中文名 | 流片 | 外文名 | Tape Out。 |
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領(lǐng)????域 | 集成電路設(shè)計 | 出????自 | 《摩登時代》 |
2010年1月21日上海集成電路技術(shù)與產(chǎn)業(yè)促進中心就推出多項目晶圓(Multi-Project Wafer,簡稱MPW)服務(wù),可以使流片費下降90%-95%。
MPW服務(wù)是將多個具有相同工藝的集成電路設(shè)計放在同一晶圓片上流片加工服務(wù),每個設(shè)計品種可以得到數(shù)十片芯片樣品,用于產(chǎn)品研發(fā)階段的實驗和驗證測試。MPW流片費用由所有參加MPW的項目按照芯片所占面積分攤,實際成本僅為原來的5%-10%,不但大幅降低了集成電路研發(fā)階段的成本,也為集成電路設(shè)計工程師的大膽實踐提供了相對寬松的條件,有效地推動了集成電路設(shè)計的創(chuàng)新發(fā)展。
微處理器設(shè)計公司ARM與臺積電2013年4月2日共同宣布,首個采用臺積電下下代16nm工藝制程FinFET技術(shù)生產(chǎn)的ARM Cortex-A57處理器已成功流片 。標志16納米成為流片的最高工藝標準。2100433B
流片:英文 Tape Out。
在集成電路設(shè)計領(lǐng)域,“流片”指的是“試生產(chǎn)”,就是說設(shè)計完電路以后,先生產(chǎn)幾片幾十片,供測試用。如果測試通過,就照著這個樣子開始大規(guī)模生產(chǎn)了。
在觀看了電影《摩登時代》后,我們可能經(jīng)常想起卓別林鈕螺絲的那個鏡頭。大家知道影片中那種流水線一樣的生產(chǎn)就是生產(chǎn)線。只是隨著科學技術(shù)的發(fā)展,在生產(chǎn)線上卓別林所演的角色已經(jīng)被機器取代了。我們像流水線一樣通過一系列工藝步驟制造芯片,這就是流片。
在芯片制造過程中一般有兩段時間可以叫做流片。在大規(guī)模生產(chǎn)芯片時,那流水線一樣地生產(chǎn)就是其中之一。大家可能很早就已經(jīng)知道了這個過程叫流片,但下面這種情況就不能盡說其詳了。我們在搞設(shè)計的時候發(fā)現(xiàn)某個地方可以進行修改以取得更好的效果,但又怕這樣的修改會給芯片帶來意想不到的后果,如果根據(jù)這樣一個有問題的設(shè)計大規(guī)模地制造芯片,那么損失就會很大。所以為了測試集成電路設(shè)計是否成功,必須進行流片,即從一個電路圖到一塊芯片,檢驗每一個工藝步驟是否可行,檢驗電路是否具備我們所要的性能和功能。如果流片成功,就可以大規(guī)模地制造芯片;反之,我們就需要找出其中的原因,并進行相應(yīng)的優(yōu)化設(shè)計。
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LED 芯片的制造過程可概分為晶圓處理工序( Wafer Fabrication )、晶圓針測工序 (Wafer Probe )、構(gòu)裝工序( Packaging )、測試工序( Initial Test andFinal Test)等幾 個步驟。其中晶圓處理工序和晶圓針測工序為前段( Front End)工序,而構(gòu)裝工序、 測 試工序為后段( Back End)工序。 1、晶圓處理工序 本工序的主要工作是在晶圓上制作電路及電子元件 (如晶體管、 電容、邏輯開關(guān)等), 其處理程序通常與產(chǎn)品種類和所使用的技術(shù)有關(guān), 但一般基本步驟是先將晶圓適當清洗, 再在其表面進行氧化及化學氣相沉積,然后進行涂膜、曝光、顯影、蝕刻、離子植入、 金屬濺鍍等反復步驟,最終在晶圓上完成數(shù)層電路及元件加工與制作。 2、晶圓針測工序 經(jīng)過上道工序后,晶圓上就形成了一個個的小格,即晶粒,一般情況下,為便于測 試,提高效率
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巖灘碾壓混凝土圍堰河槽段施工系統(tǒng)分析 頁腳內(nèi)容 1 巖片漆施工流程 巖片漆介紹: 巖片漆(花崗巖涂料) 是一種高檔而獨特的建筑內(nèi)外墻環(huán)保材料, 是由硅丙乳液、 特 種巖片、 天然石粉及各種進口助劑經(jīng)特殊工藝制造而成, 噴涂后確保所有基層都附上一層完美 的,與 花崗石巖板外觀幾可亂真的表面效果。 功能:施工容易,質(zhì)感強烈,酷似花崗石外觀,韌性好,防開裂,強度高,抗碰撞, 永不褪 色,不老化,阻燃,防熱,耐候性好,保用十五年以上; 質(zhì)感好,易造型,表現(xiàn)力強、 硬度 高、不變色、耐臟性,保潔性能好、耐水、抗裂防滲。 巖片漆施工工序: 1. 基面處理 2. 涂封閉底漆 3. 勾縫 4. 噴涂巖片漆 巖灘碾壓混凝土圍堰河槽段施工系統(tǒng)分析 頁腳內(nèi)容 2 5. 漆面壓平 6. 除去膠布 7. 打磨墻面 8. 噴涂防水面漆 一、基面 1、基面的要求 ⑴對于剛建成的新墻, 需要充分養(yǎng)護, 干燥;對于已受潮剝
包括:白金電阻芯片, 壓力傳感芯片, 電化學傳感芯片, 微/納米反應(yīng)器芯片, 微流體燃料電池芯片, 微/納米流體過濾芯片等。
①微流控芯片(microfluidic chip)是當前微全分析系統(tǒng)(Miniaturized Total Analysis Systems)發(fā)展的熱點領(lǐng)域。微流控芯片分析以芯片為操作平臺, 同時以分析化學為基礎(chǔ),以微機電加工技術(shù)為依托,以微管道網(wǎng)絡(luò)為結(jié)構(gòu)特征,以生命科學為目前主要應(yīng)用對象,是當前微全分析系統(tǒng)領(lǐng)域發(fā)展的重點。它的目標是把整個化驗室的功能,包括采樣、稀釋、加試劑、反應(yīng)、分離、檢測等集成在微芯片上,且可以多次使用。
②微流控芯片是微流控技術(shù)實現(xiàn)的主要平臺。其裝置特征主要是其容納流體的有效結(jié)構(gòu)(通道、反應(yīng)室和其它某些功能部件)至少在一個緯度上為微米級尺度。由于微米級的結(jié)構(gòu),流體在其中顯示和產(chǎn)生了與宏觀尺度不同的特殊性能。因此發(fā)展出獨特的分析產(chǎn)生的性能。
③微流控芯片的特點及發(fā)展優(yōu)勢:微流控芯片具有液體流動可控、消耗試樣和試劑極少、分析速度成十倍上百倍地提高等特點,它可以在幾分鐘甚至更短的時間內(nèi)進行上百個樣品的同時分析,并且可以在線實現(xiàn)樣品的預(yù)處理及分析全過程。
④其產(chǎn)生的應(yīng)用目的是實現(xiàn)微全分析系統(tǒng)的終極目標-芯片實驗室
⑤目前工作發(fā)展的重點應(yīng)用領(lǐng)域是生命科學領(lǐng)域
⑥當前(2006)國際研究現(xiàn)狀:創(chuàng)新多集中于分離、檢測體系方面;對芯片上如何引入實際樣品分析的諸多問題,如樣品引入、換樣、前處理等有關(guān)研究還十分薄弱。它的發(fā)展依賴于多學科交叉的發(fā)展。
目前媒體普遍認為的生物芯片(micro-arrays),如,基因芯片、蛋白質(zhì)芯片等只是微流量為零的點陣列型雜交芯片,功能非常有限,屬于微流控芯片(micro-chip)的特殊類型,微流控芯片具有更廣泛的類型、功能與用途,可以開發(fā)出生物計算機、基因與蛋白質(zhì)測序、質(zhì)譜和色譜等分析系統(tǒng),成為系統(tǒng)生物學尤其系統(tǒng)遺傳學的極為重要的技術(shù)基礎(chǔ)。
微流控分析芯片最初只是作為納米技術(shù)革命的一個補充,在經(jīng)歷了大肆宣傳及冷落的不同時期后,最終卻實現(xiàn)了商業(yè)化生產(chǎn)。微流控分析芯片最初在美國被稱為"芯片實驗室"(lab-on-a-chip),在歐洲被稱為"微整合分析芯片"(micrototal analytical systems),隨著材料科學、微納米加工技術(shù)和微電子學所取得的突破性進展,微流控芯片也得到了迅速發(fā)展,但還是遠不及"摩爾定律"所預(yù)測的半導體發(fā)展速度。今天阻礙微流控技術(shù)發(fā)展的瓶頸仍然是早期限制其發(fā)展的制造加工和應(yīng)用方面的問題。芯片與任何遠程的東西交互存在一定問題,更不用說將具有全功能樣品前處理、檢測和微流控技術(shù)都集成在同一基質(zhì)中。由于微流控技術(shù)的微小通道及其所需部件,在設(shè)計時所遇到的噴射問題,與大尺度的液相色譜相比,更加困難。上世紀80年代末至90年代末,尤其是在研究芯片襯底的材料科學和微通道的流體移動技術(shù)得到發(fā)展后,微流控技術(shù)也取得了較大的進步。為適應(yīng)時代的需求,現(xiàn)今的研究集中在集成方面,特別是生物傳感器的研究,開發(fā)制造具有超強運行能力的多功能芯片。 美國圣母大學(University of Notre Dame)的Hsueh-Chia Chang博士與微生物學家和免疫檢測專家合作研究,提高了微流控分析設(shè)備檢測細胞和生物分子的速度和靈敏性。同時,Chang對交流電動電學進行了改善,因為他認為交流電(AC)可作為選擇平臺,驅(qū)動流體通過用于醫(yī)學和研究的微流控分析儀。微流控分析儀最初的驅(qū)動機制是常規(guī)的直流電動電學,但是使用時容易產(chǎn)生氣泡并引起物質(zhì)在電極發(fā)生化學反應(yīng)的缺點限制了直流電的應(yīng)用,此外,為保證其對流量的精確控制,直流電極必須放置在儲液池中,不能直接連接在電路中。
三個因素美國Caliper Life Sciences公司Andrea Chow博士認為,微流控技術(shù)的成功取決于聯(lián)合、技術(shù)和應(yīng)用,這三個因素是相關(guān)的。他說:"為形成聯(lián)合,我們嘗試了所有可能達到一定復雜性水平的應(yīng)用。從長遠且嚴密的角度來對其進行改進,我們發(fā)現(xiàn)了很多無需經(jīng)過復雜的集成卻有較高使用價值的應(yīng)用,如機械閥和微電動機械系統(tǒng)(MEMS)。"改進的微流控技術(shù),一般用于蛋白或基因電泳,常??扇〈郾0纺z電泳。進一步開發(fā)的芯片可用于酶和細胞的檢測,在開發(fā)新藥方面很有用。更進一步的產(chǎn)品是可集成樣品前處理的基因鑒定,例如基于芯片的鏈式聚合反應(yīng)(PCR)。由于具有高度重復和低消耗樣品或試劑的特性,這種自動化和半自動化的微流控芯片在早期的藥物研發(fā)中,得到了廣泛應(yīng)用。Caliper的商業(yè)模式是將芯片看作是與昂貴的電子學和光學儀器相連接的一個消費品,目前,已被許多公司獨立的采用。每個芯片完成一天的實驗運作的成本費用大概是5美元,而高通量的應(yīng)用成本是幾百到幾千美元,但預(yù)計可以重復循環(huán)使用幾百或幾千次,以一次分析包括時間和試劑的成本計算在內(nèi),芯片的成本與一般實驗室分析成本相當。此外,特定設(shè)計芯片的批量生產(chǎn)也大大降低了其成本。Caliper的旗艦產(chǎn)品是LabChip 3000新藥研發(fā)系統(tǒng),其微流體成分分析可以達到10萬個樣品,還有用于高通量基因和蛋白分析的LabChip 90 電泳系統(tǒng)。據(jù)Caliper宣稱,75 %的主要制藥和生物技術(shù)公司都在使用LabChip 3000系統(tǒng)。美國加州的安捷倫科技公司曾與Caliper科技公司簽署正式合作協(xié)議,該項合作于1998年開始,去年結(jié)束。安捷倫作為一個儀器生產(chǎn)商的實力,結(jié)合其在噴墨墨盒的經(jīng)驗,在微流控技術(shù)尚未成熟時,就對微流體市場做出了獨特的預(yù)見,噴墨打印是目前為止微流控技術(shù)應(yīng)用最多的產(chǎn)品,每年的使用價值100億美元。安捷倫已有一些儀器使用趨向于具有更多可用性方面的經(jīng)驗,并將這些經(jīng)驗應(yīng)用到了微流體技術(shù)開發(fā)上。微流體和生物傳感器的項目經(jīng)理Kevin Killeen博士在接受采訪時說,安捷倫的目標是為終端使用者解除負擔,"由適宜的儀器產(chǎn)品組裝成的系統(tǒng)可以讓非專業(yè)人士操縱專業(yè)設(shè)備"。微流體技術(shù)也需要適時表現(xiàn)出其自身的實用性和可靠性,例如,納米級電噴霧質(zhì)譜分析(nano-electrospray MS)不必考慮其頂端的閉合及邊帶的加寬,Killeen補充道:"對于生物學家來說,微流控技術(shù)的價值就在于此。" 安捷倫在微流控技術(shù)平臺上的三個主要產(chǎn)品是Agilent 2100 Bioanalyzer/5100 Automated Lab-on-a-Chip (已于2004年11月推出)和HPLC-Chip(已于2005年3月推出)。鑒定蛋白的HPLC-Chip集成了樣品富集和分離,同時還將設(shè)備裝置減少至LC/MS系統(tǒng)的一半。安捷倫的資料顯示,這些特征減少了泄漏和死體積,這種芯片在實驗控制時采用了無線電頻率標識技術(shù)。 推動力目前,一直都未能解決的仍然是驅(qū)動力問題,以及如何控制流體通過微毛細管。研究者認為,從某種程度上來說,微致動器(micro-actuators)可以為微流控技術(shù)提供動力和調(diào)節(jié),但是這一設(shè)想并沒有成功。Chia Chang博士認為,現(xiàn)在還不可能實現(xiàn)利用微電動機械系統(tǒng)(MEMS)作為微流體驅(qū)動力,因為"還沒有設(shè)計出這樣的微電動機械系統(tǒng)"。至少到目前為止,一直都在應(yīng)用非機械的流體驅(qū)動設(shè)備。剛剛興起的技術(shù)有斯坦福大學Stephen Quake研究小組開發(fā)的微流體控制因素大規(guī)模地綜合應(yīng)用和瑞士Spinx Technologies開發(fā)的激光控制閥門。澳大利亞墨爾本蒙納士大學的研究者正在開發(fā)可在微通道內(nèi)吸取、混合和濃縮分析樣品的等離子體偏振方法。等離子體不接觸工作流體便可產(chǎn)生"推力",具有維持流體穩(wěn)定流動,對電解質(zhì)溶液不敏感也不受其污染的優(yōu)點。瑞士蘇黎士聯(lián)邦工業(yè)大學的David Juncker認為,流體的驅(qū)動沒有必要采用這類高新技術(shù),利用簡單的毛細管效應(yīng)就可以驅(qū)動流體通過微通道。Juncker博士說,以毛細管作用力驅(qū)動流體具有獨特優(yōu)勢:自包含、可升級、沒有死體積、可預(yù)先設(shè)計、易更換溶液。可應(yīng)用的范圍包括開發(fā)藥物的免疫檢測和定點照護診斷檢測。最近,Juncker博士及其同事已經(jīng)開發(fā)出可以梯度檢測大分子蛋白和檢測單個細胞的微流控探測器,Juncker說"這種探測器結(jié)合了掃描和微流控技術(shù),定義了一類新的實驗空間", 同時他還設(shè)想將這種探測器應(yīng)用于細胞生物學和新藥開發(fā)上。另外一個與微流控技術(shù)相關(guān)卻一直未能克服的障礙,是"設(shè)備尺寸縮小而存在的效益遞減臨界點問題"系統(tǒng)縮小到微米甚至納米級的尺度范圍,與之結(jié)合的設(shè)備成為一個主要問題。對于微流控芯片,必須將材料從微通道中放入和取出,還要從納升級流量的流體中獲得可靠信號。一些研究者建議將微流控技術(shù)與"中等流體"結(jié)合,--以小型化的方式附加到中等尺寸的設(shè)備中,可以濃縮樣品,易于檢測。生物學家還受他們所使用微孔板的幾何限制。Caliper和其他的一些公司正在開發(fā)可以將樣品直接從微孔板裝載至芯片的系統(tǒng),但這種操作很具挑戰(zhàn)性。美國Corning公司Po Ki Yuen博士認為,要說服生產(chǎn)商將生產(chǎn)技術(shù)轉(zhuǎn)移到一個還未證明可以縮減成本的完全不同的平臺,是極其困難的。Yuen博士所領(lǐng)導的研究小組的研究領(lǐng)域包括微電動機械系統(tǒng)、光學和微流體學,目前致力于研發(fā)新藥的非標定檢測系統(tǒng)方面的研究。
與芯片之間的比較美國Cascade Microtech公司的Cali Sartor認為,當今生命科學領(lǐng)域的微流體與20年前工業(yè)領(lǐng)域的半導體具有相似之處。計算機芯片的開發(fā)者最終解決了集成、設(shè)計和增加復雜性等問題,而微流體技術(shù)的開發(fā)者也正在從各方面克服微流控技術(shù)所遇到的此類問題。Cascade的市場在于開發(fā)半導體制造業(yè)的最初檢驗和分析系統(tǒng),現(xiàn)在希望通過具微流控特征和建模平臺的L-Series實現(xiàn)市場轉(zhuǎn)型。L-Series包括嚴格的機械平臺,集成了顯微鏡技術(shù)、微定位和計量學等方法??蓱?yīng)用于芯片電場的微型電位計(Microport)也作為其開發(fā)的副產(chǎn)品。L-Series致力于真正的解決微流控設(shè)備開發(fā)者所遇到的難題:必須獨立構(gòu)造芯片系統(tǒng)和提供實用程序,Sartor說:"若是將襯質(zhì)和芯片粘合在一起,需要經(jīng)過長期的多次測試,"設(shè)計者若想改變流體通道,必須從頭開始。L-Series檢測組使內(nèi)聯(lián)測試和假設(shè)分析實驗變得更簡單,測試一個新設(shè)計只要交換芯片即可。當前,L-Series設(shè)備只能在手動模式下運行,一次一個芯片,但是Cascade 正在考慮開發(fā)可平行操作多個芯片的設(shè)備。Cascade 有兩個測試用戶:馬里蘭大學Don DeVoe教授的微流體實驗室和加州大學Carl Meinhart教授的微流體實驗室。德國thinXXS公司開發(fā)了另一套微流控分析設(shè)備(圖4)。該設(shè)備提供了一個由微反應(yīng)板裝配平臺、模塊載片以及連接器和管道所組成的結(jié)構(gòu)工具包。可單獨購買模塊載片。 ThinXXS還制造專用芯片,生產(chǎn)微流體和微光學設(shè)備和部件并提供相應(yīng)的服務(wù)。將微流控技術(shù)應(yīng)用于光學檢測已經(jīng)計劃很多年了,thinXXS一直都在進行這方面的綜合研究,但未提供詳細資料。ThinXXS公司Thomas Stange博士認為,雖然原型設(shè)計價格高且有風險,微制造技術(shù)已不再是微流控產(chǎn)品商業(yè)化生產(chǎn)的主要障礙。對于他們公司所操縱的高價藥品測試和診斷市場,校準和工藝慣性才是最主要的障礙。ThinXXS于6月推出了一款新的微芯片產(chǎn)品QPlate,同時宣稱該產(chǎn)品首次結(jié)合了硅微處理、微鑄技術(shù)以及印制電路板技術(shù)。QPlate是與丹麥Sophion Bioscience公司合作開發(fā)的,是QPatch-16 system的組成部分,QPatch-16 system可平行的測量16個細胞離子通道。