本發(fā)明提供一種氣體供應(yīng)系統(tǒng),其包括:貯存第一低溫液化氣體的第一罐;在第一罐內(nèi)第一低溫液化氣體氣化而發(fā)生的第一氣體被流入,且配置有使第一氣體升壓的氣體升壓機(jī)構(gòu)的第一路徑;從第一罐取出第一低溫液化氣體,且配置有使第一低溫液化氣體升壓的泵和使通過泵而升壓的第一低溫液化氣體氣化的氣化機(jī)構(gòu)的第二路徑;以及使從第一路徑中的氣體升壓機(jī)構(gòu)的上游側(cè)取出的第一氣體的至少一部分液化并使其流入第二路徑中的泵的上游側(cè),且配置有利用第二低溫液化氣體或第二氣體冷卻第一氣體的冷卻換熱器的再液化路徑。據(jù)此,能夠向需求方供應(yīng)升壓為指定的壓力的氣體,并且能夠提高氣體供應(yīng)效率。2100433B
申請(qǐng)日 |
2019.05.24 |
專利權(quán)人 |
株式會(huì)社神戶制鋼所 |
地址 |
日本兵庫(kù)縣神戶市 |
發(fā)明人 |
兼井直史;?名倉(cāng)見治 |
Int. Cl. |
F17C9/02(2006.01)I;?F17C6/00(2006.01)I;?F17C13/00(2006.01)I;?F17D1/00(2006.01)I;?F02C3/22(2006.01)I;?F02C7/22(2006.01)I;?F02C7/14(2006.01)I;?F02C7/18(2006.01)I |
專利代理機(jī)構(gòu) |
中國(guó)專利代理(香港)有限公司72001 |
代理人 |
李婷;?傅永霄 |
優(yōu)先權(quán) |
2018-106142 2018.06.01 JP |
百朗新風(fēng)系統(tǒng)的14項(xiàng)專利是哪些
專利分類根據(jù)《中華人民共和國(guó)專利法》第二條規(guī)定:第二條 本法所稱的發(fā)明創(chuàng)造是指發(fā)明、實(shí)用新型和外觀設(shè)計(jì)。發(fā)明,是指對(duì)產(chǎn)品、方法或者其改進(jìn)所提出的新的技術(shù)方案。實(shí)用新型,是指對(duì)產(chǎn)品的形狀、構(gòu)造或者其結(jié)合...
是噴嘴底座的裝飾底盤。
是計(jì)取二個(gè)調(diào)試
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評(píng)分: 4.7
一、技術(shù)微功耗電子鎖技術(shù)被授予一項(xiàng)國(guó)家發(fā)明專利權(quán)、二項(xiàng)實(shí)用新型專利權(quán)。曾被定為國(guó)家級(jí)新技術(shù)。94年英國(guó)雜志予以介紹。曾作為國(guó)家優(yōu)秀發(fā)明,選送新加坡參展。又被通知參加比利時(shí)召開的第45、46屆尤里卡世界發(fā)明博覽會(huì)。專利局的情報(bào)檢索和來(lái)自國(guó)外
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頁(yè)數(shù): 9頁(yè)
評(píng)分: 4.5
(19)中華人民共和國(guó)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局 (12)實(shí)用新型專利 (10) 授權(quán)公告號(hào) (45) 授權(quán)公告日 (21) 申請(qǐng)?zhí)?201920422063. 4 (22) 申請(qǐng)日 2019. 03. 30 (73) 專利權(quán)人 江蘇閥邦半導(dǎo)體材料科技有限公 司 地址 226014 江蘇省南通市崇川區(qū)新勝路 158號(hào)9幢 (72) 發(fā)明人 王漢清 (51)Int. Cl. F16K 1/32 (2006. 01) F16K 1/46 (2006. 01) F16K 27/02(2006. 01) F16K 31/60(2006. 01) F16K 31/50(2006. 01) F16K 37/00(2006. 01) F16L 15/04(2006. 01) (54) 實(shí)用新型名稱 一種節(jié)能型氣體減壓閥 (57) 摘要 本實(shí)用新型公開了一種節(jié)能型氣體減壓閥, 包括頂蓋和橡膠隔膜, 頂蓋的下端
(1)空壓機(jī)功率:2臺(tái)280kW空壓機(jī),3套吸附筒裝置 (2)空壓機(jī)流量:30m"_blank" href="/item/空氣儲(chǔ)罐/10815153" data-lemmaid="10815153">空氣儲(chǔ)罐容積:300m"sup--normal" data-sup="1" data-ctrmap=":1,"> [1]
公共氣源采用恒壓變頻自動(dòng)控制功能,最大供氣流量為60m"sup--normal" data-sup="1" data-ctrmap=":1,"> [1] 2100433B
本申請(qǐng)實(shí)施例公開了一種氣體供應(yīng)系統(tǒng),包括多個(gè)氣體輸入管路和氣體輸出管路,所述氣體輸入管路包括并聯(lián)的第一氣體輸出支路和第二氣體輸出支路,所述氣體輸出管路包括第一氣體輸出管路和第二氣體輸出管路,所述第一氣體輸出管路的輸出端與所述第二氣體輸出管路的輸入端相連,第二氣體輸出管路的輸出端用于給等離子體處理設(shè)備的腔室輸送氣體,第一氣體輸出管路與多個(gè)氣體輸入管路中的第一氣體輸出支路的輸出端相連通,第二氣體輸出管路與所多個(gè)氣體輸入管路中的第二氣體輸出支路的輸出端相連通,從而在多個(gè)氣體輸入管路中輸出不同流量需求的第一氣體和第二氣體時(shí),以解決小流量需求的第二氣體對(duì)等離子體處理工藝過程的改善效果較為有限的問題。