氣體供應(yīng)系統(tǒng)及其氣體輸送方法、等離子體處理裝置

《氣體供應(yīng)系統(tǒng)及其氣體輸送方法、等離子體處理裝置》是中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司于2019年12月6日申請的專利，該專利公布號為CN112928008A，專利公布日為2021年6月8日，發(fā)明人是連增迪、左濤濤、吳狄。

氣體供應(yīng)系統(tǒng)及其氣體輸送方法、等離子體處理裝置基本信息

中文名 氣體供應(yīng)系統(tǒng)及其氣體輸送方法、等離子體處理裝置 [1]? 授權(quán)公告號 CN112928008A
授權(quán)公告日 2021年6月8日 申請?zhí)?/th> 201911243135X

本申請實施例公開了一種氣體供應(yīng)系統(tǒng)，包括多個氣體輸入管路和氣體輸出管路，所述氣體輸入管路包括并聯(lián)的第一氣體輸出支路和第二氣體輸出支路，所述氣體輸出管路包括第一氣體輸出管路和第二氣體輸出管路，所述第一氣體輸出管路的輸出端與所述第二氣體輸出管路的輸入端相連，第二氣體輸出管路的輸出端用于給等離子體處理設(shè)備的腔室輸送氣體，第一氣體輸出管路與多個氣體輸入管路中的第一氣體輸出支路的輸出端相連通，第二氣體輸出管路與所多個氣體輸入管路中的第二氣體輸出支路的輸出端相連通，從而在多個氣體輸入管路中輸出不同流量需求的第一氣體和第二氣體時，以解決小流量需求的第二氣體對等離子體處理工藝過程的改善效果較為有限的問題。

氣體供應(yīng)系統(tǒng)及其氣體輸送方法、等離子體處理裝置造價信息

市場價 信息價 詢價
材料名稱 規(guī)格/型號 市場價
（除稅）		 工程建議價
（除稅）		 行情 品牌 單位 稅率 供應(yīng)商 報價日期
氣體滅火系統(tǒng)防護(hù)區(qū)自動泄壓口 XYK-0.25J-SJ 查看價格 查看價格

臺 13% 廣州勝捷消防設(shè)備有限公司
氣體滅火系統(tǒng)防護(hù)區(qū)自動泄壓口 XYK-0.12J-SJ 查看價格 查看價格

臺 13% 廣州勝捷消防設(shè)備有限公司
氣體滅火系統(tǒng)防護(hù)區(qū)自動泄壓口 XYK-0.12J-SJ 查看價格 查看價格

臺 13% 廣東勝捷消防器材有限公司
氣體滅火系統(tǒng)防護(hù)區(qū)自動泄壓口 XYK-0.25J-SJ 查看價格 查看價格

臺 13% 廣東勝捷消防器材有限公司
氣體泄壓裝置 品種:自動泄壓裝置;規(guī)格:XWZ0.12/1.2KPa-THJ;系列:自動泄壓裝置; 查看價格 查看價格

泰和佳

 臺 13% 北京泰和佳消防科技股份有限公司
氣體泄壓裝置 品種:自動泄壓裝置;規(guī)格:XWZ0.25/1.2KPa-THJ;系列:自動泄壓裝置; 查看價格 查看價格

泰和佳

 臺 13% 北京泰和佳消防科技股份有限公司
氣體滅火系統(tǒng)自動泄壓閥裝置 品種:氣體滅火系統(tǒng)自動泄壓閥裝置;規(guī)格:800×800; 查看價格 查看價格

雙通

 臺 13% 南昌市雙通風(fēng)機(jī)制造有限公司
氣體滅火系統(tǒng)自動泄壓閥裝置 品種:氣體滅火系統(tǒng)自動泄壓閥裝置;規(guī)格:400×400; 查看價格 查看價格

鑫佳通

 臺 13% 江西鑫佳通科技股份有限公司
材料名稱 規(guī)格/型號 除稅
信息價		 含稅
信息價		 行情 品牌 單位 稅率 地區(qū)/時間
氣體單向閥 ED5 查看價格 查看價格

個 湛江市2007年4季度信息價
氣體單向閥 HQD-4 查看價格 查看價格

個 東莞市2003年1月信息價
氣體噴灑控制器 AFN5050SLG/388 查看價格 查看價格

臺 湛江市2005年1月信息價
氣體噴灑控制器 JB-QB-Q8/2 查看價格 查看價格

臺 湛江市2005年1月信息價
氣體滅火終端模塊 GST-LD-8329 查看價格 查看價格

個 茂名市2009年9月信息價
氣體滅火終端模塊 GST-LD-8329 查看價格 查看價格

個 茂名市2009年8月信息價
氣體滅火終端模塊 GST-LD-8329 查看價格 查看價格

個 茂名市2009年7月信息價
氣體滅火終端模塊 GST-LD-8329 查看價格 查看價格

個 茂名市2009年5月信息價
材料名稱 規(guī)格/需求量 報價數(shù) 最新報價
（元）		 供應(yīng)商 報價地區(qū) 最新報價時間
等離子體凈化裝置 1.型號:VBK-HD-13B2.規(guī)格:風(fēng)量=1360/h|3臺 3 查看價格 北京賽多科貿(mào)有限公司 廣西  賀州市 2021-10-15
等離子體凈化裝置 1.型號:VBK-HD-13B2.規(guī)格:風(fēng)量=1360/h|3臺 3 查看價格 北京賽多科貿(mào)有限公司 廣西  賀州市 2021-09-29
氣體終端 氣體終端|487個 3 查看價格 山東亞華電子股份有限公司 四川   2022-06-17
氣體終端 氣體終端|192個 2 查看價格 湖南一特電子醫(yī)用工程股份有限公司 廣東  廣州市 2021-06-09
氣體滅火 氣體滅火|1整套(含人材機(jī)全臺的價格) 1 查看價格 北京利達(dá)防火保安設(shè)備有限公司 廣西  南寧市 2009-06-11
氣體終端 氣體終端|1052個 1 查看價格 港通醫(yī)療設(shè)備集團(tuán)股份有限公司 全國   2022-10-10
氣體終端 醫(yī)療氣體終端|1套 3 查看價格 港通醫(yī)療設(shè)備集團(tuán)股份有限公司 全國   2021-11-23
氣體終端 氣體終端|1套 1 查看價格 東莞市純美空氣凈化科技有限公司 全國   2020-11-10

申請日

2019.12.06

申請人

中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司

地址

201201上海市浦東新區(qū)金橋出口加工區(qū)（南區(qū)）泰華路188號

發(fā)明人

連增迪;?左濤濤;?吳狄

Int. Cl.

H01J37/32(2006.01)I

專利代理機(jī)構(gòu)

北京集佳知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司11227

代理人

張靜

氣體供應(yīng)系統(tǒng)及其氣體輸送方法、等離子體處理裝置常見問題

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    等離子體聚合物在結(jié)構(gòu)上與普通的聚合物顯著不同，它能形成含有活性基團(tuán)的高度交聯(lián)的網(wǎng)絡(luò)結(jié)構(gòu)，從而具有良好的均勻性及對基質(zhì)的附著性［1，2］．有關(guān)采用等離子體聚合膜的TSM傳感器的報道不多［3，4］，本室已...

  • 問下如何產(chǎn)生等離子體

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  • 低溫等離子體和熱等離子體有什么區(qū)別 ？

    低溫等離子體：適合的應(yīng)用材料的表面清洗活化焊接，油漆，打印，密封，起泡，涂覆及硅化前表面活化處理。氣體裂解和高效滅菌加速化學(xué)反應(yīng)產(chǎn)品特點(diǎn)：突破低氣壓限制，可在大氣壓下引發(fā)等離子體；可對材料連續(xù)在線處理...

氣體供應(yīng)系統(tǒng)及其氣體輸送方法、等離子體處理裝置文獻(xiàn)

等離子體刻蝕過程中有害氣體凈化的原理和方法 等離子體刻蝕過程中有害氣體凈化的原理和方法

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大?。?span id="xgbljta" class="single-tag-height">320KB

頁數(shù)： 3頁

評分： 3

等離子體刻蝕過程中有害氣體凈化的原理和方法——敘述了等離子體刻蝕過程中產(chǎn)生的有害氣體以及處理這些有害氣體的原理和方法。對燃燒分解、化學(xué)中和、 薄膜吸氣、等離子體凈化及脈沖電暈放電等作了簡要的概述。指出等離子體凈化和脈沖電暈放電是凈化有害氣體的...

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氣體輸送 氣體輸送

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大?。?span id="pzlxyyf" class="single-tag-height">320KB

頁數(shù)： 21頁

評分： 4.5

火力發(fā)電廠氣力輸送調(diào)查與研究 以前，城市集中供熱廠或小型熱電廠，從規(guī)模上相對來說都比較小，除灰系統(tǒng) 大多是用水力除灰方式。隨著供熱廠或電廠規(guī)模的擴(kuò)大，比如：我們現(xiàn)在正在 作的延吉供熱廠，其規(guī)模是 9 臺 58MW熱水鍋爐；哈爾濱道里區(qū)集中供熱廠， 其規(guī)模為 6 臺 116MW熱水鍋爐和 3 臺 75t/h 蒸汽鍋爐。它們的規(guī)模都遠(yuǎn)遠(yuǎn)大 于常規(guī)的供熱廠。 隨著我國水資源、土地資源的日益緊缺， 以及國家環(huán)保法律、 法規(guī)的相繼出臺， 對水、土地、環(huán)保等方面的要求都提出了較高的要求。 為此， 氣力除灰與傳統(tǒng)的水力除灰方式相比，在這方面就有其獨(dú)特的優(yōu)點(diǎn)：首先，它 與水力除灰方式相比，氣力除灰能節(jié)省大量的沖灰水；在輸送過程中，灰不與 水接觸，故灰的固有活性及其它物化特性不受影響， 有利于粉煤灰的綜合利用； 減少灰場占地； 避免灰場對地下水及周圍大氣環(huán)境的污染； 不存在灰管結(jié)垢及 腐蝕問題；系統(tǒng)自動化程

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氣體輸送及控制。 2100433B

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本發(fā)明提供一種氣體供應(yīng)系統(tǒng)，其包括：貯存第一低溫液化氣體的第一罐；在第一罐內(nèi)第一低溫液化氣體氣化而發(fā)生的第一氣體被流入，且配置有使第一氣體升壓的氣體升壓機(jī)構(gòu)的第一路徑；從第一罐取出第一低溫液化氣體，且配置有使第一低溫液化氣體升壓的泵和使通過泵而升壓的第一低溫液化氣體氣化的氣化機(jī)構(gòu)的第二路徑；以及使從第一路徑中的氣體升壓機(jī)構(gòu)的上游側(cè)取出的第一氣體的至少一部分液化并使其流入第二路徑中的泵的上游側(cè)，且配置有利用第二低溫液化氣體或第二氣體冷卻第一氣體的冷卻換熱器的再液化路徑。據(jù)此，能夠向需求方供應(yīng)升壓為指定的壓力的氣體，并且能夠提高氣體供應(yīng)效率。2100433B

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中國氣體輸送設(shè)備制造業(yè)的巨大需求引起了眾多國外知名廠商的關(guān)注，世界一流的氣體輸送設(shè)備制造商相繼進(jìn)入中國，并通過合并和收購方式日益壯大，占領(lǐng)了相當(dāng)大的市場份額。

中國氣體輸送設(shè)備行業(yè)的企業(yè)分布比較零散，不同類型企業(yè)有不同的市場面。比如各式中小型通風(fēng)機(jī)和其它風(fēng)機(jī)產(chǎn)品由于技術(shù)含量相對較低、附加價值較低，故多由中小企業(yè)和鄉(xiāng)鎮(zhèn)企業(yè)生產(chǎn)，絕大多數(shù)中小型企業(yè)生產(chǎn)的通風(fēng)機(jī)都是大眾化的通用產(chǎn)品，沒有自己獨(dú)特的主導(dǎo)產(chǎn)品，競爭能力一般。

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