(gòu)件的部品化和一體化是實現(xiàn)建筑工業(yè)化的一個重要方面。本文探討采用紫外光(UV)固化技術(shù),通過多道組合工藝,可將普通的建材轉(zhuǎn)化為高檔裝飾板材,可有效提高裝飾板的工業(yè)化生產(chǎn)程度,并提升我國建筑內(nèi)裝一體化板的制造水平。

立即下載
基于紫外光刻的微納光纖布喇格光柵研究 基于紫外光刻的微納光纖布喇格光柵研究

格式：pdf

大?。?span id="ixvpjj9" class="single-tag-height">165KB

頁數(shù)： 4頁

評分： 4.4

介紹紫外光刻法制作微納光纖布喇格光柵(MF-BG)的制作工藝,測量并分析不同直徑的微納光纖布喇格光柵的反射譜。數(shù)據(jù)表明隨著微納光纖的直徑變小,光纖光柵的中心波長藍(lán)移且反射強度也隨之減小。仿真計算微納光纖的有效折射率和光纖纖芯的束縛能力(即基模分布在纖芯的能量與基模全部能量的比值),來解釋上述變化。

立即下載

紫外光刻膠（UV resist）是用紫外光作曝光光源的光刻膠。

一般是指分光感度波長為sao一450nin的近紫外抗蝕劑紫外光刻膠有負(fù)性、正性和止一負(fù)性兩用三類。負(fù)性的代表品種是聚乙烯醇肉桂酸醋、環(huán)化橡膠系抗蝕劑、止性代表品種是重氦茶釀系抗蝕劑，正負(fù)性抗蝕劑是為丁兼顧其既有.卜性又有負(fù)性的性能，往往會給全面照顧抗蝕劑應(yīng)用上帶來一些難題，尚未商品化、

2100433B

查看詳情

采用掩膜對準(zhǔn)技術(shù),對光刻膠進行曝光,使受紫外光輻照的光刻膠發(fā)生改變，從而完成刻蝕。

查看詳情

曝光系統(tǒng)最核心的部件之一是紫外光源。

常見光源分為:

可見光:g線:436nm

紫外光(UV)，i線:365nm

深紫外光(DUV),KrF 準(zhǔn)分子激光:248 nm, ArF 準(zhǔn)分子激光:193 nm

極紫外光(EUV)，10 ~ 15 nm

對光源系統(tǒng)的要求

a.有適當(dāng)?shù)牟ㄩL。波長越短，可曝光的特征尺寸就越小;[波長越短，就表示光刻的刀鋒越鋒利，刻蝕對于精度控制要求越高，因為衍射現(xiàn)象會更嚴(yán)重。]

b.有足夠的能量。能量越大，曝光時間就越短;

c.曝光能量必須均勻地分布在曝光區(qū)。[一般采用光的均勻度 或者叫 不均勻度 光的平行度等概念來衡量光是否均勻分布]

常用的紫外光光源是高壓弧光燈(高壓汞燈)，高壓汞燈有許多尖銳的光譜線，經(jīng)過濾光后使用其中的g 線(436 nm)或i 線(365 nm)。

對于波長更短的深紫外光光源，可以使用準(zhǔn)分子激光。例如KrF 準(zhǔn)分子激光(248 nm)、ArF 準(zhǔn)分子激光(193 nm)和F2準(zhǔn)分子激光(157 nm)等。

曝光系統(tǒng)的功能主要有:平滑衍射效應(yīng)、實現(xiàn)均勻照明、濾光和冷光處理、實現(xiàn)強光照明和光強調(diào)節(jié)等。

查看詳情
極紫外光刻模板制造工藝中力學(xué)參數(shù)的擇取和優(yōu)化相關(guān)推薦
  • 相關(guān)百科
  • 相關(guān)知識
  • 相關(guān)專欄

最新詞條

安徽省政采項目管理咨詢有限公司 數(shù)字景楓科技發(fā)展（南京）有限公司 懷化市人民政府電子政務(wù)管理辦公室 河北省高速公路京德臨時籌建處 中石化華東石油工程有限公司工程技術(shù)分公司 手持無線POS機 廣東合正采購招標(biāo)有限公司 上海城建信息科技有限公司 甘肅鑫禾國際招標(biāo)有限公司 燒結(jié)金屬材料 齒輪計量泵 廣州采陽招標(biāo)代理有限公司河源分公司 高鋁碳化硅磚 博洛尼智能科技（青島）有限公司 燒結(jié)剛玉磚 深圳市東海國際招標(biāo)有限公司 搭建香蕉育苗大棚 SF計量單位 福建省中億通招標(biāo)咨詢有限公司 泛海三江 威海鼠尾草 廣東國咨招標(biāo)有限公司 Excel 數(shù)據(jù)處理與分析應(yīng)用大全 甘肅中泰博瑞工程項目管理咨詢有限公司 山東創(chuàng)盈項目管理有限公司 當(dāng)代建筑大師 拆邊機 廣西北纜電纜有限公司 大山檳榔 上海地鐵維護保障有限公司通號分公司 舌花雛菊 甘肅中維國際招標(biāo)有限公司 華潤燃?xì)猓ㄉ虾＃┯邢薰? 湖北鑫宇陽光工程咨詢有限公司 GB8163標(biāo)準(zhǔn)無縫鋼管 中國石油煉化工程建設(shè)項目部 韶關(guān)市優(yōu)采招標(biāo)代理有限公司 莎草目 建設(shè)部關(guān)于開展城市規(guī)劃動態(tài)監(jiān)測工作的通知 電梯平層準(zhǔn)確度 廣州利好來電氣有限公司 蘇州弘創(chuàng)招投標(biāo)代理有限公司